反射光學(xué)裝置3沿該方向(例如通過反射光學(xué)裝置3的溫度造成的拱曲)的伸長運(yùn)動(dòng)可以通過保持臂8或保持面9被平衡(補(bǔ)償)。在反射光學(xué)裝置3構(gòu)造為拋物線形或拱曲反射鏡的情況下(未示出),保持面9或保持臂8可以相應(yīng)地與反射光學(xué)裝置3的彎曲背側(cè)11相切地執(zhí)行平衡運(yùn)動(dòng)。反射光學(xué)裝置3典型地通過它的背側(cè)11固定在保持面9上。
[0034]圖3示出了保持面9或能彈性偏轉(zhuǎn)的保持臂8在光學(xué)裝置組件I的反射光學(xué)裝置3的背側(cè)11上的幾何布置。一方面,保持面9就激光射束4的入射垂線5而言旋轉(zhuǎn)對稱地布置,從而使得通過保持面9和保持臂8到所述光學(xué)裝置保持件2中的熱導(dǎo)出或熱排出相對于激光射束4的入射點(diǎn)6或入射區(qū)域?qū)ΨQ地(也就是相對于熱源或相對于熱輸入位置對稱地)進(jìn)行。由此,在反射光學(xué)裝置3中出現(xiàn)了較均勻的溫度場,由此以有利的方式至少較均勻地進(jìn)行所述反射光學(xué)裝置3的溫度造成的形變或伸長。另一方面,保持臂8的縱長軸線12相對于激光射束4的入射點(diǎn)6而言或相對于入射垂線5而言等距地(以相同的間距D)布置。由此,保持臂8的溫度造成的長度改變僅僅造成反射光學(xué)裝置3繞入射垂線的軸線5的略微旋轉(zhuǎn),從而使得在具有拱曲或球面形形狀的反射光學(xué)裝置的情況下,該反射光學(xué)裝置3在光學(xué)裝置保持件2上的保持或固定不導(dǎo)致不希望的射束偏轉(zhuǎn)。
[0035]圖4在側(cè)視圖中示出了光學(xué)裝置組件I。反射光學(xué)裝置3通過施加在保持面9上的粘接材料固定在保持面9上。因?yàn)樵诒3置? 一側(cè)與所述反射光學(xué)裝置3的背側(cè)11 一側(cè)之間的粘接層不用于伸長運(yùn)動(dòng)的補(bǔ)償而是僅用于固定,所以粘接層可以有利地施加得特別薄。能彈性偏轉(zhuǎn)的保持臂8構(gòu)造為一體式在光學(xué)裝置保持件2上的長形接片。光學(xué)裝置保持件2能夠通過相應(yīng)的固定器件固定在另外的、(例如激光加工機(jī)的)未示出的機(jī)器部件上。
[0036]圖5示出了具有構(gòu)造在保持臂8的自由圓形端部上的保持面9的光學(xué)裝置保持件2。所述光學(xué)裝置保持件2由鋁合金制成,該鋁合金能夠?qū)崿F(xiàn)保持臂8的適當(dāng)?shù)膹椥钥善D(zhuǎn)性。為了固定而將粘接材料施加到所述反射光學(xué)裝置3的保持面9上并且接下來與反射光學(xué)裝置3連接。
[0037]在圖6中示出了另一光學(xué)裝置保持件2,該另一光學(xué)裝置保持件相應(yīng)于前面的圖1至5具有構(gòu)造為能彈性偏轉(zhuǎn)的保持臂8的三個(gè)保持元件,其中,在這些保持元件的對應(yīng)的自由端部上構(gòu)造有用于固定反射光學(xué)裝置3的圓形保持面9。與圖1至5的光學(xué)裝置保持件2不同地,圖6的光學(xué)裝置保持件2具有就保持面9而言居中布置的并構(gòu)造為固定支撐體13的另一保持元件。所述支撐體13具有用于固定所述反射光學(xué)裝置3的支撐面14。所述保持臂8和/或保持面9尤其布置得圍繞所述支撐體13旋轉(zhuǎn)對稱。
[0038]圖7最后示出了圖6的光學(xué)裝置保持件2,反射光學(xué)裝置3 (在這里透視示出)通過構(gòu)造為保持臂8的三個(gè)保持元件和構(gòu)造為支撐體13的保持元件固定在所述光學(xué)裝置保持件上。該固定尤其通過這樣的粘接層來進(jìn)行,該粘接層施加在一方面保持面9和支撐面14與另一方面反射光學(xué)裝置3的背側(cè)11之間。通過經(jīng)由支撐面14的粘接連接保證了反射光學(xué)裝置3在光學(xué)裝置保持件2上的安全的基本固定并且保持面9也有助于反射光學(xué)裝置3在光學(xué)裝置保持件2上的機(jī)械穩(wěn)定性。
[0039]在圖7的通過反射光學(xué)裝置3和光學(xué)裝置保持件2構(gòu)成的光學(xué)裝置組件I中,通過激光射束4輸入的熱被絕大部分地通過居中布置的支撐體13導(dǎo)出到光學(xué)裝置保持件2中,在該輸入的熱能夠擴(kuò)散到反射光學(xué)裝置3的如下區(qū)域中之前,這些區(qū)域沿徑向處在激光射束4的入射點(diǎn)6的區(qū)域之外。這還能夠?qū)崿F(xiàn):來自圖7的保持臂8的保持面9 (和相應(yīng)地粘接層)構(gòu)造得比圖1至圖5的保持面9小。通過被輸入的熱的主要部分在輸入位置上已經(jīng)被導(dǎo)出到光學(xué)裝置保持件2中,反射光學(xué)裝置3的熱造成的伸長總體上減少,從而使得在反射光學(xué)裝置3中也出現(xiàn)較少的、熱造成的張緊。如果盡管如此(在減小的范圍中)應(yīng)會(huì)出現(xiàn)所述反射光學(xué)裝置3中的這類伸長,那么能彈性偏轉(zhuǎn)的保持臂8有利地可以跟隨這些伸長運(yùn)動(dòng)或補(bǔ)償這些伸長運(yùn)動(dòng)并此外保持它們的進(jìn)行穩(wěn)定的功能。