本實(shí)用新型涉及一種傳輸系統(tǒng)，尤其涉及一種掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)。

背景技術(shù)：

掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)是光刻設(shè)備的重要組成部分，其對掩模版的安全傳輸起著至關(guān)重要的作用。在平板顯示設(shè)備的制備工藝中，掩模版的尺寸與重量都不斷增大，因此對掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)的傳輸安全性和可靠性的要求也在不斷提高。

現(xiàn)有的六代掩模版的傳輸系統(tǒng)中，掩模版從版庫到掩模臺的輸送主要由取放版機(jī)械手與交換版機(jī)械手共同參與，即，取放版機(jī)械手從版庫內(nèi)取出掩模版至交接位，再由交換版機(jī)械手取掩模版至掩模臺，因此工作的行程較大，影響傳輸效率。此外，由于受到空間布局的限制，取放版機(jī)械手與交換版機(jī)械手均采用懸臂梁的結(jié)構(gòu)，輸送大尺寸掩模版的過程中機(jī)械手會產(chǎn)生較大的彈性變形。這些因素對大尺寸掩模版的安全、精密傳輸都會產(chǎn)生不利影響。

為解決上述問題，本實(shí)用新型提出了一種掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，尤其是一種傳輸大尺寸掩模版的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，不僅可以提高傳輸效率，也可以大幅度減小掩膜版?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)的變形，從而實(shí)現(xiàn)大尺寸掩模版的安全、可靠、精密傳輸。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，能夠安全、可靠、精密地傳輸掩模版，尤其是大尺寸掩模版。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出了一種掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，尤其是一種傳輸大尺寸掩模版的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)，包括：版庫；緩存臺；機(jī)械手運(yùn)動模組；掩模臺。版庫用于儲存掩模版，并管理掩模版信息。緩存臺具有將掩模版輸送至與機(jī)械手交接工位的作用。機(jī)械手運(yùn)動模組用于搭載機(jī)械手版叉。機(jī)械手版叉用于傳輸掩模版。掩模臺具有攜帶未曝光掩模版至曝光工位及攜帶已曝光掩模版至與機(jī)械手版叉交接工位的作用。

優(yōu)選地，機(jī)械手運(yùn)動模組橫跨于緩存臺與掩模版之間。

優(yōu)選地，機(jī)械手運(yùn)動模組下表面設(shè)有一滑軌。

優(yōu)選地，所述機(jī)械手版叉包括機(jī)械手版叉第一部和與其連接的機(jī)械手版叉第二部。機(jī)械手版叉第一部對稱地懸掛于滑軌上，機(jī)械手版叉第二部沿與滑軌延伸方向垂直的第二方向運(yùn)動。

優(yōu)選地，機(jī)械手版叉第二部下表面設(shè)有多個吊鉤組件與多個吸附結(jié)構(gòu)，多個吊鉤組件用于固定掩模版，以減少其彈性形變，多個吸附結(jié)構(gòu)用于吸附掩模版，以增加傳輸安全性。

優(yōu)選地，機(jī)械手版叉第二部下表面為多邊形或圓形。

優(yōu)選地，吊鉤組件設(shè)于機(jī)械手版叉第二部下表面的周邊。

優(yōu)選地，吸附結(jié)構(gòu)設(shè)于機(jī)械手版叉第二部下表面，呈圓形或正方形均勻分布。

優(yōu)選地，多個吸附結(jié)構(gòu)均為柱體真空吸附結(jié)構(gòu)或錐體真空吸附結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，機(jī)械手版叉第二部的下表面設(shè)有粗對準(zhǔn)裝置，用于在多個吊鉤組件獲取掩模版時進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)操作。

優(yōu)選地，所述版庫具有版庫版叉，所述版庫版叉具有驅(qū)使其沿滑軌延伸的方向運(yùn)動的第一驅(qū)動單元，將未曝光的掩模版推送至緩存臺或?qū)⒁哑毓獾难谀０孑d運(yùn)回版庫。

優(yōu)選地，所述緩存臺位于版庫與掩模臺之間，其具有驅(qū)使其沿與滑軌延伸的方向垂直的第二方向運(yùn)動的第二驅(qū)動單元。

優(yōu)選地，所述掩模臺具有驅(qū)使其沿第二方向運(yùn)動的第三驅(qū)動單元，同時具有攜帶掩模版運(yùn)動至曝光位的第四驅(qū)動單元。

綜上所述，本實(shí)用新型提出的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)中，機(jī)械手運(yùn)動模組橫跨于緩存臺與掩模臺之間，且其下表面設(shè)有一滑軌。機(jī)械手版叉對稱地懸掛在滑軌上，其運(yùn)動軌跡為直線，傳輸路徑簡單，增加了系統(tǒng)傳輸效率，且降低了系統(tǒng)傳輸風(fēng)險；進(jìn)一步，機(jī)械手版叉對稱地懸掛在滑軌上，避免使用傳統(tǒng)傳輸大尺寸掩模版過程中的懸臂梁或其他非對稱結(jié)構(gòu)，可以有效避免因掩模版受力不均勻而導(dǎo)致的傾斜變形和彈性變形，從而增加了掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)的安全性。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1所述掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)的結(jié)構(gòu)俯視圖；

