是說保持或支承所述反射光學(xué)裝置的保持面可以跟隨該伸長運動。如果反射光學(xué)裝置例如涉及一中空反射鏡或一球面形彎曲的反射鏡，那么保持面能夠相應(yīng)地與反射光學(xué)裝置的背側(cè)相切地(即同樣沿這類成形的反射鏡的相應(yīng)主伸長方向)偏轉(zhuǎn)，從而使得即使在這樣的反射光學(xué)裝置中，前述的有利補(bǔ)償(在不改變激光射束入射點的位態(tài)或定向的情況下的保持元件退讓)是可行的。
[0012]優(yōu)選的是這樣的改進(jìn)方案，其中，保持面就垂直于反射光學(xué)裝置延伸的軸線而言布置得旋轉(zhuǎn)對稱。垂直于反射光學(xué)裝置或光學(xué)裝置反射表面延伸的軸線尤其表示了通過反射在光學(xué)裝置上轉(zhuǎn)向的激光射束的入射垂線。由此，通過激光輻射輸入到反射光學(xué)裝置中的熱量在時間上和空間上較均勻地經(jīng)由保持面和保持臂導(dǎo)出，從而使得出現(xiàn)反射光學(xué)裝置中的較均勻溫度降或較均勻溫度場。這一方面又造成較均勻伸長和由此反射光學(xué)裝置的較小張力以及另一方面造成反射光學(xué)裝置的(尤其是激光射束入射點的)空間位態(tài)和定向的形變造成的改變的減小。通過保持面的該布置這樣控制了熱導(dǎo)出，使得反射光學(xué)裝置的形變(或伸長)被最小化或十分完全地被阻止。優(yōu)選地，保持臂和/或保持面為此還相同大小和/或由相同材料制造。
[0013]此外優(yōu)選的是這樣的實施方式，其中，所述光學(xué)裝置保持件的所有保持元件能夠彈性偏轉(zhuǎn)。于是，反射光學(xué)裝置以有利的方式特別柔性地受支承，從而使得也可以平衡比較小的局部溫度區(qū)別，而不會導(dǎo)致反射光學(xué)裝置的(小的)張緊或(小的)位置改變。
[0014]此外優(yōu)選的是另一實施方式，其中，所述至少兩個保持元件中的一個保持元件構(gòu)造為具有一支撐面的固定支撐體，在該支撐面上固定所述反射光學(xué)裝置。經(jīng)由該固定支撐體可以以有利的方式將待排出的熱的主要部分導(dǎo)出。此外，支撐體是用于反射光學(xué)裝置的特別安全的固定支承件，該固定支承件造成反射光學(xué)裝置的比較強(qiáng)的機(jī)械支承和固定。
[0015]在前述實施方式的優(yōu)選改進(jìn)方案中，支撐體就另外的能彈性偏轉(zhuǎn)的保持元件而言居中布置，尤其布置在反射光學(xué)裝置的光學(xué)中心內(nèi)。由此，熱的主要部分在這樣的部位上排出，在該部位上典型地進(jìn)行熱輸入，即在待反射的激光光束的入射點的區(qū)域中。如果所述支撐體布置在另一部位上(例如偏心)，那么從熱輸入位置(即激光光束的入射點或光學(xué)中心)向所述支撐體(即“主散熱器”)出現(xiàn)反射光學(xué)裝置中的熱流，該熱流會以不利的方式導(dǎo)致非對稱的伸長和由此反射光學(xué)裝置的張緊。通過居中地布置所述支撐體來以有利的方式阻止這些。
[0016]在一優(yōu)選的實施方式中，反射光學(xué)裝置經(jīng)由它的背側(cè)固定在保持面和/或支撐面上。通過反射光學(xué)裝置經(jīng)由它的背側(cè)的固定以有利的方式為了保持或處理使用了反射光學(xué)裝置的這樣的側(cè)面，所述側(cè)面沒有通過激光輻射的入射。這能夠?qū)崿F(xiàn)保持面和/或支撐面在反射光學(xué)裝置上的較均勻布置。反射光學(xué)裝置的背側(cè)一般與反射側(cè)或反射鏡表面相對置。
[0017]在另一優(yōu)選的實施方式中，反射光學(xué)裝置經(jīng)由粘接介質(zhì)固定在保持面和/或支撐面上。例如UV或兩成分粘接材料那樣的粘接介質(zhì)(典型粘接材料)表示了用于反射光學(xué)裝置的簡單和有效的連接可能性或固定可能性。所述反射光學(xué)裝置可以通過粘接材料安全和有利地固定在光學(xué)裝置保持件上。根據(jù)本發(fā)明可以特別薄地調(diào)整粘接連接或粘接層，這是因為粘接層僅僅接管了連接功能或固定功能并此外不接管補(bǔ)償功能(補(bǔ)償連接部位上的應(yīng)力或不同的伸長)。有利地，薄的粘接層對不受干擾的熱流起作用并且由粘接層的濕氣接收引起的負(fù)面結(jié)果同樣減小。
[0018]在另一優(yōu)選的實施方式中，光學(xué)裝置保持件具有至少三個能彈性偏轉(zhuǎn)的保持元件。在僅三個彈性保持元件的比較少的數(shù)目的情況下已經(jīng)出現(xiàn)前述根據(jù)本發(fā)明的前述優(yōu)點，其中，光學(xué)裝置保持件的制造耗費以有利的方式減少。但是原則上可以隨著彈性保持元件的增加的數(shù)目(和與彈性保持元件的增加的數(shù)目相應(yīng)的多個彈性保持元件的減小的大小)增強(qiáng)地使用反射光學(xué)裝置的根據(jù)本發(fā)明柔性并且均勻的支承的優(yōu)點。
