在多高度模具上制造的快門(mén)組合件的制作方法
【專利說(shuō)明】
[0001] 相關(guān)申請(qǐng)案
[0002] 本專利申請(qǐng)案主張2013年2月13日申請(qǐng)且轉(zhuǎn)讓給本轉(zhuǎn)讓人且借此明確以引 用方式并入本文的標(biāo)題為"在多高度模具上制造的快門(mén)組合件（ShutterAssemblies FabricatedonMulti-HeightMolds)"的第13/766, 475號(hào)美國(guó)實(shí)用新型申請(qǐng)案的優(yōu)先權(quán)。
技術(shù)領(lǐng)域
[0003] 本發(fā)明涉及顯示器，且特定來(lái)說(shuō)涉及用于顯示器的快門(mén)組合件。
【背景技術(shù)】
[0004] 產(chǎn)生用于顯示器中的快門(mén)及靜電致動(dòng)器的現(xiàn)有方法涉及使用兩個(gè)犧牲模具層。圖 案化第一層以用作將快門(mén)支撐在襯底上方的錨的底座的模具。圖案化第二模具層以用作致 動(dòng)器及快門(mén)的模具。通過(guò)僅使用兩個(gè)模具層，強(qiáng)加有損快門(mén)及致動(dòng)器中的每一者的真實(shí)設(shè) 計(jì)潛力的特定設(shè)計(jì)限制。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的系統(tǒng)、方法及裝置各自具有若干創(chuàng)新方面，所述方面中的任何單個(gè)一者 不單獨(dú)作為本文揭示的所要屬性。
[0006] 可在包含靜電致動(dòng)器的顯示設(shè)備中實(shí)施本發(fā)明中描述的標(biāo)的物的一個(gè)創(chuàng)新方面， 所述靜電致動(dòng)器包含相對(duì)梁電極，所述相對(duì)梁電極具有法向于其上形成所述相對(duì)梁電極的 襯底的主面。所述相對(duì)梁電極中的至少一者的高度界定致動(dòng)器高度。所述設(shè)備還包含經(jīng)配 置以由所述靜電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的機(jī)電系統(tǒng)（EMS)快門(mén)，所述快門(mén)包含至少一個(gè)突出部，所述 突出部具有法向于所述快門(mén)的主平面的第一側(cè)壁及第二側(cè)壁，其中所述致動(dòng)器的遠(yuǎn)端相對(duì) 于所述襯底延伸超出所述第一側(cè)壁的遠(yuǎn)端。在一些實(shí)施方案中，所述致動(dòng)器的致動(dòng)器高度 實(shí)質(zhì)上類似于所述第二側(cè)壁的第二側(cè)壁高度。在一些實(shí)施方案中，所述致動(dòng)器的致動(dòng)器高 度實(shí)質(zhì)上大于所述第一側(cè)壁的第一側(cè)壁高度及所述第二側(cè)壁的第二側(cè)壁高度。
[0007] 在一些實(shí)施方案中，所述突出部包含平行于所述主平面且鄰近于第一側(cè)壁的第一 遠(yuǎn)端表面以及平行于所述主平面且鄰近于第二側(cè)壁的第二遠(yuǎn)端表面，其中所述第一側(cè)壁的 高度實(shí)質(zhì)上不同于所述第二側(cè)壁的對(duì)應(yīng)高度。在一些實(shí)施方案中，所述突出部包含平行于 所述主平面的遠(yuǎn)端表面。所述致動(dòng)器具有與所述遠(yuǎn)端表面對(duì)準(zhǔn)的近端。在一些實(shí)施方案中， 所述主平面與所述致動(dòng)器的遠(yuǎn)端對(duì)準(zhǔn)。在一些實(shí)施方案中，所述相對(duì)梁電極包含驅(qū)動(dòng)電極 及負(fù)載電極，所述負(fù)載電極具有實(shí)質(zhì)上小于所述驅(qū)動(dòng)電極的高度。
[0008] 在一些實(shí)施方案中，所述設(shè)備包含：顯示器；處理器，其經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)； 及存儲(chǔ)器裝置，其經(jīng)配置以與所述處理器通信。在一些實(shí)施方案中，所述設(shè)備包含經(jīng)配置以 將至少一個(gè)信號(hào)發(fā)送到所述顯示器的驅(qū)動(dòng)器電路且所述處理器進(jìn)一步經(jīng)配置以將所述圖 像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動(dòng)器電路。在一些實(shí)施方案中，所述設(shè)備包含圖像源模 塊，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器。在一些此類實(shí)施方案中，所述圖像源模 塊包含接收器、收發(fā)器及發(fā)射器中的至少一者。在一些實(shí)施方案中，所述設(shè)備包含輸入裝 置，其經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。
