備1500。所述模具與用以形成圖 10F中所示的顯示設(shè)備800的模具實(shí)質(zhì)上類似處在于：所述模具也包含第一模具層1590、第 二模具層1592及第三模具層1594。圖案化模具層1590、1592及1594中的每一者使得形成 對(duì)應(yīng)于顯示設(shè)備1500的結(jié)構(gòu)。特定來(lái)說(shuō)，圖案化第二模具層1592以形成其中最終將形成 錨的凹口以及在其上方最終將形成快門1540的臺(tái)面1582。第一模具層1590的厚度界定主 平坦部分1542與襯底1502之間的距離1562以及致動(dòng)器1520的底表面與襯底1502之間 的距離。第二模具層1592的厚度界定快門1540的側(cè)壁1554a及1554b的高度。第二模具 層1592及第三模具層1594的厚度界定致動(dòng)器1520的高度。
[0155] 圖16A及16B是圖解說(shuō)明包含一組顯示元件的顯示裝置40的系統(tǒng)框圖。所述顯 示裝置40可為（例如）智能電話、蜂窩式或移動(dòng)電話。然而，顯示裝置40的相同組件或其 稍微變動(dòng)還圖解說(shuō)明各種類型的顯示裝置，例如電視機(jī)、計(jì)算機(jī)、平板計(jì)算機(jī)、電子閱讀器、 手持式裝置及便攜式媒體裝置。
[0156] 顯不裝置40包含外殼41、顯不器30、天線43、揚(yáng)聲器45、輸入裝置48及麥克風(fēng) 46。所述外殼41可由多種制造工藝中的任一者形成，包含注射模制及真空成形。此外，外 殼41可由多種材料中的任一材料制成，包含（但不限于）：塑料、金屬、玻璃、橡膠及陶瓷或 其組合。外殼41可包含可移除部分（未展示），所述可移除部分可與不同色彩或含有不同 標(biāo)志、圖片或符號(hào)的其它可移除部分互換。
[0157] 如本文所述，顯示器30可為多種顯示器中的任一者，包含雙穩(wěn)態(tài)或模擬顯示器。 顯示器30還可經(jīng)配置以包含平板顯示器（例如等離子、EL、OLED、STNIXD或TFTIXD)或 非平板顯示器（例如CRT或其它顯像管裝置）。
[0158] 圖16B中示意地圖解說(shuō)明顯示裝置40的組件。顯示裝置40包含外殼41，且可包 含至少部分圍封在所述外殼41中的額外組件。例如，顯示裝置40包含網(wǎng)絡(luò)接口 27,所述網(wǎng) 絡(luò)接口 27包含可耦合到收發(fā)器47的天線43。網(wǎng)絡(luò)接口 27可為可顯示于顯示裝置40上的 圖像數(shù)據(jù)的源。因此，網(wǎng)絡(luò)接口 27是圖像源模塊的一個(gè)實(shí)例，但是處理器21及輸入裝置48 也可用作圖像源模塊。收發(fā)器47連接到處理器21，處理器21連接到調(diào)節(jié)硬件52。調(diào)節(jié)硬 件52可經(jīng)配置以調(diào)節(jié)信號(hào)（例如濾波或以其它方式操縱信號(hào)）。調(diào)節(jié)硬件52可連接到揚(yáng) 聲器45及麥克風(fēng)46。處理器21還可連接到輸入裝置48及驅(qū)動(dòng)器控制器29。驅(qū)動(dòng)器控制 器29可耦合到幀緩沖器28及陣列驅(qū)動(dòng)器22,所述陣列驅(qū)動(dòng)器22繼而可耦合到顯示陣列 30。顯示裝置40中的一或多個(gè)元件（包含圖16B中未具體描繪的元件）可經(jīng)配置以用作 存儲(chǔ)器裝置且經(jīng)配置以與處理器21通信。在一些實(shí)施方案中，電力供應(yīng)器50可提供電力 給特定顯示裝置40設(shè)計(jì)中的實(shí)質(zhì)上全部組件。
[0159] 網(wǎng)絡(luò)接口27包含天線43及收發(fā)器47,使得顯示裝置40可經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與一或多個(gè) 裝置通信。網(wǎng)絡(luò)接口27還可具有一些處理能力以減輕（例如）處理器21的數(shù)據(jù)處理要 求。天線43可發(fā)射及接收信號(hào)。在一些實(shí)施方案中，天線43根據(jù)IEEE 16. 11標(biāo)準(zhǔn)（包含 IEEE16. 11(a)、（b)或（g))或IEEE 802. 11標(biāo)準(zhǔn)（包含IEEE 802. lla、b、g或n及其進(jìn)一 步實(shí)施方案）發(fā)射及接收RF信號(hào)。