技術總結
一種基于飛秒激光的菲涅爾波帶片陣列制作方法及其在微納結構加工中的應用。包括利用飛秒激光直接加工菲涅爾波帶片陣列，以及飛秒激光經(jīng)加工好的菲涅爾波帶片陣列聚焦后直接加工微結構。通過該方法我們能制作各種不同排列方式的菲涅爾波帶片陣列，并基于這些波帶片陣列加工與其排列方式相對應的微結構陣列。該方法具有加工效率高、加工方法簡單、靈活性好等特點。

技術研發(fā)人員：涂成厚;蔡孟強;潘岳;戴凡;李勇男;王慧田
受保護的技術使用者：南開大學
文檔號碼：201610720185
技術研發(fā)日：2016.08.25
技術公布日：2017.01.04