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一種光刻膠用剝離液及其制備方法和應(yīng)用與流程

文檔序號:11249939閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種光刻膠用剝離液,包括酯基季銨氫氧化物、水溶性有機(jī)溶劑、非離子表面活性劑、去離子水,以重量計(jì),酯基季銨氫氧化物為5?28%,水溶性有機(jī)溶劑為50?65%,非離子表面活性劑為0.5?2%,其余為去離子水。本發(fā)明能夠控制堿度變化,使得堿度變化在一個(gè)很小的穩(wěn)定范圍內(nèi),有利于剝離工作的連續(xù)有效的進(jìn)行;并且本發(fā)明還能夠減緩銅的腐蝕進(jìn)程,保證面板不受損傷。

技術(shù)研發(fā)人員:羅堂富
受保護(hù)的技術(shù)使用者:綿陽艾薩斯電子材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.07.07
技術(shù)公布日:2017.09.15
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