在一些其它實(shí)施方案中，天線43根據(jù)Bluetooth?標(biāo)準(zhǔn)發(fā) 射及接收RF信號(hào)。在蜂窩式電話的情況中，天線43可經(jīng)設(shè)計(jì)以接收碼分多址（CDMA)、頻分 多址（FDMA)、時(shí)分多址（TDMA)、全球移動(dòng)通信系統(tǒng)（GSM)、GSM/通用包無(wú)線電服務(wù)（GPRS)、 增強(qiáng)型數(shù)據(jù)GSM環(huán)境（EDGE)、陸地中繼無(wú)線電（TETRA)、寬帶CDMA(W-CDMA)、演進(jìn)數(shù)據(jù)優(yōu)化 (EV-DO)、lxEV-DO、EV-DO修訂版A、EV-DO修訂版B、高速包接入（HSPA)、高速下行鏈路包接 入（HSDPA)、高速上行鏈路包接入（HSUPA)、演進(jìn)型高速包接入（HSPA+)、長(zhǎng)期演進(jìn)（LTE)、 AMPS或用以在無(wú)線網(wǎng)絡(luò)（例如利用3G、4G或5G技術(shù)的系統(tǒng)）內(nèi)通信的其它已知信號(hào)。收 發(fā)器47可預(yù)處理從天線43接收的信號(hào)，使得處理器21可接收并進(jìn)一步操縱所述信號(hào)。收 發(fā)器47還可處理從處理器21接收的信號(hào)，使得所述信號(hào)可經(jīng)由天線43從顯示裝置40發(fā) 射。
[0160] 在一些實(shí)施方案中，收發(fā)器47可由接收器取代。此外，在一些實(shí)施方案中，網(wǎng)絡(luò)接 口27可由可存儲(chǔ)或產(chǎn)生待發(fā)送到處理器21的圖像數(shù)據(jù)的圖像源取代。處理器21可控制 顯示裝置40的總體操作。處理器21接收數(shù)據(jù)（例如來(lái)自網(wǎng)絡(luò)接口27或圖像源的壓縮圖 像數(shù)據(jù)）并將數(shù)據(jù)處理為原始圖像數(shù)據(jù)或可易于處理為原始圖像數(shù)據(jù)的格式。處理器21 可將經(jīng)處理的數(shù)據(jù)發(fā)送到驅(qū)動(dòng)器控制器29或幀緩沖器28以進(jìn)行存儲(chǔ)。原始數(shù)據(jù)通常指識(shí) 別圖像內(nèi)的每一位置處的圖像特性的信息。例如，此些圖像特性可包含色彩、飽和度及灰階 等級(jí)。
[0161] 處理器21可包含用以控制顯示裝置40的操作的微控制器、CPU或邏輯單元。調(diào) 節(jié)硬件52可包含用于將信號(hào)發(fā)射到揚(yáng)聲器45及從麥克風(fēng)46接收信號(hào)的放大器及濾波器。 調(diào)節(jié)硬件52可為顯示裝置40內(nèi)的離散組件或可并入于處理器21或其它組件內(nèi)。
[0162] 驅(qū)動(dòng)器控制器29可直接從處理器21或從幀緩沖器28取得由處理器21產(chǎn)生的原 始圖像數(shù)據(jù)且可適當(dāng)?shù)刂匦赂袷交紙D像數(shù)據(jù)以使其高速發(fā)射到陣列驅(qū)動(dòng)器22。在一些 實(shí)施方案中，驅(qū)動(dòng)器控制器29可將所述原始圖像數(shù)據(jù)重新格式化為具有類光柵格式的數(shù) 據(jù)流，使得其具有適合跨顯示陣列30掃描的時(shí)序。接著，驅(qū)動(dòng)器控制器29將經(jīng)格式化的信 息發(fā)送到陣列驅(qū)動(dòng)器22。雖然驅(qū)動(dòng)器控制器29 (例如IXD控制器）通常作為獨(dú)立集成電路 (1C)而與系統(tǒng)處理器21相關(guān)聯(lián)，但是此些控制器可以許多方式實(shí)施。例如，控制器可作為 硬件嵌入于處理器21中、作為軟件嵌入于處理器21中或與陣列驅(qū)動(dòng)器22完全集成于硬件 中。
[0163] 陣列驅(qū)動(dòng)器22可從驅(qū)動(dòng)器控制器29接收經(jīng)格式化的信息且可將視頻數(shù)據(jù)重新格 式化為一組平行波形，所述波形每秒多次地施加到來(lái)自顯示器的顯示元件的x-y矩陣的數(shù) 百且有時(shí)數(shù)千個(gè)（或更多）引線。
