本發(fā)明屬于光刻，具體涉及一種負(fù)性感光樹脂組合物、制備方法及光刻產(chǎn)品。

背景技術(shù)：

1、光刻膠又稱光致抗蝕劑(photoresist),是利用光化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移的媒體,它是一類品種繁多、性能各異,應(yīng)用極為廣泛的精細(xì)化學(xué)品,本文主要介紹在電子工業(yè)中應(yīng)用的各類光刻膠。

2、電子工業(yè)的發(fā)展與光刻膠的發(fā)展是密切相關(guān)的。光刻膠的發(fā)展為電子工業(yè)提供了產(chǎn)業(yè)化的基礎(chǔ),而電子工業(yè)的發(fā)展又不斷對光刻膠提出新的要求,推動(dòng)光刻膠的發(fā)展。由于電子工業(yè)的飛速發(fā)展,目前光刻膠已經(jīng)成為一個(gè)熱點(diǎn)研究領(lǐng)域,每年均有大量相關(guān)論文發(fā)表和新產(chǎn)品推出。

3、光刻膠主要應(yīng)用于電子工業(yè)中集成電路和半導(dǎo)體分立器件的細(xì)微加工過程中,它利用光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影將所需要的微細(xì)圖形從掩膜版(mask)轉(zhuǎn)移至待加工的基片上,然后進(jìn)行刻蝕、擴(kuò)散、離子注入、金屬化等工藝。因此,光刻膠是電子工業(yè)中關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料。

4、光刻膠的歷史可追溯至照相的起源,1826年人類第一張照片誕生就是采用了光刻膠材料--感光瀝青。在19世紀(jì)中期,又發(fā)現(xiàn)將重鉻酸鹽與明膠混合,經(jīng)曝光、顯影后能得到非常好的圖形,并使當(dāng)時(shí)的印刷業(yè)得到飛速的發(fā)展。1954年eastman-kodak公司合成出人類第一種感光聚合物--聚乙烯醇肉桂酸酯,開創(chuàng)了聚乙烯醇肉桂酸酯及其衍生物類光刻膠體系,這是人類最先應(yīng)用在電子工業(yè)上的光刻膠。1958年該公司又開發(fā)出環(huán)化橡膠--雙疊氮系光刻膠,使集成電路制作的產(chǎn)業(yè)化成為現(xiàn)實(shí)。在此之前約1950年發(fā)明了重氮萘醌—酚醛樹脂系光刻膠,它最早應(yīng)用于印刷業(yè),目前是電子工業(yè)用最多的光刻膠,近年隨著電子工業(yè)的飛速發(fā)展,光刻膠的發(fā)展更是日新月異,新型光刻膠產(chǎn)品不斷涌現(xiàn)。光刻膠按其所用曝光光源或輻射源的不同,又可分為紫外光刻膠、深紫外光刻膠、電子束膠、離子束膠、x射線膠等。

5、根據(jù)曝光后光刻膠薄膜化學(xué)性質(zhì)變化不同所導(dǎo)致的去留情況，光刻膠可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。

6、正性光刻膠在紫外/極紫外光照射下，曝光區(qū)域光刻膠中的高分子鏈發(fā)生降解、官能團(tuán)脫保護(hù)、重排、分子內(nèi)脫水等化學(xué)反應(yīng)，導(dǎo)致其在顯影液中溶解度增加，在基板上獲得與掩膜版相同的圖案。反之，負(fù)性光刻膠的高分子鏈在曝光區(qū)域光刻膠中因發(fā)生交聯(lián)而不溶，未曝光區(qū)域在顯影液中溶解，從而獲得與掩膜版圖形相反的圖案。

7、在實(shí)際生產(chǎn)中，由于負(fù)性光刻膠在顯影時(shí)易發(fā)生變形及膨脹，通常情況下分辨率只能達(dá)到2微米，因此正性光刻膠的應(yīng)用更為廣泛，是主流光刻膠

8、但由于負(fù)膠耐熱性強(qiáng)，多應(yīng)用于高壓功率器件、高耗能器件等，此外也常用于一些特殊工藝，因?yàn)樨?fù)膠難以去除的特性，在芯片最后的封裝階段可以使用負(fù)膠，能起到絕緣、保護(hù)芯片的作用。