[0009] 可以制造顯示結(jié)構(gòu)的方法實(shí)施本發(fā)明中描述的標(biāo)的物的另一創(chuàng)新方面。在襯底上 方沉積并圖案化第一模具層。在經(jīng)圖案化第一模具層上方沉積第二模具層。圖案化經(jīng)沉積 第二模具層以形成對(duì)應(yīng)于最終將形成錨之處的錨開(kāi)口。在經(jīng)圖案化第二模具層上方沉積第 三模具層。圖案化經(jīng)沉積第三模具層以形成對(duì)應(yīng)于最終將形成所述顯示結(jié)構(gòu)的快門(mén)的突出 部之處的突出部開(kāi)口，且形成對(duì)應(yīng)于最終將形成所述顯示結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器的致動(dòng)器梁之處的 致動(dòng)器開(kāi)口。在經(jīng)圖案化第三模具層上方沉積導(dǎo)電材料。圖案化所述導(dǎo)電材料以形成所述 致動(dòng)器及具有所述突出部的所述快門(mén)，所述致動(dòng)器具有實(shí)質(zhì)上不同于所述突出部的側(cè)壁中 的一者的高度的高度。在一些實(shí)施方案中，釋放包含所述致動(dòng)器及所述快門(mén)的所述顯示結(jié) 構(gòu)。
[0010] 在一些實(shí)施方案中，圖案化經(jīng)沉積第三模具層以形成延伸到所述第一模具層的頂 表面的致動(dòng)器開(kāi)口。在一些實(shí)施方案中，圖案化經(jīng)沉積第三模具層以形成延伸到所述第二 模具層的頂表面的突出部開(kāi)口。在一些實(shí)施方案中，圖案化經(jīng)沉積第三模具層以形成延伸 到所述第二模具層的頂表面及所述第一模具層的頂表面的突出部開(kāi)口以使得由所述第一 模具層及所述第二模具層二者界定所述開(kāi)口的底部。在一些實(shí)施方案中，圖案化經(jīng)沉積第 三模具層以形成延伸到所述第二模具層的頂表面的致動(dòng)器開(kāi)口。在一些實(shí)施方案中，圖案 化經(jīng)沉積第三模具層以形成延伸到所述第一模具層的頂表面的突出部開(kāi)口。
[0011] 隨附圖式及下列描述中陳述本說(shuō)明書(shū)中描述的標(biāo)的物的一或多個(gè)實(shí)施方案的細(xì) 節(jié)。雖然此
【發(fā)明內(nèi)容】
中提供的實(shí)例主要根據(jù)基于EMS的顯示器進(jìn)行描述，但是本文提供的 概念可應(yīng)用于其它類型的顯示器，例如液晶顯示器（IXD)、有機(jī)發(fā)光二極管（0LED)顯示器、 電泳顯示器及場(chǎng)發(fā)射顯示器，且可應(yīng)用于其它非顯示EMS裝置，例如EMS麥克風(fēng)、傳感器及 光學(xué)切換器。從描述、圖式及權(quán)利要求書(shū)將明白其它特征、方面及優(yōu)點(diǎn)。注意下列圖的相對(duì) 尺寸可能不按比例繪制。
【附圖說(shuō)明】
[0012] 圖1A展不直視基于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)的顯不設(shè)備的實(shí)例不意圖。
[0013] 圖1B展示主機(jī)裝置的實(shí)例框圖。
[0014] 圖2展示說(shuō)明性基于快門(mén)的光調(diào)制器的實(shí)例透視圖。
[0015] 圖3A展示控制矩陣的實(shí)例示意圖。
[0016] 圖3B展示連接到圖3A的控制矩陣的基于快門(mén)的光調(diào)制器的陣列的實(shí)例透視圖。
[0017] 圖4A及圖4B展示雙致動(dòng)器快門(mén)組合件的實(shí)例視圖。
[0018] 圖5展示并入有基于快門(mén)的光調(diào)制器的顯示設(shè)備的實(shí)例橫截面圖。
[0019] 圖6A到6E展示實(shí)例復(fù)合快門(mén)組合件的構(gòu)造階段的橫截面圖。