[0164] 在一些實(shí)施方案中，驅(qū)動(dòng)器控制器29、陣列驅(qū)動(dòng)器22及顯示陣列30適用于本文 描述的任何類型的顯示器。例如，驅(qū)動(dòng)器控制器29可為常規(guī)顯示控制器或雙穩(wěn)態(tài)顯示控制 器。此外，陣列驅(qū)動(dòng)器22可為常規(guī)驅(qū)動(dòng)器或雙穩(wěn)態(tài)顯示驅(qū)動(dòng)器。此外，顯示陣列30可為常 規(guī)顯示陣列或雙穩(wěn)態(tài)顯示陣列。在一些實(shí)施方案中，驅(qū)動(dòng)器控制器29可與陣列驅(qū)動(dòng)器22 集成。此實(shí)施方案可用于高度集成系統(tǒng)（例如移動(dòng)電話、便攜式電子裝置、手表及其它小面 積顯示器）中。
[0165] 在一些實(shí)施方案中，輸入裝置48可經(jīng)配置以允許（例如）用戶控制顯示裝置40 的操作。輸入裝置48可包含小鍵盤（例如QWERTY鍵盤或電話小鍵盤）、按鈕、開關(guān)、搖桿、 觸敏屏幕、與顯示陣列30集成的觸敏屏幕或壓敏膜或熱敏膜。麥克風(fēng)46可配置為顯示裝 置40的輸入裝置。在一些實(shí)施方案中，通過(guò)麥克風(fēng)46的語(yǔ)音命令可用于控制顯示裝置40 的操作。
[0166] 電力供應(yīng)器50可包含多種能量存儲(chǔ)裝置。例如，電力供應(yīng)器50可為可再充電電 池，例如鎳鎘電池或鋰離子電池。在使用可再充電電池的實(shí)施方案中，所述可再充電電池可 使用來(lái)自（例如）壁式插座或光伏裝置或陣列的電力進(jìn)行充電。或者，所述可再充電電池 可無(wú)線地充電。電力供應(yīng)器50還可為可再生能源、電容器或太陽(yáng)能電池（包含塑料太陽(yáng)能 電池或太陽(yáng)能電池漆）。電力供應(yīng)器50還可經(jīng)配置以從壁式插座接收電力。
[0167] 在一些實(shí)施方案中，控制可編程性駐留在可定位于電子顯示系統(tǒng)中的若干位置中 的驅(qū)動(dòng)器控制器29中。在一些其它實(shí)施方案中，控制可編程性駐留在陣列驅(qū)動(dòng)器22中?？?在任何數(shù)目個(gè)硬件及/或軟件組件及各種配置中實(shí)施上述優(yōu)化。
[0168] 結(jié)合本文揭示的實(shí)施方案進(jìn)行描述的各種說(shuō)明性邏輯、邏輯塊、模塊、電路及算法 過(guò)程可實(shí)施為電子硬件、計(jì)算機(jī)軟件或兩者的組合。已在功能性方面大體上描述且在上述 各種說(shuō)明性組件、塊、模塊、電路及過(guò)程中說(shuō)明硬件及軟件的可互換性。是否在硬件或軟件 中實(shí)施此功能性取決于特定應(yīng)用及強(qiáng)加于整個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)約束。
[0169] 可使用以下各者實(shí)施或執(zhí)行用以實(shí)施結(jié)合本文揭示的方面進(jìn)行描述的各種說(shuō)明 性邏輯、邏輯塊、模塊及電路的硬件及數(shù)據(jù)處理設(shè)備：通用單芯片或多芯片處理器、數(shù)字信 號(hào)處理器OSP)、專用集成電路（ASIC)、現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列（FPGA)或其它可編程邏輯裝置、 離散門或晶體管邏輯、離散硬件組件或其經(jīng)設(shè)計(jì)以執(zhí)行本文描述的功能的任何組合。通用 處理器可為微處理器或任何常規(guī)處理器、控制器、微控制器或狀態(tài)機(jī)。處理器還可實(shí)施為計(jì) 算裝置的組合，例如，DSP與微處理器的組合、多個(gè)微處理器、結(jié)合DSP核心的一或多個(gè)微處 理器或任何其它此配置。在一些實(shí)施方案中，可通過(guò)專用于給定功能的電路執(zhí)行特定過(guò)程 及方法。
[0170] 在一或多個(gè)方面中，可將所描述的功能實(shí)施于硬件、數(shù)字電子電路、計(jì)算機(jī)軟件、 固件中，包含本說(shuō)明書中揭示的結(jié)構(gòu)及其結(jié)構(gòu)等效物或其任何組合。本說(shuō)明書中描述的標(biāo) 的物的實(shí)施方案還可實(shí)施為在計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)媒體上編碼以通過(guò)數(shù)據(jù)處理設(shè)備執(zhí)行或控制數(shù) 據(jù)處理設(shè)備的操作的一或多個(gè)計(jì)算機(jī)程序（即，計(jì)算機(jī)程序指令的一或多個(gè)模塊）。
