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一種多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12198942閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種多功能集成模塊化的激光光路系統(tǒng),包括激光準(zhǔn)直系統(tǒng)、分光系統(tǒng)、成像物鏡系統(tǒng)、同軸點(diǎn)光源照明系統(tǒng)、可調(diào)光闌系統(tǒng)和功率探測系統(tǒng);所述激光準(zhǔn)直系統(tǒng)連接分光系統(tǒng),所述分光系統(tǒng)連接功率探測系統(tǒng),所述分光系統(tǒng)還轉(zhuǎn)接同軸點(diǎn)光源照明系統(tǒng)、可調(diào)光闌系統(tǒng)和可調(diào)衰減系統(tǒng);所述可調(diào)光闌系統(tǒng)與成像物鏡系統(tǒng)連接;所述激光通過激光準(zhǔn)直系統(tǒng)進(jìn)入分光系統(tǒng),經(jīng)分光系統(tǒng)將激光全返至可調(diào)光闌系統(tǒng),通過聚焦后實(shí)施加工,構(gòu)成激光光路系統(tǒng);照明光經(jīng)同軸點(diǎn)光源照明系統(tǒng)折返并通過分光系統(tǒng)后,一路經(jīng)可調(diào)光闌系統(tǒng)至成像物鏡系統(tǒng)反射,另一路通過分光系統(tǒng)進(jìn)入可調(diào)衰減系統(tǒng),通過聚焦后到達(dá)加工面,經(jīng)加工面反射原路返回,構(gòu)成照明光光路系統(tǒng)。

技術(shù)研發(fā)人員:王建剛;王雪輝;劉劍輝;吳鵬樂
受保護(hù)的技術(shù)使用者:武漢華工激光工程有限責(zé)任公司
文檔號碼:201620907450
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.19
技術(shù)公布日:2017.03.15

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