[0019]優(yōu)選地，光學(xué)裝置保持件由鋁合金構(gòu)成。鋁合金對于彈性保持元件的根據(jù)本發(fā)明的彈性可偏轉(zhuǎn)性或可形變性而言示出了特別良好的彈簧特性并且此外能夠簡單地加工，以及在購置方面比較便宜。
[0020]此外優(yōu)選的是這樣的實施方式，其中，反射光學(xué)裝置的外輪廓構(gòu)造成環(huán)形。由此，反射光學(xué)裝置的形狀以有利的方式適配激光射束的射束橫截面(在所有情況下同樣是圓的)，從而使得出現(xiàn)反射光學(xué)裝置中的較均勻的溫度分布和由此應(yīng)力分布。
[0021]最后優(yōu)選的是這樣的實施方式，其中，光學(xué)裝置保持件構(gòu)造成一體式。尤其地，所述能彈性偏轉(zhuǎn)的保持元件構(gòu)造成舌形并且在光學(xué)裝置保持件的基體上一體式成形。到光學(xué)裝置保持件中的熱排出可以通過彈性保持元件以適配的幾何形狀的設(shè)計來影響。這例如可以通過各個保持元件的寬度、形狀、材料量或橫截面的變型方案來進(jìn)行。
[0022]本發(fā)明的其它優(yōu)點由說明書和附圖獲得。同樣地，前面提到的和還要進(jìn)一步實施的特征可以各單獨或多個地在任意組合中使用。所示出和描述的實施方式不被理解為最終的列舉，而是確切地說具有對于本發(fā)明的說明的示例性性質(zhì)。
【附圖說明】
[0023]其中:
[0024]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)裝置組件的前側(cè)立體圖；
[0025]圖2示出了圖1的光學(xué)裝置組件的背側(cè)立體圖；
[0026]圖3示出了圖1的光學(xué)裝置組件的后視圖；
[0027]圖4示出了圖1的光學(xué)裝置組件的側(cè)視圖；
[0028]圖5示出了沒有反射光學(xué)裝置的圖1的光學(xué)裝置保持件的前視圖；
[0029]圖6示出了沒有反射光學(xué)裝置的另一根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)裝置組件的前側(cè)立體圖；和
[0030]圖7示出了具有反射光學(xué)裝置的圖6的光學(xué)裝置組件的前視圖。
【具體實施方式】
[0031 ] 圖1示出了具有光學(xué)裝置保持件2和反射光學(xué)裝置3的光學(xué)裝置組件I，反射光學(xué)裝置固定在光學(xué)裝置保持件2上。通過反射光學(xué)裝置3，入射的激光射束4轉(zhuǎn)向。激光射束4就垂直地在反射光學(xué)裝置3上豎立的入射垂線5而言以一入射角度α射到反射光學(xué)裝置3的入射點6上并在那里經(jīng)歷方向變換，從而使得該激光射束接下來以一出射角度α從反射光學(xué)裝置3射出。在圖1中示出了作為一條線的激光射束4，但是顯而易見的是:被反射的激光射束4可以具有一較寬的射束橫截面，從而使得入射點6相應(yīng)擴(kuò)寬(或者說是一入射區(qū)域)。反射光學(xué)裝置3具有一反射表面7，其中，所述反射光學(xué)裝置3例如可以包括一基底和一反射覆層。典型地，反射光學(xué)裝置3 (例如反射鏡)由玻璃材料構(gòu)成。光學(xué)裝置組件I可以在這樣的各個領(lǐng)域中使用，那里希望操作激光射束4 (或者另外的電磁輻射)，例如在激光加工機(jī)中使用。
[0032]因為一般不能把入射的激光射束4的全部輻射功率都反射，而是一定的份額被反射光學(xué)裝置3吸收，所以激光射束4造成熱輸入，該熱輸入可以導(dǎo)致反射光學(xué)裝置3的變熱和由此造成反射光學(xué)裝置的局部和/或全局的形變。
[0033]在圖2中示出了反射光學(xué)裝置3在光學(xué)裝置組件I的光學(xué)裝置保持件2上通過在光學(xué)裝置保持件2上構(gòu)造為保持臂8的保持元件的固定或者說保持。所述光學(xué)裝置保持件2具有三個能彈性偏轉(zhuǎn)的保持臂8，在它們的對應(yīng)自由端部上構(gòu)造圓形的保持面9。所述保持臂8以及構(gòu)造在保持臂8上的保持面9能夠基于彈性的可偏轉(zhuǎn)性，尤其是沿平行于反射表面7的方向10運動并且由此有利地可以跟隨反射光學(xué)裝置3的局部和/或全局的伸長運動，而反射表面7上的入射點6或入射區(qū)域在其空間位置或位態(tài)上不被影響并且不會導(dǎo)致激光射束4的不希望的偏轉(zhuǎn)。顯而易見的是:所述保持面9或保持臂8也可以沿垂直于反射表面7的方向至少略微彈性地偏轉(zhuǎn)，從而使得