[0020] 圖7A到7D展示具有狹窄側(cè)壁梁的實(shí)例快門(mén)組合件的構(gòu)造階段的等角視圖。
[0021] 圖8展不實(shí)例基于機(jī)電系統(tǒng)（EMS)快門(mén)的顯不設(shè)備的一部分的橫截面圖。
[0022] 圖9展示并入有包含具有突出部（其具有實(shí)質(zhì)上不同于對(duì)應(yīng)靜電致動(dòng)器的高度的 深度）的快門(mén)的快門(mén)組合件的顯示設(shè)備的實(shí)例制造過(guò)程的流程圖。
[0023] 圖10A到10F展示實(shí)例顯示設(shè)備的構(gòu)造階段。
[0024] 圖11A到1ID展示實(shí)例顯示設(shè)備的構(gòu)造階段。
[0025] 圖12A展示另一實(shí)例基于EMS快門(mén)的顯示設(shè)備的一部分的橫截面圖。
[0026] 圖12B展示圖12A中所示的在從對(duì)應(yīng)模具釋放之前的實(shí)例顯示設(shè)備。
[0027] 圖13A展不另一實(shí)例基于EMS快門(mén)的顯不設(shè)備的一部分的橫截面圖。
[0028] 圖13B展示圖13A中所示的在從對(duì)應(yīng)模具釋放之前的實(shí)例顯示設(shè)備。
[0029] 圖14A展不另一實(shí)例基于EMS快門(mén)的顯不設(shè)備的一部分的橫截面圖。
[0030] 圖14B展示圖14A中所示的在從對(duì)應(yīng)模具釋放之前的實(shí)例顯示設(shè)備。
[0031] 圖15A展示另一實(shí)例基于EMS快門(mén)的顯示設(shè)備的一部分的橫截面圖。
[0032] 圖15B展示圖14A中所示的在從對(duì)應(yīng)模具釋放之前的實(shí)例顯示設(shè)備。
[0033] 圖16A及16B是說(shuō)明包含一組顯示元件的顯示裝置的實(shí)例系統(tǒng)框圖。
[0034] 在各種圖式中，相同的參考數(shù)字及符號(hào)指示相同元件。
【具體實(shí)施方式】
[0035] 下列描述涉及用于描述本發(fā)明的創(chuàng)新方面的目的的某些實(shí)施方案。然而，一般所 屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將容易認(rèn)識(shí)到，本文中的教示可以許多不同方式應(yīng)用。所描述的實(shí)施 方案可在可經(jīng)配置以顯示無(wú)論是運(yùn)動(dòng)（例如視頻）或靜態(tài)（例如靜止圖像）及無(wú)論是文 字、圖形或圖片的圖像的任何裝置、設(shè)備或系統(tǒng)中實(shí)施。更特定來(lái)說(shuō)，預(yù)期所描述的實(shí)施方 案可包含在多種電子裝置中或與多種電子裝置相關(guān)聯(lián)，所述電子裝置例如（但不限于）： 移動(dòng)電話、具有多媒體因特網(wǎng)功能的蜂窩式電話、移動(dòng)電視接收器、無(wú)線裝置、智能電話、 Bluetooth?裝置、個(gè)人數(shù)據(jù)助理（PDA)、無(wú)線電子郵件接收器、掌上型或便攜式計(jì)算機(jī)、上 網(wǎng)本、筆記型計(jì)算機(jī)、智能本、平板計(jì)算機(jī)、打印機(jī)、復(fù)印機(jī)、掃描儀、傳真裝置、全球定位系 統(tǒng)（GPS)接收器/導(dǎo)航器、相機(jī)、數(shù)字媒體播放器（例如MP3播放器）、攝錄影機(jī)、游戲控制 臺(tái)、腕表、時(shí)鐘、計(jì)算器、電視監(jiān)視器、平板顯示器、電子閱讀裝置（例如，電子閱讀器）、計(jì)算 機(jī)監(jiān)視器、汽車顯示器（包含里程表及速度計(jì)顯示器等）、駕駛艙控制件及/或顯示器、相機(jī) 視圖顯示器（例如車輛中的后視相機(jī)的顯示器）、電子相冊(cè)、電子廣告牌或標(biāo)志牌、投影儀、 建筑結(jié)構(gòu)、微波爐、冰箱、立體聲系統(tǒng)、卡帶錄影機(jī)或播放器、DVD播放器、CD播放器、VCR、收 音機(jī)、便攜式存儲(chǔ)器芯片、洗衣器、干衣器、洗衣/干衣器、停車計(jì)時(shí)器、包裝（例如在包含 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)應(yīng)用的機(jī)電系統(tǒng)（EMS)應(yīng)用及非EMS應(yīng)用中）、美學(xué)結(jié)構(gòu)（例如一件珠 寶或衣服上的圖像顯示器）及多種EMS裝置。