1.一種避免光掩模長霧狀顆粒的新型保護(hù)膜，其特征是：該保護(hù)膜包括：連接在光掩模上的框架、與框架端部連接的保護(hù)薄膜，所述框架上設(shè)置有氣體通道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種避免光掩模長霧狀顆粒的新型保護(hù)膜，其特征是：所述氣體通道包括：進(jìn)氣口和出氣口，進(jìn)氣口和出氣口內(nèi)均設(shè)置有顆粒過濾膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種避免光掩模長霧狀顆粒的新型保護(hù)膜，其特征是：所述氣體通道為出氣口。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種避免光掩模長霧狀顆粒的新型保護(hù)膜，其特征是：所述進(jìn)氣口和出氣口設(shè)置在框架不同側(cè)或框架同側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種避免光掩模長霧狀顆粒的新型保護(hù)膜，其特征是：所述進(jìn)氣口的數(shù)量為一個、兩個或多個，出氣口的數(shù)量為一個、兩個或多個。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種避免光掩模長霧狀顆粒的新型保護(hù)膜，其特征是：所述進(jìn)氣口的口徑為統(tǒng)一大小或?yàn)椴唤y(tǒng)一大小，出氣口的口徑為統(tǒng)一大小或?yàn)椴唤y(tǒng)一大小。