9、光刻法是對通過下列步驟制造各種精密元件的技術(shù)的通用的術(shù)語：

10、在工件表面施涂輻射敏感樹脂組合物；

11、通過光刻法在產(chǎn)生的薄膜上形成圖案；

12、使用有圖案的薄膜作為掩模進(jìn)行化學(xué)蝕刻或電成形，其技術(shù)主要包括電解蝕刻或電鍍，或它們的組合。這種光刻方法目前是制造精密和精細(xì)元件的主流技術(shù)。

13、近年來，電子器件的小型化已加速了大規(guī)模集成電路(lsi)的高度集成和多層化。為適應(yīng)這樣的小型化，要求通過高插腳數(shù)(highpin?count)將lsi安裝在基片上來裝配電子器件。作為這樣的安裝技術(shù)，裸晶片安裝技術(shù)例如tab安裝和倒裝晶片安裝越來越引起關(guān)注。高密度安裝中，對電解電鍍形成的金屬導(dǎo)體有嚴(yán)格的要求。例如，一個(gè)要求是金屬導(dǎo)體形成微圖案。這樣的金屬圖案包括隆起物(稱作微電極)和形成與電極的導(dǎo)電通路的布線。要求這些金屬圖案更微型化以滿足小型化、高插腳數(shù)和多層封裝的趨勢。例如，對常規(guī)的突起微電極，約20微米高的金屬的隆起物以約40微米或更大的間距排列，隆起物邊緣之間的距離為5-10微米。但是，由于電子器件的更高性能和更小尺寸，要求隆起物間距更小，目前要求隆起物間距為20微米。

14、對在制造這樣的微小金屬圖案中使用的輻射敏感樹脂組合物的要求如下：

15、形成厚度大于沉積形成隆起物所需厚度的輻射敏感薄膜，并具有高分辨率，例如，具有這樣高分辨率，從而在制造金的隆起物中使制得的20微米或更厚的薄膜以25微米間距形成圖案；或具有這樣的分辨率，從而在形成布線中使制得的厚度10微米薄膜以5微米間距形成圖案。

16、而且，固化輻射敏感樹脂組合物獲得的有圖案的產(chǎn)品在電解電鍍中用作掩模。然后，要求有圖案的產(chǎn)品具有足夠的電鍍?nèi)芤簼櫇裥圆⑶揖哂幸欢ǖ哪碗婂冃?platingresistance)。而且有圖案的產(chǎn)品必須能容易被起膜溶液等完全去膜，且不損害電鍍后得到的金屬圖案。

17、然而，制造金屬圖案用的現(xiàn)有輻射敏感樹脂組合物難以滿足足夠的分辨率和耐電鍍性。當(dāng)樹脂組合物分辨率差時(shí)，所需的微小金屬圖案難以形成，不能制造有這樣金屬圖案的半導(dǎo)體器件。而且，當(dāng)濕潤性差時(shí)，在固化產(chǎn)物的微小圖案中不能提供足量的電鍍?nèi)芤?。所以，不能形成金屬圖案。同樣，差的耐電鍍性會(huì)導(dǎo)致電鍍出現(xiàn)滲鍍，開裂的現(xiàn)象，引起導(dǎo)電元件間的短路，器件不能正常操作。

18、因此，針對上述技術(shù)問題，有必要提供一種負(fù)性感光樹脂組合物、制備方法及光刻產(chǎn)品。

19、公開于該背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在增加對本發(fā)明的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種負(fù)性感光樹脂組合物、制備方法及光刻產(chǎn)品，組合物具有負(fù)性特征、可用堿性水溶液顯影的負(fù)性感光樹脂組合物，組合物未曝光于紫外光的部分易溶于堿性水溶液，而已曝光于紫外光的部分不溶于堿性水溶液，未曝光部分與曝光部分的堿溶差異化表現(xiàn)優(yōu)異，能形成厚度大于沉積形成隆起物等所需厚度的輻射敏感薄膜，并具有高的分辨率，且其生產(chǎn)成本低，收率高。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明一具體實(shí)施例提供的技術(shù)方案如下：