[0171] 如果在軟件中實(shí)施，則功能可作為一或多個(gè)指令或代碼存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀媒體上 或經(jīng)由所述計(jì)算機(jī)可讀媒體傳輸。本文揭示的方法或算法的過(guò)程可在可駐留在計(jì)算機(jī)可讀 媒體上的處理器可執(zhí)行軟件模塊中實(shí)施。計(jì)算機(jī)可讀媒體包含計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)媒體及通信媒體 二者，通信媒體包含可經(jīng)啟用以將計(jì)算機(jī)程序從一個(gè)位置傳送到另一位置的任何媒體。存 儲(chǔ)媒體可為可由計(jì)算機(jī)存取的任何可用媒體。舉例來(lái)說(shuō)（且不限于），此計(jì)算機(jī)可讀媒體可 包含RAM、ROM、EEPROM、CD-ROM或其它光盤存儲(chǔ)裝置、磁盤存儲(chǔ)裝置或其它磁性存儲(chǔ)裝置， 或可用以存儲(chǔ)呈指令或數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)形式的所要程序代碼且可由計(jì)算機(jī)存取的任何其它媒體。 再者，任何連接也可被適當(dāng)?shù)胤Q為計(jì)算機(jī)可讀媒體。如本文使用，磁盤及光盤包含壓縮光 盤（CD)、激光光盤、光學(xué)光盤、數(shù)字多功能光盤（DVD)、軟磁盤及藍(lán)光光盤，其中磁盤通常磁 性地重現(xiàn)數(shù)據(jù)而光盤用激光光學(xué)地重現(xiàn)數(shù)據(jù)。上述組合也應(yīng)包含于計(jì)算機(jī)可讀媒體的范圍 內(nèi)。此外，方法或算法的操作可作為代碼與指令的一者或任何組合或集合而駐留在機(jī)器可 讀媒體及計(jì)算機(jī)可讀媒體上，所述機(jī)器可讀媒體及計(jì)算機(jī)可讀媒體可并入到計(jì)算機(jī)程序產(chǎn) 品中。
[0172] 所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可容易明白在本發(fā)明中描述的實(shí)施方案的各種修改，且在不 脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，本文定義的一般原理也可應(yīng)用于其它實(shí)施方案。因此， 權(quán)利要求書不旨在限于本文展示的實(shí)施方案，而是應(yīng)被賦予與本文所揭示的本發(fā)明、原理 及新穎特征一致的最廣范圍。
[0173] 此外，一般所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將容易明白，術(shù)語(yǔ)"上部"及"下部"有時(shí)是為便于 描述圖而使用，且指示對(duì)應(yīng)于適當(dāng)定向頁(yè)面上的圖式定向的相對(duì)位置，且可能不反映如所 實(shí)施的任何裝置的適當(dāng)定向。
[0174] 在本說(shuō)明書中在單獨(dú)實(shí)施方案的上下文中描述的特定特征還可在單一實(shí)施方案 中組合實(shí)施。相反，在單一實(shí)施方案的上下文中描述的各種特征還可在多個(gè)實(shí)施方案中單 獨(dú)實(shí)施或以任何適當(dāng)子組合實(shí)施。此外，雖然上文可將特征描述為以特定組合起作用且即 使最初如此主張，但在一些情況中，來(lái)自所主張的組合的一或多個(gè)特征可從組合中排除，且 所主張的組合可針對(duì)子組合或子組合的變動(dòng)。
[0175] 類似地，雖然在圖式中以特定順序描繪操作，但是這不應(yīng)被理解為要求以所展示 的特定順序或循序順序執(zhí)行此些操作，或執(zhí)行所有所說(shuō)明的操作以實(shí)現(xiàn)所要結(jié)果。進(jìn)一步 來(lái)說(shuō)，圖式可以流程圖的形式示意地描繪一或多個(gè)實(shí)例過(guò)程。然而，未經(jīng)描繪的其它操作 可并入于經(jīng)示意性說(shuō)明的實(shí)例過(guò)程中。例如，可在所說(shuō)明的操作中的任一者之前、之后、同 時(shí)或之間執(zhí)行一或多個(gè)額外操作。在某些境況中，多重任務(wù)處理及并行處理可為有利的。 