圖3是圖1中機(jī)械手版叉結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例中掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)中掩模版上版操作流程圖；

圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例中掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)中掩模版下版操作流程圖；

圖中：

100-機(jī)械手運(yùn)動模組；110-機(jī)械手版叉第一部；120-機(jī)械手版叉第二部；121-吸附結(jié)構(gòu)；122-吊鉤組件；200-版庫；210-版庫版叉；300-緩存臺；400-掩模臺；500-待傳輸掩模版；610-第一交接工位；620-第二交接工位。

具體實(shí)施方式

以下將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的描述，以充分了解本實(shí)用新型的目的、特征和效果。

參考圖1、圖2以及圖3，在本實(shí)施例中，滑軌延伸的方向?yàn)閤方向，與所述滑軌方向垂直的第二方向?yàn)閥方向，進(jìn)一步的，所述y方向在豎直平面內(nèi)垂直于所述滑軌方向，如圖3所示。版庫200用于儲存并管理掩模版，其具有輸送掩模版至緩存臺300的版庫版叉210，版庫版叉210傳輸掩模版的方向?yàn)榛壏较颍緦?shí)用新型對此不作任何限制。版庫版叉210做直線運(yùn)動將未曝光的掩模版推至緩存臺300上；緩存臺300位于版庫200與掩模臺400之間，機(jī)械手運(yùn)動模組100下方；緩存臺300運(yùn)動方向?yàn)閥方向。機(jī)械手運(yùn)動模組100用于搭載機(jī)械手版叉，在版庫200與掩模臺400之間傳輸掩模版；掩模臺400用于與機(jī)械手版叉進(jìn)行交接掩模版，運(yùn)動方向包括y方向，還包括攜帶掩模版至曝光位的運(yùn)動方向。

在本實(shí)施例中，版庫200具有存儲及輸送掩模版至緩存臺300的功能，減小了從版庫取放掩模版的復(fù)雜度，尤其是大尺寸掩模版的取放；且機(jī)械手運(yùn)動模組100橫跨于掩模臺400與緩存臺300上方，因此機(jī)械手版叉的運(yùn)動軌跡為直線，傳輸路徑簡單，增加了系統(tǒng)傳輸效率，且降低了系統(tǒng)風(fēng)險。

進(jìn)一步的，參考圖3，機(jī)械手版叉搭載在機(jī)械手運(yùn)動模組100上，所述機(jī)械手版叉包括機(jī)械手版叉第一部110和與所述機(jī)械手版叉第一部110連接的機(jī)械手版叉第二部120。具體的，所述機(jī)械手版叉第一部110對稱地懸掛在機(jī)械手運(yùn)動模組100下表面的滑軌上；機(jī)械手版叉沿x方向運(yùn)動，機(jī)械手第二部120可以沿y方向運(yùn)動；機(jī)械手版叉第二部120的下表面包括但不限于多邊形或圓形，本實(shí)用新型實(shí)施例不對機(jī)械手版叉結(jié)構(gòu)、厚度及材料等作任何限制。機(jī)械手版叉第二部120的下表面均勻設(shè)有多個吸附結(jié)構(gòu)121，機(jī)械手版叉第二部120的下表面均勻設(shè)有多個吊鉤組件122，進(jìn)一步的，多個吊鉤組件122均勻分布于所述機(jī)械手版叉第二部120的下表面的周邊，如圖3所示。

具體的，所述多個吸附結(jié)構(gòu)121具有吸附傳輸掩模版的功能，多個吸附結(jié)構(gòu)121一端與機(jī)械手版叉第二部120下表面連接，另一端為吸嘴組件，例如可為柱體真空吸附結(jié)構(gòu)和/或錐體真空吸附結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型對所述多個吸附結(jié)構(gòu)121與機(jī)械手版叉第二部120的連接方式以及吸嘴組件的結(jié)構(gòu)等不作任何限制。多個吸附結(jié)構(gòu)121根據(jù)掩模版的結(jié)構(gòu)均勻分布在機(jī)械手版叉第二部120下表面，可以為圓形分布，也可以為多邊形分布，本實(shí)用新型實(shí)施例對吸附結(jié)構(gòu)121的數(shù)量、形狀及分布位置等不作任何限制。所述多個吊鉤組件122的位置根據(jù)掩模版結(jié)構(gòu)與大小分布，可以處于機(jī)械手版叉第二部120的下表面的周邊，還可以均勻分布于所述機(jī)械手版叉第二部120的下表面上，還可以根據(jù)掩模版產(chǎn)生的彈性變形設(shè)置所述吊鉤組件122的數(shù)量及形狀，本實(shí)用新型實(shí)施例不對其數(shù)量、分布位置及形狀等進(jìn)行任何限制。