3、負(fù)性感光樹脂組合物，至少包括下述成分(a)、(b)和(c)：

4、成分(a)為：具有堿溶性的樹脂聚合物；

5、成分(b)為：可光誘導(dǎo)的自由基聚合反應(yīng)引發(fā)劑；

6、成分(c)為：含有一個(gè)或一個(gè)以上可聚合官能團(tuán)的化合物，即可以為單官能團(tuán)化合物或者多官能團(tuán)化合物；

7、且其中以成分(a)的用量為100重量份計(jì)，成分(b)的用量為1-20重量份，成分(c)的用量為1-60重量份。

8、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，成分(a)選自：

9、具有羧基結(jié)構(gòu)的可自由基聚合化合物；

10、具有苯環(huán)結(jié)構(gòu)的可自由基聚合化合物；

11、具有酯類結(jié)構(gòu)的可自由基聚合化合物；

12、具有兩個(gè)或以上不飽和雙鍵的可自由基聚合化合物。

13、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，具有羧基結(jié)構(gòu)的可自由基聚合化合物選自：丙烯酸、甲基丙烯酸、庚烯酸、辛烯酸、壬烯酸、戊烯酸、4-戊烯酸、二甲基丙烯酸、肉桂酸、順丁烯二酸、富馬酸、4-乙烯基苯甲酸，月桂烯酸、3-丁烯酸、5-己烯酸等化合物。優(yōu)選為：丙烯酸、甲基丙烯酸和4-乙烯基苯甲酸中的至少一種。

14、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，具有苯環(huán)結(jié)構(gòu)的可自由基聚合化合物選自：苯乙烯、α-甲基苯乙烯、異丙基苯乙烯、丙烯酸2-苯氧基乙基酯、3-乙酰氧基苯乙烯、4-乙酰氧基苯乙烯、甲基丙烯酸苯酯、2-叔丁基苯乙烯、4-叔丁基苯乙烯、甲丙烯酰酸-2-萘酯、對苯二酚單甲基丙烯酸酯、4-叔丁氧羰基苯乙烯、4-乙烯基苯甲酸乙基酯、肉桂基甲基丙烯酸酯等化合物。優(yōu)選為：苯乙烯、α-甲基苯乙烯、丙烯酸2-苯氧基乙基酯和4-乙酰氧基苯乙烯中的至少一種。

15、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，具有酯類結(jié)構(gòu)的可自由基聚合化合物選自：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸羥甲酯、(甲基)丙烯酸羥乙酯、2-丙烯酸環(huán)己基酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、丙烯酸換物質(zhì)、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯、1-丙烯酸金剛烷酯、(甲基)丙烯酸月桂酯，2-丙烯酸-2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、4-羥基丁基丙烯酸酯、2-丙烯酸-2-羥基丙基酯等化合物。優(yōu)選為：(甲基)丙烯酸異冰片酯、1-丙烯酸金剛烷酯、2-丙烯酸-2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯中的至少一種。

16、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，具有兩個(gè)不飽和雙鍵的可自由基聚合化合物選自：1,3-丁二烯、1,2-丁二烯、1,2-戊二烯、1,3戊二烯、1,7-辛二烯、丙二烯、異戊二烯、間戊二烯、烯丙基醚等化合物。優(yōu)選為：1,3-丁二烯、1,2-戊二烯和異戊二烯中的至少一種。

17、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，成分(a)的樹脂聚合物中：具有羧基的可自由基聚合化合物占成分(a)的1-50重量百分比，較好為5-45重量百分比，更優(yōu)為10-40重量百分比；具有苯環(huán)的可自由基聚合化合物占成分(a)的1-40重量百分比，較好為5-35重量百分比，更優(yōu)為10-30重量百分比；具有酯類結(jié)構(gòu)的可自由基聚合化合物占成分(a)的1-70重量百分比，較好為10-60重量百分比，更優(yōu)為30-50重量百分比；具有兩個(gè)不飽和雙鍵的可自由基聚合化合物占成分(a)的1-30重量百分比，較好為5-25重量百分比，更優(yōu)為10-20重量百分比。