此外，在上述實(shí)施方案中的各種系統(tǒng)組件的分離不應(yīng)理解為在所有實(shí)施方案中都需要此分 離，且應(yīng)理解，所描述的程序組件及系統(tǒng)通?？梢黄鸺捎趩我卉浖a(chǎn)品中或封裝到多個(gè) 軟件產(chǎn)品中。此外，其它實(shí)施方案在所附權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。在一些情況中，權(quán)利要求書 中敘述的動(dòng)作可以不同順序執(zhí)行且仍實(shí)現(xiàn)所要結(jié)果。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種設(shè)備，其包括： 靜電致動(dòng)器，其包含相對(duì)梁電極，所述相對(duì)梁電極具有法向于其上形成所述相對(duì)梁電 極的襯底的主面，其中所述相對(duì)梁電極中的至少一者的高度界定致動(dòng)器高度；及 機(jī)電系統(tǒng)EMS快門，其經(jīng)配置以由所述靜電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，所述快門包含至少一個(gè)突出 部，所述突出部具有法向于所述快門的主平面的第一側(cè)壁及第二側(cè)壁，其中所述致動(dòng)器的 遠(yuǎn)端相對(duì)于所述襯底延伸超出所述第一側(cè)壁的遠(yuǎn)端。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述致動(dòng)器的致動(dòng)器高度實(shí)質(zhì)上類似于所述第二 側(cè)壁的第二側(cè)壁高度。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述致動(dòng)器的致動(dòng)器高度實(shí)質(zhì)上大于所述第一側(cè) 壁的第一側(cè)壁高度及所述第二側(cè)壁的第二側(cè)壁高度。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述突出部包含平行于所述主平面且鄰近于第一 側(cè)壁的第一遠(yuǎn)端表面以及平行于所述主平面且鄰近于第二側(cè)壁的第二遠(yuǎn)端表面，其中所述 第一側(cè)壁的高度實(shí)質(zhì)上不同于所述第二側(cè)壁的對(duì)應(yīng)高度。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述突出部包含平行于所述主平面的遠(yuǎn)端表面， 其中所述致動(dòng)器具有與所述遠(yuǎn)端表面對(duì)準(zhǔn)的近端。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述主平面與所述致動(dòng)器的所述遠(yuǎn)端對(duì)準(zhǔn)。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述相對(duì)梁電極包含驅(qū)動(dòng)電極及負(fù)載電極，所述 負(fù)載電極具有實(shí)質(zhì)上小于所述驅(qū)動(dòng)電極的高度。8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括： 顯示器； 處理器，其經(jīng)配置以與所述顯示器通信，所述處理器經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)；及 存儲(chǔ)器裝置，其經(jīng)配置以與所述處理器通信。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括： 驅(qū)動(dòng)器電路，其經(jīng)配置以將至少一個(gè)信號(hào)發(fā)送到所述設(shè)備；及 控制器，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動(dòng)器電路。10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括： 圖像源模塊，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器，其中所述圖像源模塊包 含接收器、收發(fā)器及發(fā)射器中的至少一者。