本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)電性輥及其制造方法，該半導(dǎo)電性輥在例如激光打印機、靜電式復(fù)印機、普通紙傳真機裝置或它們的復(fù)合設(shè)備等利用電子照相法的成像裝置中使用，特別是作為充電輥等使用。
背景技術(shù)：
：使感光體表面帶同樣電的充電輥、將對帶電的感光體表面進行曝光而形成的靜電潛像顯影為調(diào)色劑像的顯影輥、將形成的調(diào)色劑像轉(zhuǎn)印至紙等的轉(zhuǎn)印輥、將調(diào)色劑像轉(zhuǎn)印至紙等后殘留于感光體表面的調(diào)色劑除去的清潔輥等被組裝至上述成像裝置，它們通常使用賦予了半導(dǎo)電性的橡膠組合物成型為輥的形狀并經(jīng)交聯(lián)而得到的半導(dǎo)電性輥。上述半導(dǎo)電性輥以由金屬等構(gòu)成的軸插入固定在中心通孔的狀態(tài)，作為上述充電輥等使用。通常在成為半導(dǎo)電性輥的原料的橡膠組合物中混配例如環(huán)氧氯丙烷橡膠等離子導(dǎo)電性橡膠作為橡膠成分來賦予離子導(dǎo)電性、或者混配導(dǎo)電性炭黑等來賦予電子導(dǎo)電性。此外，通常在上述橡膠組合物中還與上述離子導(dǎo)電性橡膠等一起合用二烯系橡膠作為橡膠成分，來提高半導(dǎo)電性輥的機械強度、耐久性等，賦予半導(dǎo)電性輥作為橡膠的特性，即柔軟且壓縮永久變形小、不易產(chǎn)生扁塌的特性等。對于調(diào)色劑而言，為了調(diào)整該調(diào)色劑的流動性、帶電性和其他特性，可以添加二氧化硅、二氧化鈦等微小顆粒作為外添劑。但是，對于這些外添劑、反復(fù)成像時調(diào)色劑顆粒被微粉碎后產(chǎn)生的碎片等(以下有時統(tǒng)稱為“外添劑等”)，尤其無法用清潔刮板等從感光體表面徹底地除去。并且，反復(fù)成像過程中，未徹底除去的外添劑等附著并逐漸蓄積在半導(dǎo)電性輥的外周面，特別是始終與該感光體表面接觸的充電輥的外周面。蓄積后的外添劑等影響感光體的帶電特性等或者附著在形成圖像上而成為圖像缺陷的原因。特別是，在將半導(dǎo)電性橡膠組合物成型為筒狀并使其交聯(lián)后，形成半導(dǎo)電性輥的情況下，例如，為了將其外周面加工成規(guī)定的表面粗糙度而進行研磨等，形成上述充電輥等的情況下，在該外周面上產(chǎn)生研磨痕跡的微細凹凸，反復(fù)成像時，外添劑等附著和蓄積在該研磨痕跡處，容易產(chǎn)生上述問題。因此，考慮通過將半導(dǎo)電性輥的外周面用由例如聚氨酯系樹脂等構(gòu)成的涂層膜覆蓋，來提高對于調(diào)色劑、外添劑等的滑動性，從而抑制上述外添劑等的附著。但是，涂層膜通常利用噴涂法、浸涂法等涂布方法將成為其原料的液態(tài)的涂層劑涂布在半導(dǎo)電性輥的外周面，然后使其干燥而形成，在該形成過程中，容易產(chǎn)生塵埃等異物的混入、產(chǎn)生厚度不均等各種不良現(xiàn)象。并且，產(chǎn)生上述那樣的不良現(xiàn)象的情況下，特別是將半導(dǎo)電性輥作為充電輥使用時，無法使感光體表面均勻地帶電，存在容易在形成圖像上產(chǎn)生濃度不均等圖像缺陷的問題。此外，制備涂層劑需要有機溶劑，有機溶劑的使用對環(huán)境負擔大，存在與近年來的低VOC(揮發(fā)性有機化合物)化的主流相悖的問題。因此，代替涂層膜，研究了利用例如激光加工等各種形成方法在半導(dǎo)電性輥的外周面上形成多個獨立的凹部，所述凹部與上述研磨痕跡相比足夠大(參照例如專利文獻1～3等)。該情況下，例如利用凹部的形成破壞更細的研磨痕跡，并排列大量的上述凹部，由此使外周面的表面粗糙度、電特性均勻化，并且調(diào)整成像時與感光體表面的接觸面積、接觸壓力，在成像時能夠緩和施加于外周面、甚至調(diào)色劑的應(yīng)力，期待能夠抑制產(chǎn)生外添劑等的附著和蓄積以及由此帶來的各種問題?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2008-116869號公報專利文獻2：日本特開2006-243374號公報專利文獻3：日本特開2006-243375號公報技術(shù)實現(xiàn)要素：發(fā)明所要解決的課題但是，根據(jù)發(fā)明人的研究，在上述專利文獻1～3記載的發(fā)明中，所形成的多個凹部均是相互分離的，各自的開口邊緣部并不重合，凹部之間殘留的區(qū)域是留有研磨痕跡的未加工狀態(tài)，因此在上述凹部的內(nèi)面和凹部之間的未加工區(qū)域容易在表面性狀上產(chǎn)生偏差。此外，凹部的周緣與未加工區(qū)域的邊界成為鮮明的邊緣。并且，特別是對于殘留在凹部之間的未加工區(qū)域的研磨痕跡或凹部周緣的邊緣的部分而言，外添劑等容易附著并在此蓄積，因此無法充分抑制產(chǎn)生該外添劑等的附著和蓄積以及由此帶來的問題。本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)電性輥和該半導(dǎo)電性輥的制造方法，無需形成具有多種問題的涂層膜，作為例如充電輥使用時，能夠更加良好地抑制產(chǎn)生外添劑等的附著和蓄積以及由此帶來的問題。用于解決課題的手段本發(fā)明為一種半導(dǎo)電性輥，該半導(dǎo)電性輥至少由半導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成，在外周面設(shè)置有多個凹部，所述多個凹部在所述外周面的周向和軸向中的至少一方的至少一部分中相互重合。此外，本發(fā)明為一種本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的制造方法，該制造方法包括利用激光加工在所述半導(dǎo)電性輥的所述外周面上形成所述多個凹部的工序，所述多個凹部在所述外周面的周向和軸向中的至少一方的至少一部分中相互重合。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種半導(dǎo)電性輥和該半導(dǎo)電性輥的制造方法，無需形成具有多種問題的涂層膜，作為例如充電輥使用時，能夠更加良好地抑制產(chǎn)生外添劑等的附著和蓄積以及由此帶來的問題。附圖說明圖1為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的一例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖2中，圖(a)為對圖1的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖，圖(b)為圖(a)的B-B線截面圖，圖(c)為圖(a)的C-C線截面圖。圖3為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的其他示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖4為對圖3的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。圖5為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的另一示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖6為對圖5的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。圖7為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的另一示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖8為對圖7的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。圖9為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的另一示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖10為對圖9的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。圖11為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的另一示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖12為對圖11的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。圖13為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的另一示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖14為對圖13的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。圖15為示出本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的整體外觀的一例的立體圖。圖16中，圖(a)為示出本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的整體外觀的其他示例的立體圖，圖(b)為上述示例的半導(dǎo)電性輥的端面圖。圖17中，圖(a)為示出制造圖16的(a)(b)的半導(dǎo)電性輥的工序的一例的立體圖，圖(b)為上述工序中使用的內(nèi)層的端面圖，圖(c)為成為外層原料的管的端面圖。圖18為將以往示例的半導(dǎo)電性輥的外周面的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖19為將本發(fā)明的實施例的半導(dǎo)電性輥的外周面的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖20為將本發(fā)明的實施例的半導(dǎo)電性輥的外周面的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖21為將本發(fā)明的實施例的半導(dǎo)電性輥的外周面的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。圖22為將本發(fā)明的實施例的半導(dǎo)電性輥的外周面的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。具體實施方式本發(fā)明為一種半導(dǎo)電性輥，該半導(dǎo)電性輥至少由半導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成，在外周面設(shè)置有多個凹部，所述多個凹部在所述外周面的周向和軸向中的至少一方的至少一部分中相互重合。此外，本發(fā)明為一種本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的制造方法，該制造方法包括利用激光加工在所述半導(dǎo)電性輥的所述外周面上形成所述多個凹部的工序，所述多個凹部在所述外周面的周向和軸向中的至少一方的至少一部分中相互重合。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在半導(dǎo)電性輥的外周面設(shè)置多個凹部，所述多個凹部在所述外周面的周向和軸向中的至少一方的至少一部分中相互重合，由此能夠極力減小殘留在該凹部之間的未加工區(qū)域、凹部的周緣的邊緣。因此，無需形成具有多種問題的涂層膜，能夠提高外周面的滑動性，能夠良好地抑制產(chǎn)生外添劑等的附著和蓄積以及由此帶來的問題。特別是，在利用激光加工形成上述凹部時，即利用會聚為凹部的開口形狀的激光的照射帶來的熱選擇性使形成外周面的半導(dǎo)電性橡膠組合物等熔融，且使至少一部分蒸發(fā)而形成上述凹部時，即使在相鄰的凹部之間的區(qū)域，研磨痕跡也會被破壞，而且能夠成為相鄰的凹部之間以與凹部內(nèi)一起無邊緣的連續(xù)光滑曲面連接的狀態(tài)。這是因為，將多個凹部按照其一部分相互重合的方式整體地接近而形成，因此利用激光加工形成凹部時，從該凹部傳遞的熱也能夠?qū)疾恐g的區(qū)域的半導(dǎo)電性橡膠組合物等熔融。因此，能夠進一步提高外周面的滑動性，能夠更加良好地抑制產(chǎn)生上述外添劑等的附著和蓄積以及由此帶來的問題?！锻庵苊娴陌疾?例1)》圖1為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的一例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片。此外，圖2的(a)為對圖1的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖，圖2的(b)為圖2的(a)的B-B線截面圖，圖2的(c)為圖2的(a)的C-C線截面圖。參照圖1、圖2的(a)，在半導(dǎo)電性輥的外周面1形成有具有橢圓狀的開口形狀[在圖2的(a)中以實線表示]的多個凹部2。對于上述各凹部2，例如在半導(dǎo)電性輥的外周面1照射與該凹部2的開口形狀對應(yīng)地會聚為橢圓狀的激光，由此選擇性使形成上述外周面1的半導(dǎo)電性橡膠組合物(圖15的示例的情況)或熱塑性彈性體(圖16的(a)(b)的示例的情況)熔融，且使至少一部分蒸發(fā)而形成上述各凹部2。在圖的示例的情況下，所形成的各凹部2在外周面1的周向和軸向上分別呈矩陣狀成列，同時所形成的各個凹部2在上述周向和軸向上相互重合。