本文中的教示還可用于非顯示器應(yīng)用中，例 如（但不限于）電子切換裝置、射頻濾波器、傳感器、加速度計(jì)、陀螺儀、運(yùn)動(dòng)感測(cè)裝置、磁力 計(jì)、消費(fèi)型電子器件的慣性組件、消費(fèi)型電子器件產(chǎn)品的部件、變?nèi)荻O管、液晶裝置、電泳 裝置、驅(qū)動(dòng)方案、制造工藝及電子測(cè)試設(shè)備。因此，所述教示不旨在限于僅在圖式中描繪的 實(shí)施方案，而是如一般所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將容易明白般具有廣泛適用性。
[0036] 用作顯示設(shè)備中的光調(diào)制器的快門(mén)組合件可經(jīng)制造以包含靜電致動(dòng)器，所述靜電 致動(dòng)器具有實(shí)質(zhì)上不同于包含于其所移動(dòng)的快門(mén)中的側(cè)壁的高度。在一些實(shí)施方案中，致 動(dòng)器高于快門(mén)突出部。在一些其它實(shí)施方案中，致動(dòng)器短于快門(mén)突出部。在一些其它實(shí)施 方案中，致動(dòng)器高于快門(mén)突出部的一部分，但是具有與突出部的另一部分相同的高度。可通 過(guò)將第三模具層引入到快門(mén)組合件的制造中來(lái)實(shí)現(xiàn)致動(dòng)器/或快門(mén)的這些可變高度。
[0037] 可實(shí)施本發(fā)明中描述的標(biāo)的物的特定實(shí)施方案以實(shí)現(xiàn)下列潛在優(yōu)點(diǎn)中的一或多 者。特定來(lái)說(shuō)，包含較深快門(mén)突出部的快門(mén)可提供改善的光阻斷能力，這是因?yàn)檫M(jìn)入突出部 的光可在離開(kāi)突出部之前從多個(gè)表面回彈。
[0038] 包含較淺快門(mén)突出部的快門(mén)具有其自身優(yōu)點(diǎn)。此些快門(mén)較不可能降落（touch down)在顯示襯底上且由于粘滯力而可能粘附到顯示襯底。因此，此些快門(mén)可證實(shí)比具有較 深突出部的快門(mén)更可靠。此外，具有較淺突出部的快門(mén)可更加簡(jiǎn)化且因此可更快速切換狀 態(tài)。此外，通過(guò)增加快門(mén)與其上構(gòu)建用于控制快門(mén)的電路的對(duì)應(yīng)襯底之間的距離，減小寄生 電容，借此減小功耗并進(jìn)一步改善顯示器切換時(shí)間。
[0039] 在一些實(shí)施方案中，還可增加致動(dòng)器的高度。因此，形成致動(dòng)器的電極可歸因于表 面積增加而對(duì)彼此施加更大力，借此增加快門(mén)的速度。
[0040] 在一些實(shí)施方案中，致動(dòng)器電極可包含沿著其長(zhǎng)度的凹口。所述凹口提供額外順 應(yīng)性并減小致動(dòng)器的負(fù)載電極與相對(duì)驅(qū)動(dòng)電極之間的擠壓膜阻尼。因此，快門(mén)可更快速行 進(jìn)。
[0041] 圖1A展不直視基于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)的顯不設(shè)備100的不意圖。所述顯不設(shè)備 100包含布置成行與列的多個(gè)光調(diào)制器102a到102d( -般來(lái)說(shuō)"光調(diào)制器102"）。在所述 顯示設(shè)備100中，光調(diào)制器102a及102d在敞開(kāi)狀態(tài)中，容許光通過(guò)。光調(diào)制器102b及102c 在閉合狀態(tài)中，阻礙光通過(guò)。通過(guò)選擇性地設(shè)定光調(diào)制器l〇2a到102d的狀態(tài)，可利用顯示 設(shè)備100以在通過(guò)一燈具或若干燈具105照明的情況下形成背光顯示器的圖像104。在另 一實(shí)施方案中，所述設(shè)備100可通過(guò)反射源自所述設(shè)備前面的周圍光而形成圖像。在另一 實(shí)施方案中，所述設(shè)備100可通過(guò)反射來(lái)自定位于所述顯示器前面的一燈具或若干燈具的 光（即，通過(guò)使用前光）形成圖像。
