本發(fā)明涉及光刻機真空設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種光刻機真空設(shè)備故障監(jiān)測方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有的光刻機，通常采用真空吸盤吸取圓片進行圓片的光刻，通過真空設(shè)備提供真空吸盤所需的真空吸力。一旦真空設(shè)備出現(xiàn)問題，則會導致真空吸盤吸取力下降，導致圓片在光刻過程中廢片率的提高。

2、現(xiàn)有的真空設(shè)備中，一般通過監(jiān)測真空傳感器的真空讀數(shù)，當真空讀數(shù)低于閾值時進行報警。但僅憑真空讀數(shù)難以發(fā)現(xiàn)真空設(shè)備中存在的問題，無法對真空設(shè)備中潛在故障起到預警作用。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提出一種光刻機真空設(shè)備故障監(jiān)測方法及系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中依靠真空傳感器的真空讀數(shù)判斷真空設(shè)備是否正常而存在的弊端。

2、為了實現(xiàn)上述技術(shù)目標，本發(fā)明提出的一種光刻機真空設(shè)備故障監(jiān)測方法，包括以下步驟：

3、s100，獲取真空泵的啟動或停止的啟停狀態(tài)信息；

4、s200，獲取電磁閥的啟動或停止的啟停狀態(tài)信息；

5、s300，獲取真空傳感器的狀態(tài)信息；

6、s400，根據(jù)真空泵、電磁閥和真空傳感器中至少兩者的狀態(tài)信息，判斷真空設(shè)備是否存在異常。

7、作為優(yōu)選，所述s400中，判斷所述真空泵和所述電磁閥啟停狀態(tài)的一致性，當所述真空泵和所述電磁閥的啟停狀態(tài)一致時，等待z1時間后返回所述s100，當所述真空泵和所述電磁閥的啟停狀態(tài)不一致時，判斷所述真空泵和所述電磁閥其中一者出現(xiàn)異常，進行報警并顯示所述真空泵和所述電磁閥其中處于停止狀態(tài)的一者的異常狀態(tài)，同時急停光刻機。

8、作為優(yōu)選，所述s100中，當所述真空泵啟動時，記錄當前所述真空泵啟動時間信息t1；

9、所述s200中，當所述電磁閥啟動時，記錄當前所述電磁閥啟動時間信息t2；

10、所述s200包括s210；

11、所述s210中，獲取所述電磁閥和所述真空泵啟動時間差t3，t3＝t2-t1，并進入所述s400；所述s400中，還比較所述t3和預設(shè)時間差閾值t0的值的大小，當t3≤t0時，等待z2時間后返回所述s100，所述s400還包括s470，當t3>t0時，進入所述s470；

12、s470，進行報警并顯示電磁閥異常狀態(tài)，等待z3時間后返回s100。

13、作為優(yōu)選，所述s400中，還記錄所述電磁閥前m次啟動時間信息中最大值tmax和平均值tavg，根據(jù)tmax或tavg生成所述t0。

14、作為優(yōu)選，所述s400中，還比較所述t3和預設(shè)急停時間tx的值的大小，tx>t0，當t3≤tx時，等待z4時間后返回所述s100，所述s400還包括s480，當t3>tx時，進入所述s480；

15、s480，進行報警并顯示電磁閥異常狀態(tài)，同時急停光刻機。

16、作為優(yōu)選，所述s400中，判斷所述真空泵和所述電磁閥啟停狀態(tài)的一致性，當所述真空泵和所述電磁閥的啟停狀態(tài)一致時，等待z5時間后返回所述s100，

17、當所述真空泵為停止狀態(tài)、所述電磁閥為啟動狀態(tài)時，將故障信息er數(shù)值+1，同時進行報警并顯示所述真空泵的異常狀態(tài)，當er<c時等待z6時間后返回所述s100，當er≥c時，則進行報警并顯示真空泵異常狀態(tài)，同時急停光刻機、清零er值。

18、作為優(yōu)選，所述s300中，獲取所述真空傳感器的真空讀數(shù)信息p1；

19、所述s400中，判斷所述真空泵和所述電磁閥是否均為開啟狀態(tài)，所述s400還包括s410、s450和s470，當所述真空泵和所述電磁閥均為開啟狀態(tài)，進入所述s410，當所述真空泵和所述電磁閥均為停止狀態(tài)時，進入所述s450；