此外，在圖的示例的情況下，各凹部2形成為同樣的大小，同時設(shè)定相鄰的凹部之間的重合量在周向上較小且在軸向上較大，由此與軸向上相鄰的凹部2之間的凸部4相比，在周向上相鄰的凹部2之間的凸部3較高地突出形成[圖2的(b)(c)]。因此，如圖1所示，外周面1成為下述狀態(tài)，所形成的高的凸部3在軸向上并行并以凸條狀連接，同時所形成的低的凸部4將上述凸部3的凸條之間連接，在周向上并行，且以凸條狀連接。此外，距4個凹部2最遠的兩凸條的交差位置為高于上述凸部3的凸部5。此外，對于上述外周面1，利用上述激光照射所產(chǎn)生的熱，熔融半導(dǎo)電性橡膠組合物等，由此破壞研磨痕跡(圖15的示例的情況)，同時凹部2與凸部3～5成為不出現(xiàn)邊緣那樣的光滑連接的曲面狀。需要說明的是，在圖的示例中，在外周面1的周向和軸向上分別呈矩陣狀成列地形成各凹部2，這是因為，通過如此進行，能夠容易進行加工的設(shè)定、加工本身，能夠保持加工精度，能夠確保外周面1的表面性狀的均勻性。此外，還因為，半導(dǎo)電性輥的驅(qū)動時，在外周面1的軸向同樣接觸下旋轉(zhuǎn)，因此難以認為隨機形成凹部2能夠得到比呈矩陣狀成列地形成凹部2大的效果。在后述的其他示例中也同樣。對于上述各部的尺寸沒有特別限定，凹部2的深度優(yōu)選為0.5μm以上、特別優(yōu)選為1μm以上，優(yōu)選為100μm以下、其中優(yōu)選為50μm以下、特別優(yōu)選為30μm以下。凹部2的深度小于該范圍時，接近于未形成凹部的面，無法充分得到在外周面1形成多個凹部2所帶來的效果，有可能無法充分抑制產(chǎn)生外添劑等的附著和蓄積以及由此帶來的問題。另一方面，凹部2的深度超過上述范圍的情況下，外周面1的凹凸過大，作為例如充電輥使用時，無法使感光體表面均勻且充分地帶電，有可能容易產(chǎn)生基于帶電不良的圖像缺陷。需要說明的是，在本發(fā)明中，例如在圖的示例中，以從外周面1的最高點即凸部5的最高點至凹部2內(nèi)的最低點的高度差表示凹部2的深度。對于凹部2和凸部3～5的區(qū)分，將國際標準化機構(gòu)標準ISO25178-2：2012“產(chǎn)品的幾何特性標準(GPS)-表面性狀-第2部：術(shù)語，定義和表面性狀參數(shù)”中規(guī)定的體積參數(shù)曲線(負荷曲線)的負荷面積率超過10％的區(qū)域作為凹部2，將該負荷面積率為10％以下的區(qū)域作為凸部3～5。對于外周面1，在上述ISO25178-2：2012中規(guī)定的最大高度Sz為0.5μm以上30μm以下的范圍時，優(yōu)選同一標準中規(guī)定的界面的展開面積比Sdr為5以下。界面的展開面積比Sdr是表示定義區(qū)域的展開面積(表面積)相對于定義區(qū)域的面積(例如50000μm2)增大多少的指標，完全平坦的面的展開面積比Sdr為0。通過展開面積比Sdr為5以下，能夠使相鄰的凹部2與其間的凸部3～5盡可能成為光滑連接的曲面狀，能夠提高對于調(diào)色劑、外添劑等的滑動性。需要說明的是，若考慮進一步提高上述效果，則展開面積比Sdr在上述范圍中優(yōu)選為0.5以上，優(yōu)選為3以下。但是，定義區(qū)域的面積、最大高度Sz不同的情況下，展開面積比Sdr不限于上述范圍。《外周面的凹部(例2)》圖3為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的其他示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片，圖4為對圖3的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。參照兩圖，在該示例中，如圖4中實線所示，凹部2具有橢圓狀的開口形狀，且大小隨機不同，其在外周面1的周向和軸向上分別成列地形成為矩陣狀。并且，通過使各凹部2的大小隨機不同，相鄰的凹部2的重合量隨機變化，如圖3所示，在外周面1上，成為在周向和軸向上隨機配設(shè)有凸部、凸條的狀態(tài)。此外，對于上述外周面1，利用上述激光照射所產(chǎn)生的熱熔融半導(dǎo)電性橡膠組合物，由此破壞研磨痕跡(圖15的示例的情況)，同時，凹部2和凸部、凸條成為不出現(xiàn)邊緣那樣的光滑連接的曲面狀。《外周面的凹部(例3)》圖5為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的另一示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片，圖6為對圖5的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。參照兩圖，在該示例中，如圖6中實線所示，各凹部2形成為同樣大小的橢圓狀的開口形狀，同時，所形成的相鄰的凹部之間在周向上大幅度重合，但在軸向上不重合，由此，如圖5所示，在軸向上相鄰的凹部2之間的凸部成為在周向上以凸條狀連接而形成的狀態(tài)。此外，對于上述外周面1，利用上述激光照射所產(chǎn)生的熱熔融半導(dǎo)電性橡膠組合物，由此破壞研磨痕跡(圖15的示例的情況)，同時，凹部2和凸條成為不出現(xiàn)邊緣那樣的光滑連接的曲面狀。《外周面的凹部(例4)》圖7為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的另一示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片，圖8為對圖7的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。參照兩圖，在該示例中，如圖8中實線所示，各凹部2形成為同樣大小的橢圓狀的開口形狀，同時，所形成的相鄰的凹部之間在軸向上重合但在周向上分離而不重合。并且，如圖7所示，在軸向上相鄰的凹部2之間的區(qū)域與軸向平行，以連續(xù)的未加工狀態(tài)殘存，殘留有研磨痕跡，此外，各列的凹部2與未加工區(qū)域的邊界成為邊緣狀。即使是上述狀態(tài)，外周面1的其他區(qū)域也是以光滑的曲線連接的，因此能夠抑制產(chǎn)生外添劑等在該外周面1的附著和蓄積以及由此帶來的問題。但是，由后述的實施例的結(jié)果也可知，若考慮進一步提高上述效果，則優(yōu)選極力消除上述未加工的區(qū)域、邊緣，如圖1等其他示例所示，將外周面1的大致整個面以連續(xù)的曲面連接。需要說明的是，在圖3、圖5、圖7的任一示例中，均優(yōu)選凹部2等滿足上述尺寸。即，優(yōu)選凹部2的深度為0.5μm以上100μm以下。此外，對于外周面1，最大高度Sz為0.5μm以上30μm以下時，優(yōu)選界面的展開面積比Sdr為5以下。但是，如上所述，對于定義區(qū)域的面積、最大高度Sz不同的情況而言，不限于此。這些的理由如上所述?！锻庵苊娴陌疾?例5)》圖9為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的另一示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片，圖10為對圖9的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。參照兩圖，在該示例中，如圖10中實線所示，在如圖1的示例中在周向的各列的每一列設(shè)置一個長度為半導(dǎo)電性輥的軸向的全長的凹部2，其相當于在軸向上2列以上形成的2個以上的凹部，在周向上相互平行地設(shè)置2個以上這樣的凹部2。對于上述各凹部2，例如在半導(dǎo)電性輥的外周面1上，在軸向上掃描照射與該凹部2對應(yīng)且呈一定寬度的線狀激光，由此選擇性使形成上述外周面1的半導(dǎo)電性橡膠組合物(圖15的示例的情況)或熱塑性彈性體(圖16的(a)(b)的示例的情況)熔融，且使至少一部分蒸發(fā)而形成上述各凹部2。所形成的各凹部2在周向上相鄰的凹部之間使兩側(cè)部相互重合，由此，如圖9所示，上述相鄰的凹部2之間的凸部成為在軸向上以凸條狀連接而形成的狀態(tài)。此外，對于上述外周面1，利用上述激光照射所產(chǎn)生的熱熔融半導(dǎo)電性橡膠組合物，由此破壞研磨痕跡(圖15的示例的情況)的同時，凹部2和凸條成為不出現(xiàn)邊緣那樣的光滑連接的曲面狀?！锻庵苊娴陌疾?例6)》圖11為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的另一示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片，圖12為對圖11的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。參照兩圖，在該示例中，如圖12中實線所示，在如圖1的示例中在軸向的各列的每列設(shè)置一個長度為半導(dǎo)電性輥的周向的全周的凹部2，其相當于在周向上2列以上形成的2個上的凹部，在軸向上相互平行地設(shè)置2個以上這樣的凹部2。此外，在周向的各列的每列上設(shè)置1個長度為半導(dǎo)電性輥的軸向全長的凹部2，其相當于在軸向上2列以上形成的2個以上凹部，在周向上相互平行地設(shè)置2個以上這樣的凹部2。對于上述各凹部2，例如在半導(dǎo)電性輥的外周面1上，在周向上掃描照射與該凹部2對應(yīng)且呈一定寬度的線狀激光，接著，在軸向上也掃描照射與上述凹部2對應(yīng)且呈一定寬度的線狀激光，由此，選擇性使形成上述外周面1的半導(dǎo)電性橡膠組合物(圖15的示例的情況)、或熱塑性彈性體(圖16的(a)(b)的示例的情況)熔融，且使至少一部分蒸發(fā)而形成上述各凹部2。周向的凹部2按照相鄰的的凹部之間在軸向上不重合的方式相互分離形成，軸向的凹部2同樣地按照相鄰的凹部之間在周向上不重合的方式相互分離形成。各凹部在周向和軸向上形成為矩陣狀。此外，對于各凹部的形成間距，軸向比周向?qū)?，由此，如圖11所示，各凹部2之間的區(qū)域呈軸向長于周向的大致矩形狀，以未加工狀態(tài)殘存，殘留有研磨痕跡，該區(qū)域與各凹部2的邊界為邊緣狀。但是，對于外周面1的其他區(qū)域，利用上述激光照射所產(chǎn)生的熱熔融半導(dǎo)電性橡膠組合物，由此破壞研磨痕跡(圖15的示例的情況)，以光滑的曲線連接，因此能夠抑制產(chǎn)生外添劑等在該外周面1的附著和蓄積以及由此帶來的問題。《外周面的凹部(例7)》圖13為將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的外周面的另一示例的一部分放大顯示的實體顯微鏡照片，圖14為對圖13的示例的外周面中的凹部的配置進行說明的圖。參照兩圖，在該示例中，如圖14中實線所示，在如圖1的示例中在軸向的各列的每列上設(shè)置一個長度為半導(dǎo)電性輥的周向的全周的凹部2，其相當于周向上2列以上形成的2個以上凹部，在軸向上相互平行地設(shè)置2個以上這樣的凹部2。對于上述各凹部2，例如在半導(dǎo)電性輥的外周面1上掃描照射與該凹部2對應(yīng)且呈一定寬度的線狀激光，由此，選擇性使形成上述外周面1的半導(dǎo)電性橡膠組合物(圖15的示例的情況)、或熱塑性彈性體(圖16的(a)(b)的示例的情況)熔融，且使至少一部分蒸發(fā)而形成上述各凹部2。對于各凹部2，在軸向上相鄰的凹部之間使兩側(cè)部相互重合地形成，由此，如圖13所示，上述相鄰的凹部2之間的凸部成為在周向上以凸條狀連接而形成的狀態(tài)。此外，對于上述外周面1，利用上述激光照射所產(chǎn)生的熱熔融半導(dǎo)電性橡膠組合物，由此破壞研磨痕跡(圖15的示例的情況)，同時，凹部2和凸條成為不出現(xiàn)邊緣那樣的光滑連接的曲面狀。如圖9、圖11、圖13，將各凹部2形成為與2列以上相應(yīng)的長度的情況下，能夠大幅削減激光的照射次數(shù)以及照射時間，具有能夠提高半導(dǎo)電性輥的工業(yè)性的優(yōu)點。在上述圖9、圖11、圖13的任一示例中，優(yōu)選凹部2等滿足上述尺寸。即，優(yōu)選凹部2的深度為0.5μm以上100μm以下。此外，對于外周面1，最大高度Sz為0.5μm以上30μm以下時，優(yōu)選界面的展開面積比Sdr為5以下。但是，如上所述，對于定義區(qū)域的面積、最大高度Sz不同的情況而言，不限于此。這些理由如上所述。需要說明的是，在圖9、圖11、圖13的示例中，由后述的實施例、比較例的結(jié)果也可知，若考慮進一步不易產(chǎn)生基于帶電不良的圖像缺陷，則優(yōu)選凹部2的深度為50μm以下、且各凹部2的寬度為100μm以下。此外，若考慮更加良好地抑制產(chǎn)生外添劑等在外周面1的附著和蓄積和由此帶來的問題，則如圖9、圖11的示例所示，優(yōu)選凹部2在上述外周面1的軸向上平行地形成?！栋雽?dǎo)電性輥(其1)》圖15為示出在外周面形成上述凹部的本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的整體外觀的一例的立體圖。參照圖15，該示例的半導(dǎo)電性輥6與以往同樣，利用半導(dǎo)電性橡膠組合物形成為非多孔質(zhì)且單層的筒狀，同時軸8插入固定于其中心的通孔7中。軸8利用例如鐵、鋁、鋁合金、不銹鋼等金屬整體地形成。軸8例如藉由具有導(dǎo)電性的粘接劑與半導(dǎo)電性輥6電接合，同時被以機械方式固定；或者通過將外徑大于通孔7的內(nèi)徑的軸壓入通孔7中，從而與半導(dǎo)電性輥6電接合，同時被以機械方式固定而整體地旋轉(zhuǎn)。如圖15中放大所示，在半導(dǎo)電性輥6的外周面1可以形成氧化膜9。若形成氧化膜9，則該氧化膜9作為介電層發(fā)揮作用，可以降低半導(dǎo)電性輥6的介質(zhì)損耗角正切。此外，作為充電輥使用時，氧化膜9作為低摩擦層發(fā)揮作用，能夠更加良好地抑制外添劑等的附著和蓄積。而且，對于氧化膜9，例如能夠僅通過在氧化性氣氛中照射紫外線等就可簡單地形成氧化膜，因此能夠抑制半導(dǎo)電性輥6的工業(yè)性降低或者制造成本升高。但是，也可以不形成氧化膜9。