1.一種多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng)，其特征在于，包括激光準(zhǔn)直系統(tǒng)、分光系統(tǒng)、成像物鏡系統(tǒng)、同軸點(diǎn)光源照明系統(tǒng)、可調(diào)光闌系統(tǒng)、可調(diào)衰減系統(tǒng)和功率探測(cè)系統(tǒng)；所述激光準(zhǔn)直系統(tǒng)連接與分光系統(tǒng)同軸，所述分光系統(tǒng)與功率探測(cè)系統(tǒng)同軸連接，所述分光系統(tǒng)還與同軸點(diǎn)光源照明系統(tǒng)、可調(diào)光闌系統(tǒng)和可調(diào)衰減系統(tǒng)同軸連接；所述可調(diào)光闌系統(tǒng)與成像物鏡系統(tǒng)同軸連接；所述激光通過(guò)激光準(zhǔn)直系統(tǒng)進(jìn)入分光系統(tǒng)，經(jīng)分光系統(tǒng)將激光全返至可調(diào)光闌系統(tǒng)，通過(guò)聚焦后實(shí)施加工，構(gòu)成激光光路系統(tǒng)；照明光經(jīng)同軸點(diǎn)光源照明系統(tǒng)折返并通過(guò)分光系統(tǒng)后，一路經(jīng)可調(diào)光闌系統(tǒng)至成像物鏡系統(tǒng)反射，另一路通過(guò)分光系統(tǒng)進(jìn)入可調(diào)衰減系統(tǒng)，通過(guò)聚焦后到達(dá)加工面，經(jīng)加工面反射原路返回，構(gòu)成照明光光路系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng)，其特征在于，所述準(zhǔn)直系統(tǒng)上設(shè)有QBH接頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng)，其特征在于，所述準(zhǔn)直系統(tǒng)與分光系統(tǒng)通過(guò)螺紋口相連接，所述分光系統(tǒng)通過(guò)螺紋口連接功率探測(cè)系統(tǒng)；所述分光系統(tǒng)通過(guò)轉(zhuǎn)接法蘭連接同軸點(diǎn)光源照明系統(tǒng)、可調(diào)光闌系統(tǒng)和可調(diào)衰減系統(tǒng)；所述可調(diào)光闌系統(tǒng)通過(guò)轉(zhuǎn)接法蘭與成像物鏡系統(tǒng)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng)，其特征在于，還包括溫度探測(cè)系統(tǒng)，所述溫度探測(cè)系統(tǒng)通過(guò)螺紋口連接分光系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng)，其特征在于，所述可調(diào)衰減系統(tǒng)還與一外部振鏡系統(tǒng)同軸連接，所述振鏡系統(tǒng)與一聚焦系統(tǒng)同軸連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng)，其特征在于，所述激光準(zhǔn)直系統(tǒng)、分光系統(tǒng)、成像物鏡系統(tǒng)、同軸點(diǎn)光源照明系統(tǒng)、可調(diào)光 闌系統(tǒng)、可調(diào)衰減系統(tǒng)、功率探測(cè)系統(tǒng)、振鏡系統(tǒng)、聚焦系統(tǒng)均為同軸設(shè)計(jì)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng)，其特征在于，所述分光系統(tǒng)與激光準(zhǔn)直系統(tǒng)、功率探測(cè)系統(tǒng)、同軸點(diǎn)光源照明系統(tǒng)、可調(diào)光闌系統(tǒng)和可調(diào)衰減系統(tǒng)連接處設(shè)有密封圈，所述可調(diào)光闌系統(tǒng)與成像物鏡系統(tǒng)連接處設(shè)有密封圈。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng)，其特征在于，所述激光光源采用1064nm波長(zhǎng)的光釬激光器的激光，所述照明光源采用紅色點(diǎn)光源。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng)，其特征在于，所述激光準(zhǔn)直系統(tǒng)、同軸點(diǎn)光源照明系統(tǒng)設(shè)于分光系統(tǒng)上方，功率探測(cè)系統(tǒng)設(shè)于分光系統(tǒng)下方，所述可調(diào)光闌系統(tǒng)、成像物鏡系統(tǒng)設(shè)于分光系統(tǒng)一端，所述外部振鏡系統(tǒng)設(shè)于分光系統(tǒng)另一端。