11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括： 輸入裝置，其經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。12. -種制造顯示結(jié)構(gòu)的方法，其包括： 在襯底上方沉積第一模具層； 圖案化所述經(jīng)沉積第一模具層； 在所述經(jīng)圖案化第一模具層上方沉積第二模具層； 圖案化所述經(jīng)沉積第二模具層以形成對(duì)應(yīng)于最終將形成錨之處的錨開口； 在所述經(jīng)圖案化第二模具層上方沉積第三模具層； 圖案化所述經(jīng)沉積第三模具層以形成對(duì)應(yīng)于最終將形成所述顯示結(jié)構(gòu)的快門的突出 部之處的突出部開口，且形成對(duì)應(yīng)于最終將形成所述顯示結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器的致動(dòng)器梁之處的 致動(dòng)器開口； 在所述經(jīng)圖案化第三模具層上方沉積導(dǎo)電材料；及 圖案化所述導(dǎo)電材料以形成所述致動(dòng)器及具有所述突出部的所述快門，所述致動(dòng)器具 有實(shí)質(zhì)上不同于所述突出部的側(cè)壁中的一者的高度的高度。13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其進(jìn)一步包括釋放包含所述致動(dòng)器及所述快門的所 述顯示結(jié)構(gòu)。14. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中圖案化所述經(jīng)沉積第三模具層包括形成延伸到 所述第一模具層的頂表面的致動(dòng)器開口。15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中圖案化所述經(jīng)沉積第三模具層包括形成延伸到 所述第二模具層的頂表面的突出部開口。16. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中圖案化所述經(jīng)沉積第三模具層包括形成延伸到 所述第二模具層的頂表面及所述第一模具層的頂表面的突出部開口以使得通過(guò)所述第一 模具層及所述第二模具層二者界定所述開口的底部。17. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中圖案化所述經(jīng)沉積第三模具層包括形成延伸到 所述第二模具層的頂表面的致動(dòng)器開口。18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中圖案化所述經(jīng)沉積第三模具層包括形成延伸到 所述第一模具層的頂表面的突出部開口。
【專利摘要】本發(fā)明提供用于形成具有具備不同于對(duì)應(yīng)致動(dòng)器的高度的快門的顯示結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)、方法及設(shè)備。在一個(gè)方面中，顯示設(shè)備包含靜電致動(dòng)器，所述靜電致動(dòng)器包含相對(duì)梁電極，所述相對(duì)梁電極具有法向于其上形成所述相對(duì)梁電極的襯底的主面。所述相對(duì)梁電極中的至少一者的高度界定致動(dòng)器高度。所述設(shè)備還包含經(jīng)配置以由所述靜電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的快門。所述快門包含至少一個(gè)突出部，所述突出部具有法向于所述快門的主平面的第一側(cè)壁及第二側(cè)壁，其中所述第一側(cè)壁的第一側(cè)壁高度實(shí)質(zhì)上不同于所述致動(dòng)器高度。
【IPC分類】B81B3/00, G02B26/02
【公開號(hào)】CN104995544
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480008270
【發(fā)明人】馬克·B·安德森, 蒂莫西·J·布羅斯尼漢, 賈維爾·維拉利爾, 喬伊·H·吳
【申請(qǐng)人】皮克斯特隆尼斯有限公司
【公開日】2015年10月21日
【申請(qǐng)日】2014年2月11日
【公告號(hào)】US20140225904, WO2014126890A1