對于制造上述示例的半導(dǎo)電性輥6而言，首先使用擠出成型機將規(guī)定的半導(dǎo)電性橡膠組合物擠出成型為筒狀，在硫化罐內(nèi)加壓、加熱使其交聯(lián)，形成作為半導(dǎo)電性輥6的前體的筒狀體。接著，使用烘箱等對形成的筒狀體進行加熱使其二次交聯(lián)，冷卻后切割為規(guī)定的長度，同時進行研磨使其成為規(guī)定的外徑。軸8可以在從交聯(lián)后至研磨后的任意時刻插入固定于通孔7中。但是，優(yōu)選交聯(lián)后，以先在通孔7中插入有軸8的狀態(tài)進行二次交聯(lián)～研磨。由此，能夠防止由于二次交聯(lián)時的膨脹收縮導(dǎo)致的筒狀體的翹曲、變形。此外，一邊以軸8為中心進行旋轉(zhuǎn)，一邊進行研磨，由此能夠提高該研磨的作業(yè)性，且能夠抑制外周面1的偏移。對于軸8，如之前說明的那樣，可以藉由具有導(dǎo)電性的熱固化性粘接劑插入二次交聯(lián)前的筒狀體中，或者將外徑大于通孔7的內(nèi)徑的軸壓入通孔7中即可。前者的情況下，利用在烘箱中的加熱，筒狀體發(fā)生二次交聯(lián)，同時，熱固化性粘接劑發(fā)生固化，軸8與筒狀體電接合，并被以機械方式固定。此外，后者的情況下，在壓入的同時完成電接合和機械固定。接著，如上所述，對應(yīng)其配置，在研磨后的外周面1上掃描照射會聚為規(guī)定的凹部2的開口形狀的激光，形成多個凹部2，然后根據(jù)需要形成氧化膜9，由此制造上述示例的半導(dǎo)電性輥6。需要說明的是，對于氧化膜9，如之前說明的那樣，為了能夠簡單且有效地形成氧化膜，優(yōu)選在半導(dǎo)電性輥6的外周面1上照射紫外線來形成氧化膜。即，在氧化性氣氛下，以規(guī)定時間，對構(gòu)成半導(dǎo)電性輥6的外周面1的半導(dǎo)電性橡膠組合物本身照射規(guī)定波長的紫外線使其氧化，由此形成氧化膜9。并且，如上所述，利用紫外線的照射使構(gòu)成半導(dǎo)電性輥6的外周面1的半導(dǎo)電性橡膠組合物本身氧化而形成氧化膜9，因此，不會產(chǎn)生以往涂布涂層劑而形成的覆蓋層那樣的問題，厚度、表面形狀等均勻性優(yōu)異。若考慮使半導(dǎo)電性橡膠組合物有效氧化，形成之前說明的功能優(yōu)異氧化膜9，則照射的紫外線的波長優(yōu)選為100nm以上，優(yōu)選為400nm以下、特別優(yōu)選為300nm以下。此外，照射的時間優(yōu)選為30秒以上、特別優(yōu)選為1分鐘以上，優(yōu)選為30分鐘以下、特別優(yōu)選為20分鐘以下。但是，氧化膜9也可以利用例如臭氧暴露等其他方法形成，也可以如上所述省略氧化膜9。上述示例的半導(dǎo)電性輥6的肖氏A硬度優(yōu)選為60°以下、特別優(yōu)選為55°以下。肖氏A硬度超過該范圍的半導(dǎo)電性輥6的柔軟性不足，有可能無法確保較寬的輥隙，無法使感光體良好且有效地帶電。此外，還有可能損傷感光體表面。需要說明的是，在本發(fā)明中，以按照日本工業(yè)標準JISK6253-3：2012記載的測定方法，在溫度23±2℃的條件下，使用高分子計器株式會社制的微型橡膠硬度計MD-1測定的值表示肖氏A硬度。作為成為上述圖15的示例的半導(dǎo)電性輥6原料的半導(dǎo)電性橡膠組合物，能夠賦予半導(dǎo)電性輥6例如108Ω以下左右的半導(dǎo)電性，同時能夠利用激光加工等在其外周面1形成凹部2的各種橡膠組合物均可以使用。以下，示出含有屬于離子導(dǎo)電性橡膠的環(huán)氧氯丙烷橡膠作為橡膠成分而賦予離子導(dǎo)電性的半導(dǎo)電性橡膠組合物的一例，但半導(dǎo)電性橡膠組合物的組成未必限于此?！喘h(huán)氧氯丙烷橡膠〉作為橡膠成分中的環(huán)氧氯丙烷橡膠，可以使用含有環(huán)氧氯丙烷作為重復(fù)單元且具有離子導(dǎo)電性的各種聚合物。作為該環(huán)氧氯丙烷橡膠，可以舉出例如環(huán)氧氯丙烷均聚物、環(huán)氧氯丙烷-環(huán)氧乙烷二元共聚物(ECO)、環(huán)氧氯丙烷-環(huán)氧丙烷二元共聚物、環(huán)氧氯丙烷-烯丙基縮水甘油基醚二元共聚物、環(huán)氧氯丙烷-環(huán)氧乙烷-烯丙基縮水甘油基醚三元共聚物(GECO)、環(huán)氧氯丙烷-環(huán)氧丙烷-烯丙基縮水甘油基醚三元共聚物、環(huán)氧氯丙烷-環(huán)氧乙烷-環(huán)氧丙烷-烯丙基縮水甘油基醚四元共聚物等的1種或2種以上。其中，優(yōu)選含有環(huán)氧乙烷的共聚物，特別優(yōu)選ECO和/或GECO。上述兩種共聚物中的環(huán)氧乙烷含量均優(yōu)選為30摩爾％以上，特別優(yōu)選為50摩爾％以上，優(yōu)選為80摩爾％以下。環(huán)氧乙烷起到降低半導(dǎo)電輥的輥電阻值的作用。但是，環(huán)氧乙烷含量小于該范圍時，無法充分得到該作用，因此有可能無法充分降低輥電阻值。另一方面，環(huán)氧乙烷含量超過上述范圍的情況下，引起環(huán)氧乙烷的結(jié)晶化，妨礙分子鏈的鏈段運動，因此反而存在輥電阻值上升的趨勢。此外，還存在交聯(lián)后的半導(dǎo)電性輥過硬的可能，或者交聯(lián)前的導(dǎo)電性橡膠組合物加熱溶融時的粘度上升，存在加工性下降的可能。ECO中的環(huán)氧氯丙烷含量為環(huán)氧乙烷含量的余量。即，環(huán)氧氯丙烷含量優(yōu)選為20摩爾％以上，優(yōu)選為70摩爾％以下，特別優(yōu)選為50摩爾％以下。此外，GECO中的烯丙基縮水甘油基醚含量優(yōu)選為0.5摩爾％以上，特別優(yōu)選為2摩爾％以上；優(yōu)選為10摩爾％以下，特別優(yōu)選為5摩爾％以下。對于烯丙基縮水甘油基醚而言，其本身作為側(cè)鏈，發(fā)揮用于確保自由體積的功能，由此抑制環(huán)氧乙烷的結(jié)晶化，起到降低半導(dǎo)電性輥的輥電阻值的作用。但是，烯丙基縮水甘油基醚含量小于該范圍時，無法充分得到該作用，因此有可能無法充分降低輥電阻值。另一方面，烯丙基縮水甘油基醚在GECO的交聯(lián)時作為交聯(lián)點發(fā)揮功能，因此烯丙基縮水甘油基醚含量超過上述范圍的情況下，GECO的交聯(lián)密度過高，由此妨礙分子鏈的鏈段運動，反而存在輥電阻值上升的趨勢。GECO中的環(huán)氧氯丙烷含量為環(huán)氧乙烷含量和烯丙基縮水甘油基醚含量的余量。即，環(huán)氧氯丙烷含量優(yōu)選為10摩爾％以上，特別優(yōu)選為15摩爾％以上；優(yōu)選為69.5摩爾％以下，特別優(yōu)選為48摩爾％以下。需要說明的是，作為GECO，除了之前說明的使3種單體共聚而得到的狹義上的共聚物之外，還已知有將環(huán)氧氯丙烷-環(huán)氧乙烷共聚物(ECO)用烯丙基縮水甘油基醚進行改性而得到的改性物，該改性物也可以用作GECO。在與接下來說明的二烯系橡膠的合用體系中，相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，環(huán)氧氯丙烷橡膠的混配比例優(yōu)選為15質(zhì)量份以上、特別優(yōu)選為50質(zhì)量份以上，優(yōu)選為80質(zhì)量份以下、特別優(yōu)選為70質(zhì)量份以下?！炊┫迪鹉z〉可以與上述環(huán)氧氯丙烷橡膠一起合用二烯系橡膠作為橡膠成分。如上所述，二烯系橡膠發(fā)揮下述功能，提高半導(dǎo)電性輥6的機械強度、耐久性等，或者賦予該半導(dǎo)電性輥6作為橡膠的特性、即柔軟且壓縮永久變形小、不易產(chǎn)生扁塌的特性等。此外，在半導(dǎo)電性輥6的外周面1上照射紫外線時發(fā)生氧化而在該外周面1形成氧化膜9的主要是二烯系橡膠。作為二烯系橡膠，可以舉出例如選自由苯乙烯丁二烯橡膠(SBR)、氯丁橡膠(CR)、丁腈橡膠(NBR)、丁二烯橡膠(BR)、天然橡膠和異戊二烯橡膠(IR)組成的組中的至少1種。其中，作為二烯系橡膠，優(yōu)選單獨使用NBR、或合用CR和NBR，特別優(yōu)選后者的合用體系。即，作為橡膠成分，優(yōu)選合用環(huán)氧氯丙烷橡膠、CR和NBR這3種。需要說明的是，作為3種橡膠，分別可以合用2種以上等級不同的橡膠。在該合用體系中，對于CR，在分子中含有較多的氯原子，因此除了作為上述二烯系橡膠的功能以外，特別是將本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥作為充電輥使用時，還發(fā)揮用于提高其帶電特性的功能。此外，CR為極性橡膠，因此還能夠發(fā)揮用于對半導(dǎo)電性輥的輥電阻值進行微調(diào)整的功能。CR是使氯丁二烯發(fā)生乳液聚合而合成的，根據(jù)此時所用的分子量調(diào)整劑的種類，其分類為硫改性型和非硫改性型。其中，硫改性型的CR是通過將氯丁二烯、作為分子量調(diào)整劑的硫共聚而得到的聚合物用秋蘭姆二硫化物等進行增塑化，調(diào)整為規(guī)定粘度而合成的。此外，非硫改性型的CR分類為例如硫醇改性型、黃原酸改性型等。其中，硫醇改性型的CR使用例如正十二烷基硫醇、叔十二烷基硫醇、辛基硫醇等烷基硫醇類作為分子量調(diào)整劑，除此之外，與硫改性型的CR同樣地合成。此外，黃原酸改性型的CR使用烷基黃原酸化合物作為分子量調(diào)整劑，除此之外，仍然與硫改性型的CR同樣地合成。此外，基于結(jié)晶化速度，CR分類為該結(jié)晶化速度慢的類型、中等的類型和快的類型。在本發(fā)明中，可以使用任意類型的CR，其中，優(yōu)選非硫改性型且結(jié)晶化速度慢型的CR。此外，作為CR，可以使用氯丁二烯與其他共聚成分的共聚物。作為該其他共聚成分，可以舉出例如2,3-二氯-1,3-丁二烯、1-氯-1,3-丁二烯、苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、異戊二烯、丁二烯、丙烯酸、丙烯酸酯、甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯等的1種或2種以上。進一步，作為CR，有加入填充油而調(diào)整了柔軟性的充油型CR和不加入填充油的非充油型CR，特別是將半導(dǎo)電性輥作為充電輥等使用的情況下，為了防止感光體的污染，優(yōu)選使用非充油型CR。NBR作為上述二烯系橡膠的功能優(yōu)異。作為NBR，根據(jù)丙烯腈含量分類的低腈NBR、中腈NBR、中高腈NBR、高腈NBR和極高腈NBR均可以使用。此外，作為NBR，有加入填充油而調(diào)整了柔軟性的充油型NBR和不加入填充油的非充油型NBR，特別是將半導(dǎo)電性輥作為充電輥等使用的情況下，為了防止感光體的污染，優(yōu)選使用非充油型NBR。在合用環(huán)氧氯丙烷橡膠、CR和NBR這3種作為橡膠成分的體系中，相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，CR的混配比例優(yōu)選為5質(zhì)量份以上，優(yōu)選為30質(zhì)量份以下、特別優(yōu)選為20質(zhì)量份以下。CR的混配比例小于該范圍時，有可能無法充分得到混配該CR帶來的上述效果、即無法充分得到作為充電輥使用時提高帶電特性的效果、對輥電阻值進行微調(diào)整的效果。另一方面，CR的混配比例超過上述范圍的情況下，環(huán)氧氯丙烷橡膠相對減少，因此有可能無法賦予半導(dǎo)電性輥特別是作為充電輥的良好的半導(dǎo)電性。NBR的混配比例為環(huán)氧氯丙烷橡膠和CR的余量。即，在將環(huán)氧氯丙烷橡膠和CR的混配比例分別設(shè)定為規(guī)定值時，設(shè)定NBR的混配比例使橡膠成分的總量為100質(zhì)量份即可?！唇宦?lián)成分〉作為交聯(lián)成分，優(yōu)選合用主要用于使環(huán)氧氯丙烷橡膠交聯(lián)的硫脲系交聯(lián)劑、用于使二烯系橡膠、環(huán)氧氯丙烷橡膠中的GECO等交聯(lián)的硫系交聯(lián)劑和兩種交聯(lián)劑用的促進劑。(硫脲系交聯(lián)劑和促進劑)作為硫脲系交聯(lián)劑，可以使用分子中具有硫脲基且能夠主要作為環(huán)氧氯丙烷橡膠的交聯(lián)劑發(fā)揮功能的各種化合物。作為硫脲系交聯(lián)劑，可以舉出例如四甲基硫脲、三甲基硫脲、乙烯硫脲(別稱：2-巰基咪唑啉)、(CnH2n+1NH)2C＝S[式中，n表示1～10的數(shù)]所表示的硫脲等的1種或2種以上。特別優(yōu)選乙烯硫脲。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，硫脲系交聯(lián)劑的混配比例優(yōu)選為0.3質(zhì)量份以上，優(yōu)選為1質(zhì)量份以下。作為硫脲系交聯(lián)劑用的促進劑，可以舉出例如1,3-二苯胍(D)、1,3-二鄰甲苯胍(DT)、1-鄰甲苯雙胍(BG)等胍系促進劑等的1種或2種以上。特別優(yōu)選1,3-二鄰甲苯胍(DT)。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，促進劑的混配比例優(yōu)選為0.3質(zhì)量份以上，優(yōu)選為1質(zhì)量份以下。(硫系交聯(lián)劑和促進劑)作為硫系交聯(lián)劑，可以舉出例如粉末硫、油處理粉末硫、沉淀硫、膠態(tài)硫、分散性硫等硫；四甲基秋蘭姆二硫化物、N,N-二硫代雙嗎啉等有機含硫化合物等。其中，優(yōu)選硫作為硫系交聯(lián)劑。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，硫的混配比例優(yōu)選為1質(zhì)量份以上，優(yōu)選為2質(zhì)量份以下。需要說明的是，例如使用油處理粉末硫、分散性硫等作為硫的情況下，上述混配比例為各個硫中所含的作為有效成分的硫本身的比例。