20、s410，將th時間內(nèi)獲取所述真空傳感器的真空讀數(shù)信息和時間信息的序號依次+1，記錄當前獲取的真空讀數(shù)信息p并記為p1以及記錄當前獲取的所述真空傳感器的真空讀數(shù)的時間信息ta并記為ta1，根據(jù)th時間內(nèi)記錄的多個真空讀數(shù)信息p和多個時間信息ta，判斷真空設(shè)備是否正常，正常則等待z7時間后返回s100，不正常則進入所述s470；

21、s450，清除記錄的真空讀數(shù)信息p和時間信息ta，等待z8時間后返回s100；

22、s470，進行報警并顯示故障信息，等待z9時間后返回s100。

23、作為優(yōu)選，所述s400還包括s480；

24、所述s410中，當所述時間信息ta的序號達到b時，比較p1和預設(shè)真空讀數(shù)閾值p0的值的大小，當p1>p0時，進入所述s480，當p1<p0時，等待z10時間后返回所述s100；

25、s480，進行報警并顯示異常狀態(tài)，同時急停光刻機。

26、作為優(yōu)選，所述s300中，獲取所述真空傳感器的電阻信息r；

27、所述s400中，判斷所述真空泵和所述電磁閥是否均為開啟狀態(tài)，當所述真空泵和所述電磁閥均為開啟狀態(tài)，根據(jù)電阻信息r判斷所述真空傳感器是否正常，正常則進入所述s410，不正常則進入所述s470。

28、本發(fā)明還提出光刻機真空設(shè)備故障監(jiān)測系統(tǒng)，采用上述任一項技術(shù)方案所述的光刻機真空設(shè)備故障監(jiān)測方法，所述故障監(jiān)測系統(tǒng)包括第一監(jiān)測模塊、第二監(jiān)測模塊、第三監(jiān)測模塊和判斷處理模塊，所述第一監(jiān)測模塊用于獲取所述真空泵的狀態(tài)信息，所述第二監(jiān)測模塊用于獲取所述電磁閥的狀態(tài)信息，所述第三監(jiān)測模塊用于獲取所述真空傳感器的狀態(tài)信息，所述判斷處理模塊根據(jù)所述真空泵、所述電磁閥和所述真空傳感器中至少兩者的狀態(tài)信息，判斷真空設(shè)備是否存在異常。

29、采用上述技術(shù)方案后，本發(fā)明具有如下有益效果。

30、1、本發(fā)明提出的一種光刻機真空設(shè)備故障監(jiān)測方法，通過獲取真空泵的啟動或停止的啟停狀態(tài)信息、電磁閥的啟動或停止的啟停狀態(tài)信息以及真空傳感器的狀態(tài)信息，并基于真空泵、電磁閥和真空傳感器之間狀態(tài)信息的相互關(guān)聯(lián)性，能夠較快、較準確的提前定位真空設(shè)備中存在的潛在故障，便于維護人員及時發(fā)現(xiàn)潛在的故障隱患并進行相應(yīng)處理，避免了故障突發(fā)導致生產(chǎn)的停滯。

31、2、真空泵和電磁閥啟停狀態(tài)的不一致意味著，真空泵或電磁閥的其中一者出現(xiàn)故障或老化問題，此時真空管道中真空狀態(tài)會逐漸下降，但還未降至真空傳感器的報警閾值時，真空設(shè)備并不會急停光刻機。但此時，真空吸盤的吸取力已經(jīng)有所下降，當正好有圓片在進行曝光時，由于此時真空吸盤需要帶動圓片運動，此時圓片在運動過程中有可能與真空吸盤之間出現(xiàn)輕微的位移，導致圓片的廢片率提高，根據(jù)真空泵和電磁閥啟停狀態(tài)的一致性，判斷真空泵和電磁閥其中一者是否出現(xiàn)異常，可以在真空傳感器報警之前就提前報警，加快了報警速度，減少或避免廢片的產(chǎn)生，當真空泵和電磁閥其中一者出現(xiàn)異常無法工作時，報警并急停光刻機，從而可減少或避免圓片出現(xiàn)廢片，同時，顯示真空泵和電磁閥其中處于停止狀態(tài)的一者的異常狀態(tài)，便于維護人員快速定位故障問題，從而為維護人員快速恢復產(chǎn)線提供幫助。