18、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，成分(b)選自：安息香醚類光引發(fā)劑、二苯甲酮類光引發(fā)劑、硫雜蒽酮類光引發(fā)劑、?；⒀趸锕庖l(fā)劑、α-二烷基氨基酮類光引發(fā)劑、咔唑基類光引發(fā)劑。

19、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，安息香醚類光引發(fā)劑選自：安息香二甲醚、安息香乙醚、安息香異丙醚、羥甲基安息香甲醚。

20、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，二苯甲酮類光引發(fā)劑選自：二苯甲酮(bp)、4-氯二苯甲酮(cbp)、4-苯基二苯甲酮(pbz)、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦(tpo)、2,4,6-三甲基苯甲?；⑺嵋阴?tpo-l)以及可聚合二苯甲酮衍生物。

21、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，硫雜蒽酮類光引發(fā)劑選自：2-羥基硫雜蒽酮(tx1)、2-羥基-3-(2-硫雜蒽酮氧基)丙基三甲基氯化銨(tx2)、irageure184d

22、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，酰基膦氧化物光引發(fā)劑選自：光引發(fā)劑819、光引發(fā)劑1800、光引發(fā)劑1700、2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦(tpo)、4-二乙胺基苯甲酰基二苯基氧化膦(deapo)、(2,4,6-三甲基-3-苯甲?；?苯甲?；交趸?bztpo)、雙(2,4,6-三甲基苯甲?；?二苯基氧化膦

23、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，α-二烷基氨基酮類光引發(fā)劑選自：2-羥基-2-甲基-1-苯基丙酮、1-羥基環(huán)己基苯基甲酮、2-二甲氨基-2-芐基-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]-1-丁酮、α-胺烷基苯酮。

24、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，咔唑基類光引發(fā)劑選自：咔唑基肟酯(oxes)、3,6-雙[2-(4-吡啶基)乙烯基]-9-苯基咔唑、3,6-雙[2-(2-吡啶基)乙烯基]-9-苯基咔唑、咔唑基α-二酮。

25、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，成分(b)優(yōu)選的選自2-羥基-2-甲基-1-苯基丙酮、2,4,6-三甲基苯甲?；?二苯基氧化膦(tpo)、2,4,6-三甲基苯甲酰基膦酸乙酯(tpo-l)。

26、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，成分(c)選自：單官能團(tuán)化合物、多官能團(tuán)化合物。

27、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，單官能團(tuán)化合物選自：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、叔辛基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、雙丙酮(甲基)丙烯酰胺、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、乙二醇單甲醚(甲基)丙烯酸酯、乙二醇單乙醚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸甘油酯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸異丁酯和(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸7-氨基-3，7-二甲基辛酯、馬來酸二甲酯、馬來酸二乙酯、富馬酸二甲酯、富馬酸二乙酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八烷酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、四氫呋喃(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙酯、乙氧基二乙甘醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸異戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、異丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、n-乙烯基吡咯烷酮、n-乙烯基己內(nèi)酰胺、n，n-二甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯、甲氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、甲氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊二烯酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)癸酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸冰片酯。

28、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，多官能團(tuán)化合物選自：三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、1，4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙酚a-二(甲基)丙烯酰氧乙基醚、雙酚a-二(甲基)丙烯酰氧乙氧基乙基醚、雙酚a-二(甲基)丙烯酰氧甲基乙基醚、三(2-羥基乙基)異氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰脲酸酯二(甲基)丙烯酸酯、三環(huán)癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯和二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯。

29、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，還包括(d)溶劑，以成分(a)的用量為100重量份計(jì)，成分(d)的用量為80-120重量份。

30、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，溶劑選自：丙二醇甲醚醋酸酯、二乙二醇二甲醚、3-甲氧基丙酸甲酯、甲醇、乙醇、二甘醇、丙二醇、異丙醇、乙酸乙酯、丙酮、二乙基酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、草酸二乙酯、丙二酸二乙酯、乳酸乙酯、二乙醚、乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇甲乙醚、四氫呋喃、二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、1,4-二氯丁烷、三氯乙烷、氯苯、鄰二氯苯、己烷、庚烷、辛烷、苯、甲苯、二甲苯、1-甲氧基-2-丙醇、1-甲氧基-2-乙酰氧基丙烷、丙二醇1-單甲醚2-乙酸酯。