此外，使用含硫系交聯(lián)劑作為交聯(lián)劑的情況下，優(yōu)選調(diào)整其混配比例使分子中所含的硫的相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份的質(zhì)量份為上述范圍。作為硫系交聯(lián)劑用的促進劑，可以舉出例如噻唑系促進劑、秋蘭姆系促進劑、次磺酰胺系促進劑、二硫代氨基甲酸鹽系促進劑等分子中含有硫的含硫系促進劑的1種或2種以上。其中，優(yōu)選合用噻唑系促進劑和秋蘭姆系促進劑。作為噻唑系促進劑，可以舉出例如2-巰基苯并噻唑(M)、二-2-苯并噻唑基二硫化物(DM)、2-巰基苯并噻唑的鋅鹽(MZ)、2-巰基苯并噻唑的環(huán)己胺鹽(HM、M60-OT)、2-(N,N-二乙基硫代氨基甲酸基硫代)苯并噻唑(64)、2-(4′-嗎啉基二硫代)苯并噻唑(DS、MDB)等的1種或2種以上。特別優(yōu)選二-2-苯并噻唑基二硫化物(DM)。此外，作為秋蘭姆系促進劑，可以舉出例如四甲基秋蘭姆單硫化物(TS)、四甲基秋蘭姆二硫化物(TT、TMT)、四乙基秋蘭姆二硫化物(TET)、四丁基秋蘭姆二硫化物(TBT)、四(2-乙基己基)秋蘭姆二硫化物(TOT-N)、雙五亞甲基秋蘭姆四硫化物(TRA)等的1種或2種以上。特別優(yōu)選四甲基秋蘭姆單硫化物(TS)。在上述2種含硫系促進劑的合用體系中，相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，噻唑系促進劑的混配比例優(yōu)選為1質(zhì)量份以上，優(yōu)選為2質(zhì)量份以下。此外，相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，秋蘭姆系促進劑的混配比例優(yōu)選為0.3質(zhì)量份以上，優(yōu)選為1質(zhì)量份以下?！措x子鹽〉半導(dǎo)電性橡膠組合物優(yōu)選進一步含有在分子中具有氟基和磺?；年庪x子與陽離子的鹽(離子鹽)。通過含有該離子鹽，能夠賦予半導(dǎo)電性輥更加良好的半導(dǎo)電性。作為構(gòu)成離子鹽的、分子中具有氟基和磺酰基的陰離子，可以舉出例如氟代烷基磺酸根離子、雙(氟代烷基磺?；?亞胺離子、三(氟代烷基磺酰基)甲基化物離子等的1種或2種以上。其中，作為氟代烷基磺酸根離子，可以舉出例如CF3SO3-、C4F9SO3-等的1種或2種以上。此外，作為雙(氟代烷基磺?；?亞胺離子，可以舉出例如(CF3SO2)2N-、(C2F5SO2)2N-、(C4F9SO2)(CF3SO2)N-、(FSO2C6F4)(CF3SO2)N-、(C8F17SO2)(CF3SO2)N-、(CF3CH2OSO2)2N-、(CF3CF2CH2OSO2)2N-、(HCF2CF2CH2OSO2)2N-、[(CF3)2CHOSO2]2N-等的1種或2種以上。進一步，作為三(氟代烷基磺?；?甲基化物離子，可以舉出例如(CF3SO2)3C-、(CF3CH2OSO2)3C-等的1種或2種以上。此外，作為陽離子，可以舉出例如鈉、鋰、鉀等堿金屬的離子；鈹、鎂、鈣、鍶、鋇等第2族元素的離子；過渡元素的離子；兩性元素的陽離子；季銨離子；咪唑鎓陽離子等的1種或2種以上。作為離子鹽，特別優(yōu)選使用鋰離子作為陽離子的鋰鹽和使用鉀離子作為陽離子的鉀鹽。其中，從提高半導(dǎo)電性橡膠組合物的離子導(dǎo)電性、降低半導(dǎo)電性輥的輥電阻值的效果的方面出發(fā)，優(yōu)選(CF3SO2)2NLi[雙(三氟甲烷磺酰基)亞胺鋰]和/或(CF3SO2)2NK[雙(三氟甲烷磺酰基)亞胺鉀]。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，離子鹽的混配比例優(yōu)選為0.5質(zhì)量份以上，優(yōu)選為5質(zhì)量份以下。離子鹽的混配比例小于該范圍時，有可能無法充分得到提高半導(dǎo)電性輥的離子導(dǎo)電性、降低輥電阻值的效果。另一方面，即使超過范圍，不僅無法得到其以上的效果，而且過量的離子鹽在半導(dǎo)電性輥的外周面噴霜，有可能污染感光體，或者妨礙基于紫外線的照射等的氧化膜的形成?！雌渌蛋雽?dǎo)電性橡膠組合物中可以進一步根據(jù)需要混配各種添加劑。作為添加劑，可以舉出例如交聯(lián)助劑、受酸劑、增塑劑、加工助劑、抗劣化劑、填充劑、防焦劑、潤滑劑、顏料、抗靜電劑、阻燃劑、中和劑、成核劑、共交聯(lián)劑等。這些添加劑特別是注意半導(dǎo)電性輥的電阻值和抑制外添劑等在外周面附著和蓄積的效果等的平衡來設(shè)定種類和混配比例即可。作為交聯(lián)助劑，可以舉出例如鋅白等金屬化合物；硬脂酸、油酸、棉籽脂肪酸等脂肪酸、其他以往公知的交聯(lián)助劑的1種或2種以上。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，交聯(lián)助劑的混配比例優(yōu)選為3質(zhì)量份以上，優(yōu)選為7質(zhì)量份以下。受酸劑的作用在于防止在橡膠成分的交聯(lián)時產(chǎn)生自環(huán)氧氯丙烷橡膠、CR的氯系氣體殘留在半導(dǎo)電性輥內(nèi)或者由此產(chǎn)生的阻礙交聯(lián)、污染感光體等。作為受酸劑，可以使用作為酸受體發(fā)揮作用的各種物質(zhì)，其中優(yōu)選分散性優(yōu)異的水滑石類或MAGSARAT、特別優(yōu)選水滑石類。此外，在將水滑石類等與氧化鎂或氧化鉀合用時，可以得到更高的受酸效果，可以更加良好地防止感光體的污染。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，受酸劑的混配比例優(yōu)選為3質(zhì)量份以上，優(yōu)選為7質(zhì)量份以下。作為增塑劑，可以舉出例如鄰苯二甲酸二丁酯(DBP)、鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)、磷酸三甲苯酚酯等各種增塑劑；或極性蠟等各種蠟等。另外，作為加工助劑，可以舉出硬脂酸鋅等脂肪酸金屬鹽等。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，增塑劑和/或加工助劑的混配比例優(yōu)選為3質(zhì)量份以下。作為抗劣化劑，可以舉出各種抗老化劑、抗氧化劑等。其中，抗老化劑降低半導(dǎo)電性輥的輥電阻值的環(huán)境依賴性，同時還起到抑制連續(xù)通電時的輥電阻值的上升的作用。作為抗老化劑，可以舉出例如二乙基二硫代氨基甲酸鎳[大內(nèi)新興化學(xué)工業(yè)株式會社制造的NOCRAC(注冊商標)NEC-P]、二丁基二硫代氨基甲酸鎳[大內(nèi)新興化學(xué)工業(yè)株式會社制造的NOCRACNBC]等。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，抗老化劑的混配比例優(yōu)選為0.3質(zhì)量份以上，優(yōu)選為1質(zhì)量份以下。作為填充劑，例如可以舉出氧化鋅、二氧化硅、碳、炭黑、粘土、滑石、碳酸鈣、碳酸鎂、氫氧化鋁等中的1種或2種以上。通過混配填充劑，可以提高半導(dǎo)電性輥的機械強度等。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，填充劑的混配比例優(yōu)選為5質(zhì)量份以上，優(yōu)選為20質(zhì)量份以下。此外，也可以混配導(dǎo)電性炭黑等導(dǎo)電性填充劑作為填充劑，賦予半導(dǎo)電性輥電子導(dǎo)電性。作為導(dǎo)電性炭黑，可以舉出例如乙炔黑。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，導(dǎo)電性炭黑的混配比例優(yōu)選為1質(zhì)量份以上，優(yōu)選為5質(zhì)量份以下。作為防焦劑，例如可以舉出N-環(huán)己基硫代鄰苯二甲酰亞胺、鄰苯二甲酸酐、N-亞硝基二苯基胺、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯等中的1種或2種以上。特別優(yōu)選N-環(huán)己基硫代鄰苯二甲酰亞胺。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，防焦劑的混配比例優(yōu)選為0.1質(zhì)量份以上，優(yōu)選為1質(zhì)量份以下。共交聯(lián)劑是指其本身發(fā)生交聯(lián)且也與橡膠成分發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)而具有使整體高分子化作用的成分。作為共交聯(lián)劑，可以舉出以例如甲基丙烯酸酯、或者甲基丙烯酸或丙烯酸的金屬鹽等為代表的烯鍵式不飽和單體、利用了1,2-聚丁二烯的官能團的多官能聚合物類、或者二肟等中的1種或2種以上。其中，作為烯鍵式不飽和單體，可以舉出例如下述(a)～(h)所表示的化合物等的1種或2種以上。(a)丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸等單羧酸類。(b)馬來酸、富馬酸、衣康酸等二羧酸類。(c)(a)(b)的不飽和羧酸類的酯或酸酐。(d)(a)～(c)的金屬鹽。(e)1,3-丁二烯、異戊二烯、2-氯-1,3-丁二烯等脂肪族共軛二烯。(f)苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、乙基乙烯基苯、二乙烯基苯等芳香族乙烯基化合物。(g)三烯丙基異氰脲酸酯、三聚氰酸三烯丙酯、乙烯基吡啶等具有雜環(huán)的乙烯基化合物.以及(h)(甲基)丙烯腈或者α-氯丙烯腈等乙烯基氰化合物、丙烯醛、甲?；薮肌⒁蚁┗谆?、乙烯基乙基酮、乙烯基丁基酮。此外，作為(c)的不飽和羧酸類的酯，優(yōu)選單羧酸類的酯。作為單羧酸類的酯，可以舉出例如下述的各種化合物等的1種或2種以上。(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸正戊酯、(甲基)丙烯酸異戊酯、(甲基)丙烯酸正己酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸異壬酯、(甲基)丙烯酸叔丁基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸羥甲酯、(甲基)丙烯酸羥乙酯等(甲基)丙烯酸的烷基酯。(甲基)丙烯酸氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸丁基氨基乙酯等(甲基)丙烯酸的氨基烷基酯。(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸苯甲?；?、(甲基)丙烯酸烯丙酯等具有芳香族環(huán)的(甲基)丙烯酸酯。(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸環(huán)氧環(huán)己酯等具有環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸酯。N-羥甲基(甲基)丙烯酰胺、γ-(甲基)丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、甲基丙烯酸四氫糠基酯等具有各種官能團的(甲基)丙烯酸酯。乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙烯二甲基丙烯酸酯(EDMA)、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、異丁烯乙烯二甲基丙烯酸酯等多官能(甲基)丙烯酸酯。(半導(dǎo)電性橡膠組合物的制備)含有以上說明的各成分的半導(dǎo)電性橡膠組合物可以與以往同樣地制備。首先，以規(guī)定比例混配橡膠成分并進行塑煉，接著，加入離子鹽和除了交聯(lián)成分以外的各種添加劑進行混煉后，最后加入交聯(lián)成分進行混煉，由此得到半導(dǎo)電性橡膠組合物?；鞜捴锌梢允褂美缑軣挋C、班伯里混合機、捏合機、擠出機等密閉式混煉機、或開煉輥?！栋雽?dǎo)電性輥(其2)》圖16的(a)為示出外周面上形成上述凹部的本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥的整體外觀的其他示例的立體圖，圖16的(b)為上述示例的半導(dǎo)電性輥的端面圖。圖17的(a)為示出制造圖16的(a)(b)的半導(dǎo)電性輥的工序的一例的立體圖，圖17的(b)為上述工序中使用的內(nèi)層的端面圖，圖17的(c)為成為外層原料的管的端面圖。參照圖16的(a)(b)，該示例的半導(dǎo)電性輥6是在利用半導(dǎo)電性橡膠組合物的多孔質(zhì)體形成為筒狀的內(nèi)層10的外周面11上層積由具有半導(dǎo)電性的熱塑性彈性體無縫管構(gòu)成的外層12而成的。在內(nèi)層10的中心通孔13中插入固定有軸8。與之前的示例同樣地，軸8利用例如鐵、鋁、鋁合金、不銹鋼等金屬整體地形成，例如藉由具有導(dǎo)電性的粘接劑與內(nèi)層10電接合，同時被以機械方式固定；或者通過將外徑大于通孔13的內(nèi)徑的軸壓入通孔13中，從而與內(nèi)層10電接合，同時被以機械方式固定而整體地旋轉(zhuǎn)。上述半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度限定為30°以上60°以下。整體的AskerC型硬度小于該范圍時，特別是如后所述，在成為外層12原料的管14(參照圖17的(a)～(c))內(nèi)壓入內(nèi)層10來制造半導(dǎo)電性輥6時，上述外層12對于內(nèi)層10的緊固力不足，該外層12在例如成像時容易相對于內(nèi)層10發(fā)生偏移。另一方面，整體的AskerC型硬度超過上述范圍的情況下，半導(dǎo)電性輥6的柔軟性下降，作為例如充電輥與感光體抵接使用時，無法充分確保對于該感光體的接觸面積，有可能產(chǎn)生感光體的帶電不良和與此相伴的形成圖像的濃度下降。