[0042] 在一些實(shí)施方案中，每一光調(diào)制器102對(duì)應(yīng)于圖像104中的像素106。在一些其它 實(shí)施方案中，所述顯示設(shè)備100可利用多個(gè)光調(diào)制器以形成圖像104中的像素106。例如， 所述顯示設(shè)備100可包含三個(gè)色彩特定光調(diào)制器102。通過(guò)選擇性地敞開(kāi)對(duì)應(yīng)于特定像素 106的色彩特定光調(diào)制器102中的一或多者，顯示設(shè)備100可產(chǎn)生圖像104中的彩色像素 106。在另一實(shí)例中，顯示設(shè)備100包含每像素106兩個(gè)或兩個(gè)以上光調(diào)制器102以提供圖 像104中的明度等級(jí)。相對(duì)于圖像，"像素"對(duì)應(yīng)于通過(guò)圖像的分辨率定義的最小圖片元素。 相對(duì)于所述顯示設(shè)備100的結(jié)構(gòu)組件，術(shù)語(yǔ)"像素"指用以調(diào)制形成圖像的單一像素的光的 組合機(jī)械及電組件。
[0043] 顯示設(shè)備100是直視顯示器，因?yàn)槠淇刹话ǔＴ谕队皯?yīng)用中發(fā)現(xiàn)的成像光學(xué) 器件。在投影顯示器中，將形成于顯示設(shè)備的表面上的圖像投影到屏幕上或墻壁上。顯示 設(shè)備實(shí)質(zhì)上小于所投影的圖像。在直視顯示器中，用戶通過(guò)直接觀看顯示設(shè)備看見(jiàn)圖像，所 述顯示設(shè)備含有光調(diào)制器及任選地用于增強(qiáng)在顯示器上看見(jiàn)的亮度及/或?qū)Ρ榷鹊谋彻?或前光。
[0044] 直視顯示器可以透射或反射模式操作。在透射顯示器中，光調(diào)制器過(guò)濾或選擇性 地阻斷源自定位于顯示器后面的一燈具或若干燈具的光。來(lái)自所述燈具的光任選地注入到 光導(dǎo)或"背光"中，使得可均勻照明每一像素。透射直視顯示器經(jīng)常構(gòu)建于透明或玻璃襯底 上以促進(jìn)夾層組合件布置，其中含有光調(diào)制器的一個(gè)襯底直接定位于背光的頂部上。
[0045] 每一光調(diào)制器102可包含快門(mén)108及光圈109。為照明所述圖像104中的像素 106,定位所述快門(mén)108使得其允許光穿過(guò)所述光圈109朝向觀看者。為使像素106保持未 照亮，定位所述快門(mén)108使得其阻礙光通過(guò)光圈109。通過(guò)經(jīng)圖案化穿過(guò)每一光調(diào)制器102 中的反射或光吸收材料的開(kāi)口界定光圈109。
[0046] 顯示設(shè)備還包含連接到襯底及光調(diào)制器以控制快門(mén)的移動(dòng)的控制矩陣。所述控制 矩陣包含一系列電互連件（例如，互連件110、112及114)，包含每行像素至少一個(gè)寫(xiě)入啟用 互連件110 (還稱為"掃描線互連件"）、針對(duì)每一列像素的一個(gè)數(shù)據(jù)互連件112及提供共同 電壓給全部像素或至少提供給來(lái)自所述顯示設(shè)備100中的多列及多行的像素的一個(gè)共同 互連件114。響應(yīng)于施加適當(dāng)電壓（"寫(xiě)入啟用電壓VWE"），針對(duì)給定行的像素的寫(xiě)入啟用 互連件110準(zhǔn)備所述行中的像素以接受新的快門(mén)移動(dòng)指令。所述數(shù)據(jù)互連件112以數(shù)據(jù)電 壓脈沖的形式傳送新的移動(dòng)指令。在一些實(shí)施方案中，施加到所述數(shù)據(jù)互連件112的數(shù)據(jù) 電壓脈沖直接促成快門(mén)的靜電移動(dòng)。在一些其它實(shí)施方案中，數(shù)據(jù)電壓脈沖控制開(kāi)關(guān)（例 如，晶體管或其它非線性電路元件），所述開(kāi)關(guān)控制量值通常高于數(shù)據(jù)電壓的單獨(dú)致動(dòng)電壓 到光調(diào)制器102的施加。接著，施加這些致動(dòng)電壓導(dǎo)致快門(mén)108的靜電驅(qū)動(dòng)移動(dòng)。
[0047] 圖1B展示主機(jī)裝置120(即，蜂窩式電話、智能電話、PDA、MP3播放器、平板計(jì)算機(jī)、 電子閱讀器等等）的框圖的實(shí)例。所述主機(jī)裝置120包含顯示設(shè)備128、主機(jī)處理器122、 環(huán)境傳感器124、用戶輸入模塊126及一電源。
