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負(fù)性感光樹脂組合物、制備方法及光刻產(chǎn)品與流程

文檔序號:40644124發(fā)布日期:2025-01-10 18:50閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種負(fù)性感光樹脂組合物,至少包括下述成分(a)、(b)和(c):

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,所述成分(a)選自:

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,所述成分(b)選自:安息香醚類光引發(fā)劑、二苯甲酮類光引發(fā)劑、硫雜蒽酮類光引發(fā)劑、?;⒀趸锕庖l(fā)劑、α-二烷基氨基酮類光引發(fā)劑、咔唑基類光引發(fā)劑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,所述成分(c)選自:單官能團(tuán)化合物、多官能團(tuán)化合物。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,還包括(d)溶劑,以成分(a)的用量為100重量份計(jì),成分(d)的用量為80-120重量份。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,還包括(e)防老劑,以成分(a)的用量為100重量份計(jì),成分(e)的用量為0.1-1重量份。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,還包括(f)【3in負(fù)性感光樹脂組合物負(fù)性感光樹脂組合物dd1f】阻聚劑,以成分(a)的用量為100重量份計(jì),成分(f)的用量為0.1-5重量份。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的負(fù)性感光樹脂組合物,其特征在于,還包括(g)表面活性劑,以成分(a)的用量為100重量份計(jì),成分(g)的用量為0.1-5重量份。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一所述的負(fù)性感光樹脂組合物的制備方法,包括:在常溫條件下,至少將包括成分(a)、(b)、(c)在內(nèi)的原料充分混合攪拌。

10.光刻產(chǎn)品,其至少包括根據(jù)權(quán)利要求1-8任一所述的負(fù)性感光樹脂組合物為原料得到結(jié)構(gòu)。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種負(fù)性感光樹脂組合物、制備方法及光刻產(chǎn)品,其中組合物,至少包括下述成分(a)、(b)和(c):成分(a)為:具有堿溶性的樹脂聚合物;成分(b)為:可光誘導(dǎo)的自由基聚合反應(yīng)引發(fā)劑;成分(c)為:含有一個(gè)或一個(gè)以上可聚合官能團(tuán)的化合物;且其中以成分(a)的用量為100重量份計(jì),成分(b)的用量為1?20重量份,成分(c)的用量為1?60重量份。組合物具有負(fù)性特征、可用堿性水溶液顯影的負(fù)性感光樹脂組合物,能形成厚度大于沉積形成隆起物等所需厚度的輻射敏感薄膜,并具有高的分辨率,且其生產(chǎn)成本低,收率高。

技術(shù)研發(fā)人員:張威,張兵,向文勝,趙建龍
受保護(hù)的技術(shù)使用者:江蘇艾森半導(dǎo)體材料股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/9
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