與此相對，通過使半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為上述范圍，不會產(chǎn)生外層12的偏移等，能夠賦予該半導(dǎo)電性輥6適度的柔軟性，能夠良好地抑制感光體的帶電不良和與此相伴的形成圖像的濃度下降。需要說明的是，若考慮進一步提高該效果，則半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度在上述范圍中優(yōu)選為45°以上，優(yōu)選為50°以下。需要說明的是，在本發(fā)明中，在溫度23±2℃的條件，按照(社)日本橡膠協(xié)會標準規(guī)范SRIS0101“膨脹橡膠的物理試驗方法”中記載的測定方法測定，以如此測定的值表示半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度。參照圖17的(a)～(c)，在該示例的制造方法中，準備成為外層12原料的具有半導(dǎo)電性的熱塑性彈性體無縫管14、預(yù)先在中心的通孔13中插入固定有軸8的外徑D1大于管14的內(nèi)徑D2的內(nèi)層10，在上述管14內(nèi)壓入上述內(nèi)層10。于是，內(nèi)層10與管14電接合，同時被以機械方式固定，形成由上述管14構(gòu)成的外層12。然后，如上所述，對應(yīng)其配置，在作為外層12表面的外周面1上掃描照射會聚為規(guī)定的凹部2的開口形狀的激光，形成多個凹部2，由此制造上述示例的半導(dǎo)電性輥6。管14的厚度T限定為100μm以上400μm以下，同時內(nèi)層10的外徑D1與管14的內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量限定為100μm以上400μm以下。管14的厚度T限定為100μm以上400μm以下是基于下述理由。即，厚度T小于該范圍時，不容易形成厚度均勻的管14。另一方面，管14的厚度T超過上述范圍的情況下，整體的AskerC型硬度超過60°，半導(dǎo)電性輥6的柔軟性下降，如上所述，有可能產(chǎn)生感光體的帶電不良和與此相伴的形成圖像的濃度下降。與此相對，通過使管14的厚度T為上述范圍，能夠制造一種半導(dǎo)電性輥6，其使由該管14構(gòu)成的外層12的厚度盡可能均勻化，同時具有整體的AskerC型硬度滿足60°以下的范圍的柔軟性，能夠良好地抑制感光體的帶電不良和與此相伴的形成圖像的濃度下降。此外，上述D1-D2所表示的外層12相對于內(nèi)層10的過盈量限定為100μm以上400μm以下是基于下述理由。即，過盈量小于該范圍時，無法充分得到基于外層12的內(nèi)層10的緊固力，因此外層12容易相對于該內(nèi)層10發(fā)生偏移。另一方面，過盈量超過上述范圍的情況下，基于外層12的內(nèi)層10的緊固過強，半導(dǎo)電性輥6的柔軟性下降，整體的AskerC型硬度超過60°，如上所述，有可能產(chǎn)生感光體的帶電不良和與此相伴的形成圖像的濃度下降。此外，例如外層12薄的情況下，在成像時該外層12容易發(fā)生斷裂。與此相對，通過使過盈量為上述范圍，能夠制造一種半導(dǎo)電性輥6，其在成像時外層12不易偏離或者斷裂，而且具有整體的AskerC型硬度滿足60°以下的范圍的柔軟性，能夠良好地抑制感光體的帶電不良和與此相伴的形成圖像的濃度下降。構(gòu)成上述圖16的(a)(b)的示例的半導(dǎo)電性輥6的內(nèi)層10和外層12可以利用各種材料形成。但是，優(yōu)選內(nèi)層10利用含有乙丙系橡膠和石蠟系油的半導(dǎo)電性橡膠組合物的多孔質(zhì)體形成，同時外層12利用具有半導(dǎo)電性的聚酰胺系熱塑性彈性體的無縫管14形成。根據(jù)該組合，至少選擇與石蠟系油的親和性、相容性優(yōu)異的上述乙丙系橡膠作為成為內(nèi)層10原料的半導(dǎo)電性橡膠組合物的橡膠成分，并配混上述石蠟系油，由此能夠在使半導(dǎo)電性橡膠組合物的熔融粘度降低而提高發(fā)泡性的狀態(tài)下進行發(fā)泡、交聯(lián)，因此與現(xiàn)狀相比，能夠提高上述半導(dǎo)電性橡膠組合物的發(fā)泡體的發(fā)泡倍率，能夠提高由該發(fā)泡體構(gòu)成的內(nèi)層10的柔軟性。此外，聚酰胺系熱塑性彈性體與乙丙系橡膠和石蠟系油的親和性、相容性低，所以可作為該石蠟系油的阻擋層發(fā)揮功能，利用聚酰胺系熱塑性彈性體的管形成外層12，能夠抑制混配在內(nèi)層10中的石蠟系油滲出到半導(dǎo)電性輥6的外周面1而污染感光體。因此，根據(jù)本發(fā)明，通過組合上述內(nèi)層10和外層12，能夠形成不產(chǎn)生感光體污染、具有整體的AskerC型硬度滿足60°以下的范圍的柔軟性的半導(dǎo)電性輥6?！磧?nèi)層10〉(乙丙系橡膠)作為成為內(nèi)層10原料的乙丙系橡膠，屬于乙烯和丙烯的共聚物的乙丙橡膠(EPM)和屬于乙烯、丙烯和二烯的共聚物的三元乙丙橡膠(EPDM)均可以使用，特別優(yōu)選EPDM。此外，作為EPDM，使乙烯、丙烯和二烯共聚而得到的各種共聚物均可以使用。作為二烯，可以舉出亞乙基降冰片烯(ENB)、雙環(huán)戊二烯(DCPD)等。其中，作為二烯為ENB的EPDM，可以舉出例如住友化學(xué)株式會社制的ESPRENE(注冊商標)EPDM501A[門尼粘度ML1+4(100℃)：44、乙烯含量：52％、二烯含量：4.0％]、505A[門尼粘度ML1+4(100℃)：47、乙烯含量：50％、二烯含量：9.5％]等的至少1種。此外，作為二烯為DCDP的EPDM，可以舉出例如住友化學(xué)株式會社制的ESPRENEEPDM301A[門尼粘度ML1+4(100℃)：44、乙烯含量：50％、二烯含量：5.0％]、301[門尼粘度ML1+4(100℃)：55、乙烯含量：62％、二烯含量：3.0％]、305[門尼粘度ML1+4(100℃)：60、乙烯含量：60％、二烯含量：7.5％]等的1種或2種以上。此外，作為EPDM，除了上述示例的非充油EPDM之外，還已知利用填充油進行填充的充油EPDM，在本發(fā)明中，也可以使用該充油EPDM中的填充油為石蠟系油的充油EPDM代替EPDM+石蠟系油。作為EPDM，可以舉出上述示例的1種或2種以上。(其他橡膠成分)若考慮進一步提高之前說明的基于組合乙丙系橡膠、石蠟系油和聚酰胺系熱塑性彈性體的效果，則優(yōu)選僅單獨使用乙丙系橡膠(包括合用2種以上乙丙系橡膠的情況)作為形成內(nèi)層10的橡膠成分。但是，可以在不阻礙上述效果的范圍合用其他橡膠。作為該其他橡膠，可以舉出例如天然橡膠、異戊二烯橡膠、丁二烯橡膠、苯乙烯丁二烯橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠等的1種或2種以上。其他橡膠的混配比例優(yōu)選為橡膠成分的總量100質(zhì)量份中的20質(zhì)量份以下、特別優(yōu)選為10質(zhì)量份以下。(石蠟系油)作為石蠟系油，可以使用與乙丙系橡膠具有良好相容性的各種石蠟系油。作為石蠟系油，可以舉出例如出光興產(chǎn)株式會社制的Diana(注冊商標)操作油PW系列的各種油等的1種或2種以上。相對于至少含有乙丙系橡膠的橡膠成分的總量100質(zhì)量份，石蠟系油的混配比例優(yōu)選為20質(zhì)量份以上，優(yōu)選為100質(zhì)量份以下。石蠟系油的混配比例小于該范圍時，有可能無法充分得到基于混配該石蠟系油得到的上述效果：使半導(dǎo)電性橡膠組合物的熔融粘度下降，提高發(fā)泡性，由此提高發(fā)泡體的發(fā)泡倍率，提高內(nèi)層10、甚至半導(dǎo)電性輥6的柔軟性。即，有可能無法賦予半導(dǎo)電性輥6整體的AskerC型硬度滿足60°以下的范圍的高柔軟性。另一方面，石蠟系油的混配比例超過上述范圍的情況下，過量的石蠟系油滲出至與外層12的界面，阻礙該外層12與內(nèi)層10之間的電傳導(dǎo)，有可能使半導(dǎo)電性輥6的半導(dǎo)電性下降。此外，外層12還有可能容易相對于內(nèi)層10發(fā)生偏移。與此相對，通過使石蠟系油的混配比例為上述范圍，能夠抑制產(chǎn)生半導(dǎo)電性輥6的半導(dǎo)電性下降、外層12的偏移等，同時提高半導(dǎo)電性橡膠組合物的發(fā)泡性，提高發(fā)泡倍率，提高內(nèi)層10的柔軟性，賦予半導(dǎo)電性輥6整體的AskerC型硬度滿足60°以下的范圍的高柔軟性。需要說明的是，若考慮進一步提高該效果，則相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，石蠟系油的混配比例在上述范圍中優(yōu)選為40質(zhì)量份以上，優(yōu)選為60質(zhì)量份以下。此外，如上所述，使用填充油為石蠟系油的充油EPDM作為EPDM的情況下，選擇使用相對于EPDM100質(zhì)量份的充油量為上述范圍的充油EPDM即可。此外，充油量不足的情況下，補充石蠟系油即可，充油量過量的情況下，補充非充油EPDM等即可。對于成為內(nèi)層10原料的半導(dǎo)電性橡膠組合物，可以在至少含有上述乙丙系橡膠的橡膠成分和石蠟系油中以規(guī)定比例混配用于使上述橡膠成分交聯(lián)的交聯(lián)成分、用于要使內(nèi)層10為多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)而使其發(fā)泡的發(fā)泡成分、用于賦予內(nèi)層10半導(dǎo)電性的導(dǎo)電劑等而制備。(交聯(lián)成分)作為用于使乙丙系橡膠交聯(lián)的交聯(lián)成分，可以舉出交聯(lián)劑、促進劑。其中，作為交聯(lián)劑，可以舉出例如硫系交聯(lián)劑、硫脲系交聯(lián)劑、三嗪衍生物系交聯(lián)劑、過氧化物系交聯(lián)劑、各種單體等的1種或2種以上。此外，作為硫系交聯(lián)劑，可以舉出例如粉末硫、油處理粉末硫、沉淀硫、膠態(tài)硫、分散性硫等硫；四甲基秋蘭姆二硫化物、N,N-二硫代雙嗎啉等有機含硫化合物等。作為硫脲系交聯(lián)劑，可以舉出例如四甲基硫脲、三甲基硫脲、乙烯硫脲、(CnH2n+1NH)2C＝S[式中，n表示1～10的數(shù)]所表示的硫脲等的1種或2種以上。進一步，作為過氧化物交聯(lián)劑，可以舉出例如過氧化苯甲酰等。乙丙系橡膠為EPDM的情況下，優(yōu)選硫作為交聯(lián)劑。相對于至少含有上述乙丙系橡膠的橡膠成分的總量100質(zhì)量份，硫的混配比例優(yōu)選為0.5質(zhì)量份以上，優(yōu)選為3質(zhì)量份以下。需要說明的是，例如使用油處理粉末硫、分散性硫等作為硫的情況下，上述混配比例為各個硫中所含的作為有效成分的硫本身的比例。此外，使用含硫系交聯(lián)劑作為交聯(lián)劑的情況下，優(yōu)選調(diào)整其混配比例使分子中所含的硫的相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份的質(zhì)量份為上述范圍。作為促進劑，可以舉出例如消石灰、氧化鎂(MgO)、鉛黃(PbO)等無機促進劑、或有機促進劑等的1種或2種以上。此外，作為有機促進劑，可以舉出例如1,3-二鄰甲苯胍、1,3-二苯胍、1-鄰甲苯雙胍、二鄰苯二酚硼酸鹽的二鄰甲苯胍鹽等胍系促進劑；2-巰基苯并噻唑、二-2-苯并噻唑基二硫化物等噻唑系促進劑；N-環(huán)己基-2-苯并噻唑次磺酰胺等次磺酰胺系促進劑；四甲基秋蘭姆單硫化物、四甲基秋蘭姆二硫化物、四乙基秋蘭姆二硫化物、雙五亞甲基秋蘭姆四硫化物等秋蘭姆系促進劑；硫脲系促進劑等的1種或2種以上。促進劑因種類而功能不同，因此優(yōu)選合用2種以上促進劑。各個促進劑的混配比例可以根據(jù)種類任意設(shè)定，相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，通常分別優(yōu)選為0.5質(zhì)量份以上，優(yōu)選為3質(zhì)量份以下。(發(fā)泡成分)作為發(fā)泡成分，可以使用利用加熱分解產(chǎn)生氣體的各種發(fā)泡劑。作為該發(fā)泡劑，可以舉出例如偶氮二酰胺(ADCA)、4,4′-氧代雙(苯磺酰氨基脲)(OBSH)、N,N-二亞硝基五亞甲基四胺(DPT)等的1種或2種以上。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，發(fā)泡劑的混配比例優(yōu)選為3質(zhì)量份以上，優(yōu)選為8質(zhì)量份以下。發(fā)泡劑的混配比例小于該范圍時，內(nèi)層10的發(fā)泡倍率不足，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度超過60°，柔軟性下降，有可能產(chǎn)生感光體的帶電不良和與此相伴的形成圖像的濃度下降。另一方面，發(fā)泡劑的混配比例超過上述范圍的情況下，內(nèi)層10的發(fā)泡倍率過高，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度小于30°，例如外層容易在成像時相對于內(nèi)層發(fā)生偏離。發(fā)泡劑為ADCA的情況下，可以組合使用起到降低該ADCA的分解溫度而促進分解的作用的發(fā)泡助劑，例如脲系的發(fā)泡助劑。發(fā)泡助劑的混配比例可以根據(jù)組合的發(fā)泡劑的種類等任意設(shè)定，相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選為1質(zhì)量份以上，優(yōu)選為3質(zhì)量份以下。