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一種面板缺陷位置的偏移補(bǔ)償方法、裝置及系統(tǒng)與流程

文檔序號:12593907閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種面板缺陷位置的偏移補(bǔ)償方法,其特征在于,包括如下步驟:

獲取總間距測量設(shè)備、自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備、修補(bǔ)設(shè)備分別識別到的第一缺陷坐標(biāo)、第二缺陷坐標(biāo)、第三缺陷坐標(biāo);

將所述第一缺陷坐標(biāo)與所述第二缺陷坐標(biāo)進(jìn)行對比得到第一對比結(jié)果,判斷第一對比結(jié)果是否滿足第一條件;

將所述第一缺陷坐標(biāo)與所述第三缺陷坐標(biāo)進(jìn)行對比得到第二對比結(jié)果,判斷第二對比結(jié)果是否滿足第二條件;

當(dāng)?shù)谝粚Ρ冉Y(jié)果滿足第一條件且第二對比結(jié)果滿足第二條件時(shí),計(jì)算所述第二缺陷坐標(biāo)與所述第三缺陷坐標(biāo)的坐標(biāo)偏差值;

根據(jù)所述坐標(biāo)偏差值進(jìn)行面板缺陷位置的補(bǔ)償。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏移補(bǔ)償方法,其特征在于,還包括,當(dāng)所述第一對比結(jié)果不滿足第一條件時(shí),則對自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備進(jìn)行故障排查。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的偏移補(bǔ)償方法,其特征在于,還包括,當(dāng)所述第二對比結(jié)果不滿足第二條件時(shí),則對修補(bǔ)設(shè)備進(jìn)行故障排查。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的偏移補(bǔ)償方法,其特征在于,根據(jù)所述坐標(biāo)偏差值進(jìn)行面板缺陷位置的補(bǔ)償?shù)牟襟E,包括:

將所述坐標(biāo)偏差值寫入到所述自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備的DFS文件中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的偏移補(bǔ)償方法,其特征在于,所述總間距測量設(shè)備為TP設(shè)備。

6.一種面板缺陷位置的偏移補(bǔ)償裝置,其特征在于,包括:

坐標(biāo)獲取單元,用于獲取總間距測量設(shè)備、自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備、修補(bǔ)設(shè)備分別識別到的第一缺陷坐標(biāo)、第二缺陷坐標(biāo)、第三缺陷坐標(biāo);

第一比較單元,用于將所述第一缺陷坐標(biāo)與所述第二缺陷坐標(biāo)進(jìn)行對比得到第一對比結(jié)果,判斷第一對比結(jié)果是否滿足第一條件;

第二比較單元,用于將所述第一缺陷坐標(biāo)與所述第三缺陷坐標(biāo)進(jìn)行對比得到第二對比結(jié)果,判斷第二對比結(jié)果是否滿足第二條件;

缺陷坐標(biāo)計(jì)算單元,用于當(dāng)?shù)谝粚Ρ冉Y(jié)果滿足第一條件且第二對比結(jié)果滿足第二條件時(shí),計(jì)算所述第二缺陷坐標(biāo)與所述第三缺陷坐標(biāo)的坐標(biāo)偏差值;

補(bǔ)償單元,用于根據(jù)所述坐標(biāo)偏差值進(jìn)行面板缺陷位置的補(bǔ)償。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的偏移補(bǔ)償裝置,其特征在于,還包括第一故障排查單元,用于當(dāng)所述第一對比結(jié)果不滿足第一條件時(shí),則對自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備進(jìn)行故障排查。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的偏移補(bǔ)償裝置,其特征在于,還包括第二故障排查單元,用于當(dāng)所述第二對比結(jié)果不滿足第二條件時(shí),則對修補(bǔ)設(shè)備進(jìn)行故障排查。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的偏移補(bǔ)償裝置,其特征在于,所述補(bǔ)償單元包括補(bǔ)償子單元,用于將所述坐標(biāo)偏差值寫入到所述自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備的DFS文件中。

10.一種面板缺陷位置的偏移補(bǔ)償系統(tǒng),其特征在于,包括

總間距測量設(shè)備,用于識別第一缺陷坐標(biāo);

自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備,用于識別第二缺陷坐標(biāo);

修補(bǔ)設(shè)備,用于識別第三缺陷坐標(biāo);

權(quán)利要求6-9任一項(xiàng)所述的偏移補(bǔ)償裝置,與所述獲取總間距測量設(shè)備、自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備、修補(bǔ)設(shè)備分別連接,用于對面板缺陷位置進(jìn)行補(bǔ)償。

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