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.光學(xué)裝置組件(I),其具有一光學(xué)裝置保持件(2),在所述光學(xué)裝置保持件上固定有一反射光學(xué)裝置(3), 其特征在于, 所述光學(xué)裝置保持件(2)為了固定所述反射光學(xué)裝置(3)具有至少兩個(gè)保持元件(8、13),在所述至少兩個(gè)保持元件中,至少一個(gè)保持元件能夠彈性偏轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,設(shè)置有多個(gè)能彈性偏轉(zhuǎn)的保持元件,這些能彈性偏轉(zhuǎn)的保持元件構(gòu)造為具有保持面(9)的保持臂(8),其中,所述反射光學(xué)裝置(3)固定在所述保持面(9)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述保持臂(8)的縱長軸線(12)就相對于所述反射光學(xué)裝置(3)垂直延伸的軸線(5)而言布置得等距。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3之一所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述保持面(9)通過所述保持臂(8)的端部、尤其是圓形的端部構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4之一所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述保持面(9)能夠平行(10)于所述反射光學(xué)裝置(3)的反射表面(7)偏轉(zhuǎn)或與所述光學(xué)裝置(3)的背側(cè)(11)相切地偏轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至5之一所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述保持面(9)就相對于所述反射光學(xué)裝置(3)垂直延伸的軸線而言布置得旋轉(zhuǎn)對稱。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述光學(xué)裝置保持件(2)的所有保持元件(8)能夠彈性偏轉(zhuǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6之一所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述至少兩個(gè)保持元件中的一個(gè)保持元件構(gòu)造為具有一支撐面(14)的固定支撐體(13),所述反射光學(xué)裝置(3)固定在該支撐面上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述支撐體(13)就另外的能彈性偏轉(zhuǎn)的保持元件(8)而言居中布置,尤其是布置在所述反射光學(xué)裝置(3)的光學(xué)中心內(nèi)。
10.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述反射光學(xué)裝置(3)通過它的背側(cè)(11)固定在所述保持面(9)和/或所述支撐面(14)上。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述反射光學(xué)裝置(3)通過粘接介質(zhì)固定在所述保持面(9)和/或所述支撐面(14)上。
12.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述光學(xué)裝置保持件(2)具有至少三個(gè)能彈性偏轉(zhuǎn)的保持元件(8)。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述光學(xué)裝置保持件(2)由鋁合金構(gòu)成。
14.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的光學(xué)裝置組件,其特征在于,所述光學(xué)裝置保持件(2)構(gòu)造成一體式。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種光學(xué)裝置組件(1),其具有一光學(xué)裝置保持件(2),在所述光學(xué)裝置保持件上固定有一反射光學(xué)裝置(3),其中,所述光學(xué)裝置保持件(2)為了固定所述反射光學(xué)裝置(3)具有至少兩個(gè)保持元件(8、13),在所述至少兩個(gè)保持元件中,至少一個(gè)保持元件能夠彈性偏轉(zhuǎn)。
【IPC分類】G02B7-00, G02B7-182
【公開號(hào)】CN104838302
【申請?zhí)枴緾N201380053825
【發(fā)明人】J·德爾納
【申請人】通快激光有限責(zé)任公司
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2013年10月7日
【公告號(hào)】DE102012218769A1, US20150219891, WO2014060236A1