機(jī)械手版叉第二部120下表面上設(shè)有粗對準(zhǔn)裝置，多個吊鉤組件122在緩存臺或掩模臺上通過粗對準(zhǔn)裝置進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)操作，以便獲取掩模版。在本實(shí)施例中，機(jī)械手版叉第一部110對稱地安裝在機(jī)械手運(yùn)動模組100下表面的滑軌上，避免使用傳統(tǒng)傳輸大尺寸掩模版過程中的懸臂梁或非對稱結(jié)構(gòu)，減小了因受力不均勻?qū)е碌难谀０鎯A斜變形的風(fēng)險；機(jī)械手版叉第二部120同時具有多個吸附結(jié)構(gòu)121及多個吊鉤組件122，在傳輸大尺寸掩模版時，多個吊鉤組件122與多個吸附結(jié)構(gòu)121同時作用于掩模版，能有效避免因掩模版受力不均勻而導(dǎo)致的彈性變形。因此，此掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)能夠安全可靠地傳輸大尺寸掩模版。

如圖4所示，掩模版上版過程如下。

步驟S1：存儲若干塊掩模版的版庫200通過版庫版叉210將未曝光的掩模版500沿x方向運(yùn)輸至緩存臺300上，緩存臺300受第二驅(qū)動單元驅(qū)動，沿y方向運(yùn)動至掩模版第一交接工位610；

步驟S2：機(jī)械手版叉沿x方向運(yùn)動至掩模版第一交接工位610上方；

步驟S3：粗對準(zhǔn)裝置進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)操作，機(jī)械手版叉第二部120沿y運(yùn)動方向運(yùn)動至掩模版第一交接工位610；

步驟S4：機(jī)械手版叉第二部120根據(jù)掩模版尺寸大小及結(jié)構(gòu)，分配吊鉤組件122的位置與形狀，多個吊鉤組件122運(yùn)行獲取掩模版，同時，多個吸附結(jié)構(gòu)121的吸嘴組件對掩模版進(jìn)行吸附，對未曝光的掩模版加以保護(hù)，機(jī)械手版叉此時成功獲取掩模版；

步驟S5：機(jī)械手版叉第二部120沿y方向運(yùn)動至機(jī)械手運(yùn)動模組100下方，之后機(jī)械手版叉在機(jī)械手運(yùn)動模組100下表面的滑軌上沿x方向運(yùn)動至第二交接工位620上方，同時，掩模臺400受第三驅(qū)動單元驅(qū)動，沿y方向運(yùn)動至第二交接工位620，機(jī)械手版叉第二部120沿y方向運(yùn)動至掩模版第二交接工位620與掩模臺400交接掩模版；

步驟S6：掩模臺400受第四驅(qū)動單元驅(qū)動，攜帶掩模版運(yùn)動至曝光工位，完成掩模版上版過程。

如圖5所示，掩模版下版過程如下。

步驟S1：掩模版曝光操作完成后，掩模臺400攜帶已曝光的掩模版運(yùn)動至掩模版第二交接工位620；機(jī)械手版叉在機(jī)械手運(yùn)動模組100上沿x運(yùn)動方向運(yùn)動至第二交接工位620上方，同時，粗對準(zhǔn)裝置進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)操作，機(jī)械手版叉第二部120沿y運(yùn)動方向運(yùn)動至掩模版第二交接工位620；

步驟S2：機(jī)械手版叉第二部120的多個吊鉤組件122運(yùn)行獲取已曝光掩模版，同時，多個吸附結(jié)構(gòu)121的吸嘴組件對已曝光掩模版進(jìn)行吸附，對已曝光掩模版加以保護(hù)；

步驟S3：機(jī)械手版叉第二部120沿y方向運(yùn)動至機(jī)械手運(yùn)動模組100下方，之后機(jī)械手版叉在機(jī)械手運(yùn)動模組100上沿x方向運(yùn)動至第一交接位610上方，接著機(jī)械手版叉第二部120沿y運(yùn)動方向運(yùn)動至掩模版第一交接工位610處，同時緩存臺300受第二驅(qū)動單元驅(qū)動，沿y運(yùn)動方向也運(yùn)動至掩模版第一交接工位610處，機(jī)械手版叉釋放已曝光的掩模版，緩存臺獲取已曝光的掩模版之后受第二驅(qū)動單元驅(qū)動，沿y方向運(yùn)動至其初始位置；

步驟S4：版庫版叉210從緩存臺300上獲取已曝光掩模版，受第一驅(qū)動單元沿x方向運(yùn)動將已曝光掩模版輸送至版庫200內(nèi)，完成掩模版下版過程。

綜上所述，本實(shí)用新型提出的掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)中，機(jī)械手運(yùn)動模組橫跨于緩存臺與掩模臺之間，且其下表面設(shè)有一滑軌。機(jī)械手版叉對稱地懸掛在滑軌上，其運(yùn)動軌跡為直線，傳輸路徑簡單，增加了系統(tǒng)傳輸效率，且降低了系統(tǒng)傳輸風(fēng)險；進(jìn)一步，機(jī)械手版叉對稱地懸掛在滑軌上，避免使用傳統(tǒng)傳輸大尺寸掩模版過程中的懸臂梁或其他非對稱結(jié)構(gòu)，可以有效避免因掩模版受力不均勻而導(dǎo)致的傾斜變形和彈性變形，也可以增加掩模版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)的安全性。

上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。