1.一種負(fù)性感光樹脂組合物,至少包括下述成分(a)、(b)和(c):
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,所述成分(a)選自:
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,所述成分(b)選自:安息香醚類光引發(fā)劑、二苯甲酮類光引發(fā)劑、硫雜蒽酮類光引發(fā)劑、?;⒀趸锕庖l(fā)劑、α-二烷基氨基酮類光引發(fā)劑、咔唑基類光引發(fā)劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,所述成分(c)選自:單官能團(tuán)化合物、多官能團(tuán)化合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,還包括(d)溶劑,以成分(a)的用量為100重量份計(jì),成分(d)的用量為80-120重量份。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,還包括(e)防老劑,以成分(a)的用量為100重量份計(jì),成分(e)的用量為0.1-1重量份。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,還包括(f)【3in負(fù)性感光樹脂組合物負(fù)性感光樹脂組合物dd1f】阻聚劑,以成分(a)的用量為100重量份計(jì),成分(f)的用量為0.1-5重量份。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,還包括(g)表面活性劑,以成分(a)的用量為100重量份計(jì),成分(g)的用量為0.1-5重量份。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一所述的負(fù)性感光樹脂組合物的制備方法,包括:在常溫條件下,至少將包括成分(a)、(b)、(c)在內(nèi)的原料充分混合攪拌。
10.光刻產(chǎn)品,其至少包括根據(jù)權(quán)利要求1-8任一所述的負(fù)性感光樹脂組合物為原料得到結(jié)構(gòu)。