31、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，還包括(e)防老劑，以成分(a)的用量為100重量份計(jì)，成分(e)的用量為0.1-1重量份。

32、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，防老劑選自：n-苯基-α-萘胺、n-苯基-β-萘胺、辛基化二苯胺、4,4′-雙(α,α-二甲基芐基)二苯胺、n-環(huán)己基-n-苯基對苯二胺、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2、6-二叔丁基對甲酚、n-苯基-α-苯胺、防老劑bha、防老劑2246、防老劑264、2-巰基苯并咪唑(mbi,mb)、2-硫醇基甲基苯并咪唑(mmbi,mmb)、2-硫醇基苯并咪唑鋅鹽(zmbi,mbz)、2-硫醇基甲基苯并咪唑鋅鹽(zmmbi,zmti,mmbz)

33、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，還包括(f)阻聚劑，以成分(a)的用量為100重量份計(jì)，成分(f)的用量為0.1-5重量份。

34、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，阻聚劑選自：對苯二酚(hq)、對苯醌(pbq)、甲基氫醌(thq)、四氯苯醌、蒽醌、1,4-萘醌、對羥基苯甲醚(hqmme)、2-叔丁基對苯二酚(mtbhq)、2,5-二叔丁基對苯二酚(2,5-dtbhq)、對叔丁基鄰苯二酚。

35、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，還包括(g)表面活性，以成分(a)的用量為100重量份計(jì)，成分(g)的用量為0.1-5重量份。

36、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，表面活性劑選自：聚二甲基硅氧烷、有機(jī)改性聚二甲基硅氧烷、聚醚聚酯改性有機(jī)硅氧烷、烷基改性有機(jī)硅氧烷、moneng-1073、moneng-1153、fcf-203聚丙烯酸含氟酯流平劑。

37、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，負(fù)性感光樹脂組合物的制備方法，包括：在常溫條件下，至少將包括成分(a)、(b)、(c)在內(nèi)的原料充分混合攪拌。

38、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，光刻產(chǎn)品，其至少包括根據(jù)權(quán)利要求1-8任一所述的負(fù)性感光樹脂組合物為原料得到結(jié)構(gòu)。

39、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，以上述成分(a)的含量為100重量份計(jì)，上述成分(b)的含量可以為1重量份、1.5重量份、2重量份、2.5重量份、5重量份、10重量份、15重量份或20重量份等；上述成分(c)的含量可以為1重量份、10重量份、20重量份、30重量份、40重量份、50重量份或60重量份等。

40、在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，以上述成分(a)的含量為100重量份計(jì)，上述(d)溶劑的含量可以為80重量份、90重量份、100重量份、110重量份或120重量份等；上述(e)防老劑的含量可以為0.1重量份、0.2重量份、0.3重量份、0.5重量份、0.8重量份或1重量份等；上述(f)阻聚劑的含量可以為0.1重量份、0.2重量份、0.3重量份、0.4重量份或0.5重量份。

41、針對感光樹脂組合物分辨率不夠，樹脂聚合物中可以引入其他苯環(huán)類結(jié)構(gòu)，提高整體分辨率。

42、針對感光樹脂組合物耐電鍍性能不佳，樹脂聚合物中可以引入多不飽和雙鍵的結(jié)構(gòu)，提升耐電鍍性，改善開裂和滲鍍問題。

43、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物、制備方法及光刻產(chǎn)品，具有負(fù)性特征、可用堿性水溶液顯影的負(fù)性感光樹脂組合物，所述負(fù)性感光樹脂組合物未曝光于紫外光的部分易溶于堿性水溶液，而已曝光于紫外光的部分不溶于堿性水溶液，未曝光部分與曝光部分的堿溶差異化表現(xiàn)優(yōu)異，能形成厚度大于沉積形成隆起物等所需厚度的輻射敏感薄膜，并具有高的分辨率。其生產(chǎn)成本低，收率高。