技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種曝光裝置，其包括擋板組件和透鏡組件，所述擋板組件設(shè)有曝光孔；所述透鏡組件設(shè)置在所述擋板組件與待曝光基板之間，所述透鏡組件用于將所述曝光孔的側(cè)邊產(chǎn)生的衍射光線會(huì)聚在所述待曝光基板的待曝光區(qū)域。該曝光裝置可以較高曝光精確度，提升待曝光基板的曝光品質(zhì)。

技術(shù)研發(fā)人員：胡俊艷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.22
技術(shù)公布日：2017.08.18