(導(dǎo)電劑)作為導(dǎo)電劑，可以舉出電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑和/或離子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑。特別優(yōu)選電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑。作為電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑，可以舉出例如具有電子導(dǎo)電性的各種炭黑或石墨等的1種或2種以上。相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑的混配比例優(yōu)選為30質(zhì)量份以上，優(yōu)選為60質(zhì)量份以下。電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑的混配比例小于該范圍時，內(nèi)層10的電阻值過高，無法賦予半導(dǎo)電性輥6的整體充分的半導(dǎo)電性，例如形成圖像的黑色實心濃度有可能下降。另一方面，電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑的混配比例超過上述范圍的情況下，即使混配例如石蠟系油，內(nèi)層10、甚至半導(dǎo)電性輥6變硬，該半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度超過60°，柔軟性下降，有可能產(chǎn)生感光體的帶電不良和與此相伴的形成圖像的濃度下降。(其他添加劑)半導(dǎo)電性橡膠組合物中可以進一步根據(jù)需要混配各種添加劑。作為添加劑，可以舉出例如交聯(lián)助劑、抗劣化劑、填充劑、防焦劑、潤滑劑、顏料、抗靜電劑、阻燃劑、中和劑、成核劑、共交聯(lián)劑等。作為這些添加劑，之前示例的物質(zhì)均可以使用。(半導(dǎo)電性橡膠組合物的制備)含有以上說明的各成分的半導(dǎo)電性橡膠組合物可以與以往同樣地制備。首先對橡膠成分進行塑煉，接著，加入石蠟系油、導(dǎo)電劑和除了交聯(lián)成分、發(fā)泡成分以外的各種添加劑進行混煉后，最后加入交聯(lián)成分、發(fā)泡成分進行混煉，由此得到半導(dǎo)電性橡膠組合物?；鞜捴锌梢允褂美缑軣挋C、班伯里混合機、捏合機、擠出機等密閉式的混煉機、或開煉輥等。(內(nèi)層10的制作)對于制造內(nèi)層10而言，首先使用擠出成型機將上述半導(dǎo)電性橡膠組合物擠出成型為筒狀，接著，切割為規(guī)定的長度，在硫化罐內(nèi)加壓、加熱使其發(fā)泡、交聯(lián)。接著，使用烘箱等對發(fā)泡、交聯(lián)后的筒狀體進行加熱使其二次交聯(lián)，冷卻后進行研磨使其成為規(guī)定的外徑D1。〈軸8〉軸8可以在從筒狀體的切割后至將內(nèi)層10壓入管14后的任意時刻插入固定于通孔13。但是，在切割后，優(yōu)選以先將軸8插入固定于通孔13的狀態(tài)進行二次交聯(lián)、研磨和如圖17的(a)所示那樣進行向管14的壓入。由此，能夠防止二次交聯(lián)時的膨脹收縮導(dǎo)致的筒狀體→內(nèi)層10的翹曲或變形。此外，一邊以軸8為中心進行旋轉(zhuǎn)一邊進行研磨，由此能夠提高該研磨的作業(yè)性，且能夠抑制外周面11的偏移。進一步，能夠提高將內(nèi)層10壓入管14時的作業(yè)性。對于軸8，如之前說明的那樣，藉由具有導(dǎo)電性的粘接劑與內(nèi)層10電接合，同時被以機械方式固定，或者將外徑大于通孔13的內(nèi)徑的軸壓入通孔13中，由此與內(nèi)層10電接合，同時被以機械方式固定，與該內(nèi)層10整體地旋轉(zhuǎn)。在前者的情況下，通過烘箱中的加熱，筒狀體發(fā)生二次交聯(lián)，同時熱固化性粘接劑發(fā)生固化，該軸8與筒狀體→內(nèi)層10電接合，同時被以機械方式固定。此外，在后者的情況下，壓入的同時，完成電接合和機械固定?！赐鈱?2〉對于外層12，如之前說明的那樣，由具有半導(dǎo)電性的熱塑性彈性體的無縫管14構(gòu)成。管14可以將含有上述熱塑性彈性體的彈性體組合物擠出成型為具有規(guī)定厚度T和內(nèi)徑D2的筒狀等而制作。作為成為管14原料的熱塑性彈性體，在用含有石蠟系油的乙丙系橡膠形成內(nèi)層10的情況下，如上所述，優(yōu)選聚酰胺系熱塑性彈性體。作為聚酰胺系熱塑性彈性體，可以舉出含有聚酰胺作為硬鏈段、含有聚醚、聚酯、聚丙二醇、聚四甲基醚二醇等至少1種作為軟鏈段的嵌段共聚物的1種或2種以上。為了賦予管14半導(dǎo)電性，在成為其原料的彈性體組合物中混配電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑和/或離子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑即可。特別是，從防止由于滲出導(dǎo)致的感光鼓、調(diào)色劑、或周邊部件的污染的觀點出發(fā)，優(yōu)選電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑。作為電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑，可以舉出上述具有電子導(dǎo)電性的各種炭黑、石墨或碳納米管等碳原纖等的1種或2種以上。特別是，若考慮成本、顯影輥的特性等，則優(yōu)選能夠以少量添加形成導(dǎo)電性回路、可以調(diào)整電阻的DBP吸油量大的炭黑。相對于聚酰胺系熱塑性彈性體100質(zhì)量份，炭黑的混配比例優(yōu)選為30質(zhì)量份以下、特別優(yōu)選為15質(zhì)量份以下。炭黑的混配比例超過該范圍的情況下，外層12變硬，有可能容易產(chǎn)生調(diào)色劑的劣化。此外，還有可能導(dǎo)致成本上升。此外，對于炭黑的混配比例的下限沒有特別限定，為了賦予管14適度的半導(dǎo)電性，相對于聚酰胺系熱塑性彈性體100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.5質(zhì)量份以上、特別優(yōu)選為1質(zhì)量份以上。需要說明的是，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)不限于以上說明的圖的示例的結(jié)構(gòu)。例如圖15的示例的半導(dǎo)電性輥6不限于以上說明的單層(除了氧化膜9以外)，也可以形成為具備外周面1側(cè)的外層和軸8側(cè)的內(nèi)層這2層橡膠層的層積結(jié)構(gòu)。除了充電輥之外，本發(fā)明的半導(dǎo)電性輥可以作為例如顯影輥、轉(zhuǎn)印輥、清潔輥等在激光打印機、靜電式復(fù)印機、普通紙傳真機裝置、或它們的復(fù)合設(shè)備等利用電子照相法的成像裝置中使用。實施例〈實施例1-1〉(半導(dǎo)電性橡膠組合物的制備)混配下述各橡膠成分。(A)ECO[OSAKASODACO.,LTD.制的EPICHLOMER(注冊商標)D、環(huán)氧乙烷含量：61摩爾％]15質(zhì)量份(B)GECO[OSAKASODACO.,LTD.制的Epyon(注冊商標)-301L、EO/EP/AGE＝73/23/4(摩爾比)]45質(zhì)量份(C)CR[昭和電工株式會社制的Shoprene(注冊商標)WRT]10質(zhì)量份(D)NBR[JSR株式會社制的JSRN250SL、低腈NBR、丙烯腈含量：20％]30質(zhì)量份使用班伯里混合機對上述(A)～(D)的橡膠成分計100質(zhì)量份進行塑煉，同時先加入下述表1所示的各成分中的交聯(lián)成分以外的成分進行混煉，最后加入交聯(lián)成分進一步進行混煉，制備半導(dǎo)電性橡膠組合物。【表1】成分質(zhì)量份離子鹽3.40受酸劑5.00交聯(lián)助劑5.00填充劑2.00加工助劑1.00抗老化劑0.50硫脲系交聯(lián)劑0.60促進劑DT0.54分散性硫1.50促進劑DM1.50促進劑TS0.50表1中的各成分如下所述。需要說明的是，表中的質(zhì)量份為相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份的質(zhì)量份。離子鹽：雙(三氟甲烷磺?；?酰亞胺鉀[MitsubishiMaterialsElectronicChemicalsCo.,Ltd.制的EF-N112]受酸劑：水滑石類[協(xié)和化學(xué)工業(yè)株式會社制的DHT-4A(注冊商標)-2]交聯(lián)助劑：2種氧化鋅[三井金屬礦業(yè)株式會社制]填充劑：導(dǎo)電性炭黑[乙炔黑、電化學(xué)工業(yè)株式會社制的DENKA(注冊商標)、粒狀]加工助劑：硬脂酸鋅[堺化學(xué)工業(yè)株式會社制的SZ-2000]抗老化劑：二丁基二硫代氨基甲酸鎳[大內(nèi)新興化學(xué)工業(yè)株式會社制的NOCRAC(注冊商標)NBC]硫脲系交聯(lián)劑：乙烯硫脲[2-巰基咪唑啉、川口化學(xué)工業(yè)株式會社制的Accel(注冊商標)22-S]促進劑DT：1,3-二鄰甲苯胍[胍系促進劑、三新化學(xué)工業(yè)株式會社制的Sanceler(注冊商標)DT]分散性硫：交聯(lián)劑[鶴見化學(xué)工業(yè)株式會社制的商品名SULFAXPS、硫分：99.5％]促進劑DM：二-2-苯并噻唑基二硫化物[噻唑系促進劑、大內(nèi)新興化學(xué)工業(yè)株式會社制的Nocceler(注冊商標)DM]促進劑TS：四甲基秋蘭姆單硫化物[秋蘭姆系促進劑、三新化學(xué)工業(yè)株式會社制的SancelerTS](半導(dǎo)電性輥的制造)將上述半導(dǎo)電性橡膠組合物供給至Φ60的擠出成型機，擠出成型為外徑Φ11.0mm、內(nèi)徑Φ5.0mm的筒狀，安裝至交聯(lián)用的臨時軸上，在硫化罐內(nèi)于160℃交聯(lián)30分鐘。將交聯(lián)后的筒狀體重新安裝至外周面涂布有導(dǎo)電性的熱固化性粘接劑(聚酰胺系)的外徑Φ6mm的金屬軸上，在烘箱中于150℃加熱60分鐘，使其粘接于該金屬軸上，切割兩端，然后使用寬幅研磨機對外周面進行干式研磨直至外徑達到Φ9.5mm為止。對研磨后的外周面1進行醇擦拭后，進行激光加工，如圖1、圖2的(a)所示，在該外周面1上形成多個凹部2，所述多個凹部2在上述外周面1的周向和軸向上分別呈矩陣狀形成列，并且各個凹部2在上述周向和軸向上相互重合。各凹部2均形成為同樣的大小，同時使其形成間隔在周向、軸向上均為50～80μm。此外，調(diào)整激光的光闌形狀，使相鄰的凹部2之間的重合量在周向上較小且在軸向上較大。如圖1所示，激光加工后的外周面1成為相鄰的凹部2之間均以連續(xù)的曲面連接的立體形狀。接著，對激光加工后的外周面1再次進行醇擦拭，然后將從UV光源至外周面的距離設(shè)為50mm，來設(shè)置UV處理裝置，一邊在300rpm進行旋轉(zhuǎn)，一邊照射15分鐘紫外線，由此形成氧化膜9，制造半導(dǎo)電性輥6。使用形狀解析激光顯微鏡[株式會社Keyence制的VK-X150/160]對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為22μm，定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為0.6?！磳嵤├?-2〉如圖7、圖8所示，調(diào)整激光的光闌形狀，使相鄰的凹部2之間按照在軸向上重合但在周向上不重合的方式分離形成，除此之外，與實施例1-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。各凹部2均形成為同樣的大小，同時其形成間隔在周向、軸向上均為50～80μm。在軸向上相鄰的各列的凹部2之間的區(qū)域以未加工狀態(tài)殘存，與軸向平行的寬度約20μm，殘留有研磨痕跡，此外，各列的凹部2的周緣與未加工區(qū)域的邊界為鮮明的邊緣狀。與實施例1-1同樣地對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為30μm，定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為1.3。〈比較例1-1〉未利用激光加工在研磨后的外周面1上形成凹部，如圖18所示，隨即使用濕式紙研磨機，用#400的紙進行濕式研磨并進行醇擦拭，然后照射紫外線，形成氧化膜9，除此之外，與實施例1-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。與實施例1-1同樣地對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為25μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為5.6?！幢容^例1-2〉調(diào)整激光的光闌形狀，使相鄰的凹部2之間按照在軸向、周向上均完全不重合的方式分別獨立地形成，除此之外，與實施例1-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。各凹部2均形成為同樣的大小，同時其形成間隔在周向、軸向上均為50～80μm。各自獨立的各凹部2之間的區(qū)域以研磨痕跡殘留的未加工狀態(tài)殘存，此外，各凹部2的周緣與未加工區(qū)域的邊界為鮮明的邊緣狀。與實施例1-1同樣地對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為46.2μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為8.2?！