[0048] 所述顯示設(shè)備128包含多個(gè)掃描驅(qū)動(dòng)器130(還稱為"寫(xiě)入啟用電壓源"）、多個(gè)數(shù) 據(jù)驅(qū)動(dòng)器132 (還稱為"數(shù)據(jù)電壓源"）、控制器134、共同驅(qū)動(dòng)器138、燈具140到146,以及 燈具驅(qū)動(dòng)器148。所述掃描驅(qū)動(dòng)器130施加寫(xiě)入啟用電壓到掃描線互連件110。所述數(shù)據(jù) 驅(qū)動(dòng)器132施加數(shù)據(jù)電壓到所述數(shù)據(jù)互連件112。
[0049] 在顯示設(shè)備的一些實(shí)施方案中，所述數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器132經(jīng)配置以提供模擬數(shù)據(jù)電壓 給光調(diào)制器，尤其在以模擬方式導(dǎo)出圖像104的明度等級(jí)的情況下。在模擬操作中，設(shè)計(jì)光 調(diào)制器102使得在通過(guò)數(shù)據(jù)互連件112施加中間電壓的一范圍時(shí)，導(dǎo)致快門(mén)108中的一系 列中間敞開(kāi)狀態(tài)及因此圖像104中的一系列中間照明狀態(tài)或明度等級(jí)。在其它情況中，所 述數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器132經(jīng)配置以僅施加縮減集合的2、3或4個(gè)數(shù)字電壓電平到數(shù)據(jù)互連件112。 這些電壓電平經(jīng)設(shè)計(jì)以按數(shù)字方式設(shè)定所述快門(mén)108中的每一者的敞開(kāi)狀態(tài)、閉合狀態(tài)或 其它離散狀態(tài)。
[0050] 所述掃描驅(qū)動(dòng)器130及數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器132連接到數(shù)字控制器電路134 (還稱為"控制 器134")。所述控制器以大部分串行方式發(fā)送按通過(guò)行及圖像幀分組的預(yù)定序列組織的數(shù) 據(jù)到所述數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器132。數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器132可包含串行到并行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器、電平移位，且對(duì) 于一些應(yīng)用，其包含數(shù)/模電壓轉(zhuǎn)換器。
[0051] 顯示設(shè)備任選地包含一組共同驅(qū)動(dòng)器138,還稱為共同電壓源。在一些實(shí)施方案 中，所述共同驅(qū)動(dòng)器138(例如）通過(guò)供應(yīng)電壓給一系列共同互連件114而提供DC共同電 位給光調(diào)制器陣列內(nèi)的全部光調(diào)制器。在一些其它實(shí)施方案中，所述共同驅(qū)動(dòng)器138遵循 來(lái)自控制器134的命令發(fā)出電壓脈沖或信號(hào)到光調(diào)制器陣列，例如，能夠驅(qū)動(dòng)及/或起始所 述陣列的多個(gè)行及列中的全部光調(diào)制器的同時(shí)致動(dòng)的全局致動(dòng)脈沖。
[0052] 通過(guò)所述控制器134使用于不同顯示功能的全部驅(qū)動(dòng)器（例如，掃描驅(qū)動(dòng)器130、 數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器132及共同驅(qū)動(dòng)器138)在時(shí)間上同步。來(lái)自所述控制器的時(shí)序命令經(jīng)由燈具 驅(qū)動(dòng)器148、像素陣列內(nèi)的特定行的寫(xiě)入啟用及定序、來(lái)自所述數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器132的電壓輸出 及提供光調(diào)制器致動(dòng)的電壓輸出而協(xié)調(diào)紅色燈具、綠色燈具、藍(lán)色燈具及白色燈具（分別 為 140、142、144 及 146)的照明