32、3、電磁閥的故障或老化可能導致電磁閥的吸合時間變長，或電磁閥吸合能力不佳，電磁閥的這種故障或老化問題，也能被很好的預警。電磁閥的老化會導致電磁閥吸合變慢，但此時電磁閥還可以工作，此時急停光刻機會耽誤生產(chǎn)，造成不必要的經(jīng)濟損失，因此，根據(jù)真空泵和電磁閥的啟動時間差判斷電磁閥是否出現(xiàn)異常，且判斷異常時只顯示故障問題而不急停光刻機，方便維護人員了解真空設(shè)備目前的潛在問題，也方便維護人員根據(jù)生產(chǎn)安排制定維護計劃，保證生產(chǎn)進度。

33、4、根據(jù)電磁閥前m次的啟動信息，生成預設(shè)時間差閾值，能夠在真空設(shè)備剛剛投入使用，或更換了真空設(shè)備中的電磁閥后，對于電磁閥啟動時間進行校準，從而在電磁閥出現(xiàn)潛在故障時能夠及時和準確的發(fā)現(xiàn)問題，避免對于故障問題的錯誤判斷。

34、5、通過設(shè)置一個較長時間的預設(shè)急停時間，從而確保在電磁閥出現(xiàn)故障時能夠及時發(fā)現(xiàn)并急停光刻機，從而減少或避免經(jīng)濟損失。

35、6、由于真空泵的故障或老化可能導致真空泵間歇性工作，通過對于真空泵故障信息的監(jiān)測，當真空泵出現(xiàn)間歇性工作時，能夠被很好的預警，并提醒維護人員真空泵出現(xiàn)故障，便于維護人員定位故障問題；同時，在真空泵頻繁出現(xiàn)間歇性工作時，急停光刻機，從而減少或避免經(jīng)濟損失。

36、7、通過獲取真空傳感器在多個時間上的真空讀數(shù)信息，從而預期真空設(shè)備在一定時間后能夠達到的預期真空數(shù)值，根據(jù)預期真空數(shù)值是否達到預設(shè)真空閾值，從而判斷真空設(shè)備是否正常，從而可以較短時間內(nèi)對于真空設(shè)備進行判斷，對于真空設(shè)備中存在的故障隱患(例如真空管道漏氣)做出判斷，有利于維護人員有針對性的對于真空設(shè)備進行檢測。

37、8、當真空傳感器在真空設(shè)備工作一定時間內(nèi)也沒有達到真空讀數(shù)閾值時，報警并急停光刻機，減少或避免因真空吸盤吸力不足而導致的經(jīng)濟損失，同時，一個周期內(nèi)的真空讀數(shù)信息和時間信息得以保留，維護人員讀取相應(yīng)數(shù)據(jù)后便于對故障問題做出判斷。

38、9、由于真空傳感器的量程限制，未達到其測量量程時真空傳感器無法讀數(shù)，因此在真空設(shè)備剛剛開始的一段時間內(nèi)，真空傳感器可能無法讀取相應(yīng)數(shù)值，真空傳感器沒有讀數(shù)無法作為判斷其是否正常的依據(jù)，但真空傳感器工作時具有一定的電阻，但真空傳感器損壞時，通常是內(nèi)部短路或斷路，因此當測量得到真空傳感器的電阻為0或∞，可以判斷真空傳感器已經(jīng)損壞，從而大大提升對于真空傳感器損壞故障的發(fā)現(xiàn)時間，有利于維護人員快速定位故障問題和快速解決故障。

39、本發(fā)明還提出光刻機真空設(shè)備故障監(jiān)測系統(tǒng)，采用如上述技術(shù)方案中任一項所述的光刻機真空設(shè)備故障監(jiān)測方法，故該光刻機真空設(shè)備故障監(jiān)測系統(tǒng)具有上述技術(shù)方案所有的技術(shù)效果。

40、本發(fā)明的這些特點和優(yōu)點將會在下面的具體實施方式、附圖中詳細的揭露。