磳嶋H設(shè)備試驗〉光導(dǎo)體單元[LexmarkInternational公司制]具備感光體、始終與該感光體表面接觸而配設(shè)的充電輥，且在激光打印機主體中自由裝卸，代替所述光導(dǎo)體單元的正品充電輥，組裝實施例、比較例中制造的半導(dǎo)電性輥作為充電輥。并且，將組裝的光導(dǎo)體單元裝載至彩色激光打印機[LexmarkInternational公司制的彩色激光打印機CS510]，實施5天2000張/日的供紙后，取出半導(dǎo)電性輥，對有無外添劑等在外周面的附著、蓄積進行評價。即，通過目視觀察半導(dǎo)電性輥的外周面，將其整個面由于外添劑等的附著而白化的情況設(shè)為“×”、將一部分白化但為實用水平的情況設(shè)為“△”、將完全未白化的情況設(shè)為“○”。此外，利用分光測色計對實施上述供紙試驗前后的半導(dǎo)電性輥的外周面進行測色，以下述基準對有無外添劑等的附著、蓄積進行評價。○：供紙試驗前后的色差ΔE*a*b*為3以下。△：供紙試驗前后的色差ΔE*a*b*超過3且為7以下?！粒汗┘堅囼炃昂蟮纳瞀*a*b*超過7。將結(jié)果列于表2?！颈?】由表2的實施例1-1、1-2的結(jié)果可知，與未形成上述凹部的比較例1-1、以及完全分別獨立地形成多個凹部的比較例1-2相比，通過在外周面上形成多個凹部，在周向和軸向上相互重合，能夠良好地抑制由于外添劑等在外周面的附著和蓄積導(dǎo)致的白化。此外，由實施例1-1、1-2的結(jié)果可知，通過將外周面1的大致整個面以連續(xù)的曲面連接，能夠更加良好地抑制由于外添劑等在外周面的附著和蓄積導(dǎo)致的白化?！磳嵤├?-1〉使用乙丙系橡膠中的EPDM[住友化學(xué)株式會社制的ESPRENEEPDM505A、門尼粘度ML1+4(100℃)：47、乙烯含量：50％、二烯含量：9.5％]作為橡膠成分。此外，使用出光興產(chǎn)株式會社制的Diana操作油PW-380作為石蠟系油。使用班伯里混合機對上述EPDM100質(zhì)量份進行塑煉，同時加入石蠟系油60質(zhì)量份和下述表3所示的成分中的交聯(lián)成分、發(fā)泡成分以外的成分并進行混煉，然后加入交聯(lián)成分、發(fā)泡成分進一步進行混煉，制備成為內(nèi)層原料的半導(dǎo)電性橡膠組合物?！颈?】成分質(zhì)量份填充劑30交聯(lián)助劑I5交聯(lián)助劑II1電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑50發(fā)泡劑6發(fā)泡助劑2交聯(lián)劑1.6促進劑TS1促進劑MBTS2表3中的各成分如下所述。需要說明的是，表中的質(zhì)量份為相對于以橡膠成分計的EPDM100質(zhì)量份的質(zhì)量份。填充劑：重質(zhì)碳酸鈣、ShiraishiCalcium株式會社制的BF-300交聯(lián)助劑I：三井金屬礦業(yè)株式會社制的2種氧化鋅交聯(lián)助劑II：硬脂酸、日油株式會社制的商品名TUBAKI電子導(dǎo)電性導(dǎo)電劑：炭黑ISAF、東海碳株式會社制的Sheast6發(fā)泡劑：ADCA、永和化成工業(yè)株式會社制的VINYFORAC#3發(fā)泡助劑：脲系、永和化成工業(yè)株式會社制的CellPaste101交聯(lián)劑：5％充油硫、鶴見化學(xué)工業(yè)株式會社制促進劑TS：四甲基秋蘭姆單硫化物、秋蘭姆系促進劑、三新化學(xué)工業(yè)株式會社制的Sanceler(注冊商標)TS促進劑MBTS：二-2-苯并噻唑基二硫化物、噻唑系促進劑、三新化學(xué)工業(yè)株式會社制的SancelerDM將上述半導(dǎo)電性橡膠組合物供給至擠出成型機，擠出成型為外徑Φ11mm、內(nèi)徑Φ5mm的筒狀，安裝至交聯(lián)用的臨時軸上，在硫化罐內(nèi)于160℃使其交聯(lián)、發(fā)泡1小時。接著，將交聯(lián)后的筒狀體重新安裝至外周面涂布有導(dǎo)電性的熱固化性粘接劑的外徑Φ6mm的軸上，在烘箱中加熱至160℃，使其粘接在該軸上，然后使用圓筒研磨機對外周面進行研磨，加工成外徑D1＝9.5mm，進一步進行水洗，制作與軸一體化的內(nèi)層。此外，作為成為外層原料的管，準備具有半導(dǎo)電性的聚酰胺系熱塑性彈性體制無縫管[GUNZE株式會社制的SLV、導(dǎo)電性尼龍?zhí)淄瞉，其厚度T＝100μm、內(nèi)徑D2＝9.3mm。外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為200μm。并且，在上述管內(nèi)壓入上述內(nèi)層后，切割兩端，進一步對管的外周面進行激光加工，如圖1、圖2的(a)所示，在該外周面1上形成多個凹部2，制造半導(dǎo)電性輥6。所述多個凹部2在上述外周面1的周向和軸向上分別呈矩陣狀形成列，并且各個凹部2在上述周向和軸向中相互重合。各凹部2均形成為同樣的大小，同時使其形成間隔在周向、軸向上均為50～80μm。此外，調(diào)整激光的光闌形狀，使相鄰的凹部2之間的重合量在周向上較小且在軸向上較大。如圖1所示，激光加工后的外周面1成為相鄰的凹部2之間均以連續(xù)的曲面連接的立體形狀。與實施例1-1同樣地對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為22μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為0.6。此外，按照上述的測定方法、以負荷1kg對半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度進行測定，結(jié)果為32°?！磳嵤├?-2〉使作為混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的發(fā)泡劑的ADCA的量為5質(zhì)量份，除此之外，與實施例2-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。成為外層原料的管的厚度T為100μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為200μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為45°?！磳嵤├?-3〉使內(nèi)層的外徑D1為9.3mm，且使用GUNZE株式會社制的SLV中的內(nèi)徑D2為9.1mm、厚度T為200μm的管作為成為外層原料的具有半導(dǎo)電性的聚酰胺系熱塑性彈性體制無縫管，除此之外，與實施例2-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。如上所述，成為外層原料的管的厚度T為200μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為200μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為47°。〈實施例2-4〉使內(nèi)層的外徑D1為8.9mm、且使用GUNZE株式會社制的SLV中的內(nèi)徑D2為8.7mm、厚度T為400μm的管作為成為外層原料的具有半導(dǎo)電性的聚酰胺系熱塑性彈性體制無縫管，除此之外，與實施例2-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。如上所述，成為外層原料的管的厚度T為400μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為200μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為55°。〈實施例2-5〉使混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的石蠟系油的量為40質(zhì)量份、作為發(fā)泡劑的ADCA的量為4質(zhì)量份，除此之外，與實施例2-3同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。成為外層原料的管的厚度T為200μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為200μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為58°。〈實施例2-6〉使混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的石蠟系油的量為40質(zhì)量份、作為發(fā)泡劑的ADCA的量為5質(zhì)量份，同時使內(nèi)層的外徑D1為9.2mm，除此之外，實施例2-3同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。成為外層原料的管的厚度T為200μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為100μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為45°?！磳嵤├?-7〉使混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的石蠟系油的量為40質(zhì)量份、作為發(fā)泡劑的ADCA的量為5質(zhì)量份，同時使內(nèi)層的外徑D1為9.5mm，除此之外，與實施例2-3同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。成為外層原料的管的厚度T為200μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為400μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為48°?！磳嵤├?-8〉使混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的石蠟系油的量為40質(zhì)量份、作為發(fā)泡劑的ADCA的量為5質(zhì)量份，除此之外，與實施例2-3同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。成為外層原料的管的厚度T為200μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為200μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為45°?！磳嵤├?-9〉調(diào)整激光的光闌形狀，如圖7、圖8所示，使相鄰的凹部2之間按照在軸向上重合但在周向上不重合的方式分離而形成，除此之外，與實施例2-8同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。各凹部2均形成為同樣的大小，并且其形成間隔在周向、軸向上均為50～80μm。在軸向上相鄰的各列的凹部2之間的區(qū)域以未加工狀態(tài)殘存，其與軸向平行的寬度約20μm，殘留有研磨痕跡，此外，各列的凹部2的周緣與未加工區(qū)域的邊界為鮮明的邊緣狀。與實施例1-1同樣地對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為30μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為1.3。半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為45°。〈比較例2-1〉使混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的石蠟系油的量為50質(zhì)量份，不混配發(fā)泡劑、發(fā)泡助劑，除此之外，與實施例2-1同樣地進行，制備非發(fā)泡性的半導(dǎo)電性橡膠組合物。并且，使用該半導(dǎo)電性橡膠組合物，并且不形成外層，除此之外，與實施例2-1同樣地進行，制造非多孔質(zhì)且單層的、外徑D1為9.5mm的半導(dǎo)電性輥6。對半導(dǎo)電性輥的外周面進行鏡面研磨使日本工業(yè)標準JISB0601：2013“制品的幾何特性規(guī)格(GPS)-表面性狀：輪廓曲線方式-術(shù)語，定義和表面性狀參數(shù)”規(guī)定的輪廓曲線的算術(shù)平均粗糙度Ra為1μm。半導(dǎo)電性輥的整體的AskerC型硬度為50°。〈比較例2-2〉使混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的石蠟系油的量為50質(zhì)量份、作為發(fā)泡劑的ADCA的量為2質(zhì)量份，除此之外，與實施例2-4同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。成為外層原料的管的厚度T為400μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為200μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為65°?！幢容^例2-3〉使混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的石蠟系油的量為50質(zhì)量份、作為發(fā)泡劑的ADCA的量為8質(zhì)量份，除此之外，與實施例2-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。成為外層原料的管的厚度T為100μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為200μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為25°?！幢容^例2-4〉使混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的石蠟系油的量為50質(zhì)量份、作為發(fā)泡劑的ADCA的量為6質(zhì)量份，同時使內(nèi)層的外徑D1為9.6mm，除此之外，與實施例2-3同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。成為外層原料的管的厚度T為200μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為500μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為55°?！幢容^例2-5〉使混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的石蠟系油的量為40質(zhì)量份、作為發(fā)泡劑的ADCA的量為4質(zhì)量份，同時使內(nèi)層的外徑D1為9.16mm，除此之外，與實施例2-3同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。成為外層原料的管的厚度T為200μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為60μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為58°?！幢容^例2-6〉使混配至半導(dǎo)電性橡膠組合物的石蠟系油的量為40質(zhì)量份、作為發(fā)泡劑的ADCA的量為6質(zhì)量份，同時使內(nèi)層的外徑D1為8.6mm、且使用GUNZE株式會社制的SLV中的內(nèi)徑D2為8.5mm、厚度T為500μm的管作為成為外層原料的具有半導(dǎo)電性的聚酰胺系熱塑性彈性體制無縫管，除此之外，與實施例2-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。如上所述，成為外層原料的管的厚度T為500μm、外徑D1與內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為100μm。此外，半導(dǎo)電性輥6的外周面1的凹部2的形狀、配置以及外周面1的表面性狀與實施例2-1相同，半導(dǎo)電性輥6的整體的AskerC型硬度為62°?！磳嶋H設(shè)備試驗〉光導(dǎo)體單元[LexmarkInternational公司制]具備感光體、始終與該感光體表面接觸而配設(shè)的充電輥，且在激光打印機主體中自由裝卸，代替所述光導(dǎo)體單元的正品充電輥，組裝實施例、比較例中制造的半導(dǎo)電性輥作為充電輥。并且，將組裝的光導(dǎo)體單元裝載至彩色激光打印機[LexmarkInternational公司制的彩色激光打印機CS510]之后，形成實心圖像，對有無濃度下降進行評價。即，通過目視觀察形成的實心圖像，將濃度下降的情況設(shè)為“×”、將濃度略微下降但為實用水平的情況設(shè)為“△”、將完全沒有濃度下降的情況設(shè)為“○”。此外，將光導(dǎo)體單元裝載至彩色激光打印機，實施5天2000張/日的供紙后，取出半導(dǎo)電性輥，對有無外添劑等在外周面的附著、蓄積進行評價。即，通過目視觀察半導(dǎo)電性輥的外周面，將其整個面由于外添劑等的附著而白化的情況設(shè)為“×”、將一部分白化但為實用水平的情況設(shè)為“△”、將完全未白化的情況設(shè)為“○”。進一步，觀察外層的狀態(tài)。將以上結(jié)果列于表4～表6?！颈?】※1：產(chǎn)生微小的外層偏移，而非比較例2-3、2-5程度的偏移，為實用水平【表5】【表6】由表4～表6的實施例2-1～2-9、比較例2-1的結(jié)果可知，通過使顯影輥為多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)的內(nèi)層和由管構(gòu)成的外層這2層結(jié)構(gòu)，且在其外周面上形成多個凹部，在周向和軸向上相互重合，能夠良好地抑制由于外添劑等在外周面的附著和蓄積導(dǎo)致的白化。其中，由實施例2-1～2-9、比較例2-2、2-3、2-6的結(jié)果可知，為了得到?jīng)]有外層的偏移、白化等的上述效果，需要上述2層結(jié)構(gòu)的顯影輥的整體AskerC型硬度為30°以上60°以下。此外，由實施例2-1～2-9、比較例2-4～2-6的結(jié)果可知，為了制造不產(chǎn)生外層的斷裂、偏移等、且上述效果也優(yōu)異的顯影輥，需要使成為外層原料的管的厚度T為100μm以上400μm以下，且內(nèi)層的外徑D1與管的內(nèi)徑D2之差D1-D2所表示的過盈量為100μm以上400μm以下。進一步，由實施例2-1～2-9的結(jié)果可知，為了進一步提高上述效果，整體的AskerC型硬度優(yōu)選為45°以上，優(yōu)選為50°以下，為此相對于橡膠成分的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選使石蠟系油的混配比例為20質(zhì)量份以上、特別優(yōu)選為40質(zhì)量份以上，優(yōu)選為100質(zhì)量份以下、特別優(yōu)選為60質(zhì)量份以下。并且，由實施例2-8、2-9的結(jié)果可知，通過使相鄰的凹部之間以連續(xù)的曲面連接，能夠更加良好地抑制由于外添劑等在外周面的附著和蓄積導(dǎo)致的白化。〈實施例3-1〉在外周面1的軸向上呈一定寬度的線狀掃描照射激光，如圖9、圖10所示，在周向上相互平行地形成多個凹部2，該凹部2的長度為半導(dǎo)電性輥的軸向的全長，除此之外，與實施例1-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。各凹部2均形成為相同的寬度80μm、深度20μm。如圖9所示，激光加工后的外周面1成為相鄰的凹部2之間均以連續(xù)的曲面連接的立體形狀。使用形狀解析激光顯微鏡[株式會社Keyenc制的VK-X150/160]對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為37.8μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為3.9?！磳嵤├?-2〉調(diào)整激光的掃描寬度和強度，如圖19所示，在周向上相互平行地形成多個凹部2，該凹部2均為相同的寬度40μm、深度5μm，長度為半導(dǎo)電性輥的軸向的全長，除此之外，與實施例3-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。如圖19所示，激光加工后的外周面1成為相鄰的凹部2之間均以連續(xù)的曲面連接的立體形狀。使用形狀解析激光顯微鏡[株式會社Keyenc制的VK-X150/160]對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為19.8μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為1.2?！磳嵤├?-3〉在外周面1的周向上呈一定寬度的線狀掃描照射激光，如圖13、圖14所示，在軸向上相互平行地形成多個跨占半導(dǎo)電性輥的周向的全周的凹部2，除此之外，與實施例3-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。各凹部2均形成為相同的寬度40μm、深度5μm。如圖13所示，激光加工后的外周面1成為相鄰的凹部2之間均以連續(xù)的曲面連接的立體形狀。使用形狀解析激光顯微鏡[株式會社Keyenc制的VK-X150/160]對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為11.5μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為0.4。〈實施例3-4〉調(diào)整激光的掃描寬度和強度，如圖20所示，在周向上相互平行地形成多個凹部2，該凹部2均為相同的寬度60μm、深度15μm，長度為半導(dǎo)電性輥的軸向的全長，除此之外，與實施例3-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。如圖20所示，激光加工后的外周面1成為相鄰的凹部2之間均以連續(xù)的曲面連接的立體形狀。使用形狀解析激光顯微鏡[株式會社Keyenc制的VK-X150/160]對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為21.9μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為3.8。〈實施例3-5〉調(diào)整激光的掃描寬度和強度，如圖21所示，在周向上相互平行地形成多個凹部2，該凹部2均為相同的寬度80μm、深度60μm，長度為半導(dǎo)電性輥的軸向的全長，除此之外，與實施例3-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。如圖21所示，激光加工后的外周面1成為相鄰的凹部2之間均以連續(xù)的曲面連接的立體形狀。使用形狀解析激光顯微鏡[株式會社Keyenc制的VK-X150/160]對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為90.3μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為24?！磳嵤├?-6〉調(diào)整激光的掃描寬度和強度，如圖22所示，在周向上相互平行地形成多個凹部2，該凹部2均為相同的寬度110μm、深度40μm，長度為半導(dǎo)電性輥的軸向的全長，除此之外，與實施例3-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。如圖22所示，激光加工后的外周面1成為相鄰的凹部2之間均以連續(xù)的曲面連接的立體形狀。使用形狀解析激光顯微鏡[株式會社Keyenc制的VK-X150/160]對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為58.0μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為11?！磳嵤├?-7〉在外周面1的軸向和周向上分別呈一定寬度的線狀掃描照射激光，如圖11、圖12所示，按照在軸向上相互平行且相互不重合的方式分離而形成多個半導(dǎo)電性輥的周向的全周的凹部2，同時按照在周向上相互平行且相互不重合方式分離而形成多個軸向的全長的凹部2，除此之外，與實施例3-1同樣地進行，制造半導(dǎo)電性輥6。呈矩陣狀形成的各凹部2之間的大致矩形狀的區(qū)域以研磨痕跡殘留的未加工狀態(tài)殘存，此外，上述區(qū)域與各凹部2的邊界為鮮明的邊緣狀。使用形狀解析激光顯微鏡[株式會社Keyenc制的VK-X150/160]對制造的半導(dǎo)電性輥6的外周面1的表面性狀進行測定，結(jié)果外周面1的最大高度Sz為36.0μm、定義區(qū)域的面積＝50000μm2的界面的展開面積比Sdr為4.0?！醇庸r間評價〉對于實施例3-1、3-3和3-7，對利用激光加工在外周面1的整個面形成凹部2所需的時間進行測量。將結(jié)果與實施例1-1的結(jié)果一并列于表7。【表7】實施例3-1實施例3-3實施例3-7實施例1-1加工時間(秒)2003007002000由表可知，通過將凹部2形成為跨占外周面1的周向或軸向的2列以上的長度，能夠大幅削減激光的照射次數(shù)以及照射時間，能夠提高半導(dǎo)電性輥的工業(yè)性?！磳嶋H設(shè)備試驗〉光導(dǎo)體單元[LexmarkInternational公司制]具備感光體、始終與該感光體表面接觸而配設(shè)的充電輥，且在激光打印機主體中自由裝卸，代替所述光導(dǎo)體單元的正品充電輥，組裝實施例、比較例中制造的半導(dǎo)電性輥作為充電輥。并且，將組裝的光導(dǎo)體單元裝載至彩色激光打印機[LexmarkInternational公司制的彩色激光打印機CS510]之后，形成實心圖像，對有無濃度下降進行評價。即，通過目視觀察形成的實心圖像，將濃度下降的情況設(shè)為“×”、將濃度略微下降但為實用水平的情況設(shè)為“△”、將完全沒有濃度下降的情況設(shè)為“○”。此外，將光導(dǎo)體單元裝載至彩色激光打印機，實施5天2000張/日的供紙后，取出半導(dǎo)電性輥，對有無外添劑等在外周面的附著、蓄積進行評價。即，通過目視觀察半導(dǎo)電性輥的外周面，將其整個面由于外添劑等的附著而白化的情況設(shè)為“×”、將一部分白化但為實用水平的情況設(shè)為“△”、將完全未白化的情況設(shè)為“○”。將結(jié)果與實施例1-1的結(jié)果一并列于表8、表9?！颈?】【表9】由表8～表9的實施例3-1～3-7的結(jié)果可知，在外周面1上形成線狀的凹部的情況也與實施例1-1等同樣，能夠維持良好的圖像濃度，同時能夠良好地抑制由于外添劑等在外周面的附著和蓄積導(dǎo)致的白化，而且由所述表7的結(jié)果也可知，能夠大幅削減激光的照射次數(shù)以及照射時間，能夠提高半導(dǎo)電性輥的工業(yè)性。其中，由實施例3-1～3-7的結(jié)果可知，為了進一步提高上述效果，優(yōu)選線狀的凹部2的深度為50μm以下、且寬度為100μm以下，優(yōu)選上述凹部在至少外周面1的軸向上平行地形成。符號說明2凹部3～5凸部6半導(dǎo)電性輥7通孔8軸9氧化膜10內(nèi)層11外周面12外層13通孔14管D1外徑D2內(nèi)徑T厚度當前第1頁1 2 3