本發(fā)明涉及機(jī)械加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置及方法。

背景技術(shù)：

隨著人們對(duì)生存環(huán)境要求的提高，在能源生產(chǎn)利用方面，燃?xì)廨啓C(jī)發(fā)電技術(shù)的應(yīng)用越來(lái)越受到人們的重視。在中國(guó)，西氣東輸工程的實(shí)施以及焦炭行業(yè)的發(fā)展，使得越來(lái)越多的煤氣產(chǎn)出單位迫切需要尋找能源有效利用的新途徑，采用燃?xì)廨啓C(jī)發(fā)電成為焦?fàn)t煤氣應(yīng)用的最佳選擇之一。

為了優(yōu)化復(fù)循環(huán)發(fā)電機(jī)組的能力和效率,渦輪機(jī)入口溫度必須盡可能高。這將提高火焰的溫度，進(jìn)而導(dǎo)致產(chǎn)生的NOx排放物的增長(zhǎng)將超標(biāo)。因此設(shè)計(jì)者不得不尋找燃燒室和渦輪機(jī)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，這些特點(diǎn)使之保留冷卻空氣以作為助燃空氣。這對(duì)較高溫度和較少冷卻空氣的需求的結(jié)合在復(fù)雜周期或蒸汽冷卻里引入了其它的概念。

傳統(tǒng)的葉片鉆孔方法是使用機(jī)械刀頭或電火花加工，機(jī)械刀頭鉆孔這種方法容易造成材料基底損傷，裂紋也較大，效率較慢，刀頭非常貴且易磨損，需定期更換；電火花加工，雖比機(jī)械刀頭鉆孔精度高些，但是在實(shí)際加工中會(huì)對(duì)葉片表面特意濺射的陶瓷材料產(chǎn)生破壞，導(dǎo)致廢片，縮短葉片的使用壽命。而且這些鉆孔工序往往伴隨著切割輔助劑，液態(tài)輔助劑的黏附問(wèn)題，使得切割切面比較粗糙，存在微細(xì)的裂紋和局部應(yīng)力。切割后還必須進(jìn)行清洗、拋光等后處理。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置，克服傳統(tǒng)的葉片鉆孔方法對(duì)葉片造成損壞的缺陷。

為此目的，本發(fā)明提出了一種燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置，包括：控制系統(tǒng)、紅外探測(cè)系統(tǒng)和鉆孔系統(tǒng)；所述鉆孔系統(tǒng)包括：用于發(fā)射紅外脈沖激光的紅外激光器以及依次設(shè)置的聚焦鏡、振鏡和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡；所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的聚焦鏡、振鏡和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡后聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面；

所述紅外探測(cè)系統(tǒng)用于在所述控制系統(tǒng)的控制下，對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓進(jìn)行掃描；

所述控制系統(tǒng)用于根據(jù)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓，控制所述振鏡的偏轉(zhuǎn)角以及控制所述振鏡和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡在豎直方向上移動(dòng)，以調(diào)整聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的焦點(diǎn)的位置，對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的指定位置進(jìn)行鉆孔。

優(yōu)選的，所述聚焦鏡繞其所在的光軸旋轉(zhuǎn)，經(jīng)過(guò)所述聚焦鏡出射的所述紅外脈沖激光繞所述光軸旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選的，所述鉆孔系統(tǒng)還包括：與所述紅外激光器的輸出端銜接的光閘、與所述光閘的輸出端銜接的擴(kuò)束鏡、與所述擴(kuò)束鏡的輸出端銜接的反射鏡；

所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的所述光閘、擴(kuò)束鏡、反射鏡后進(jìn)入所述聚焦鏡。

優(yōu)選的，該裝置還包括：樣品固定平臺(tái)、分別設(shè)置在所述樣品固定平臺(tái)兩側(cè)的吹氣系統(tǒng)和集塵系統(tǒng)；

所述吹氣系統(tǒng)用于吹出氣體；所述集塵系統(tǒng)與所述吹氣系統(tǒng)相配合，用于收集所述吹氣系統(tǒng)吹出的經(jīng)過(guò)所述樣品固定臺(tái)的氣體。

優(yōu)選的，所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片的表面涂有保護(hù)膠，所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片的內(nèi)部填充有特氟隆材料。

另一方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種采用上述任意一種所述的燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片進(jìn)行激光鉆孔的方法，該方法包括：

控制紅外探測(cè)系統(tǒng)對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓進(jìn)行掃描；

控制紅外激光器發(fā)射紅外脈沖激光；其中，所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的聚焦鏡、振鏡和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡后聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面；

根據(jù)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓，控制振鏡的偏轉(zhuǎn)角以及控制所述振鏡和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡在豎直方向上移動(dòng)，以調(diào)整聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的焦點(diǎn)的位置，對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的指定位置進(jìn)行鉆孔。

優(yōu)選的，所述聚焦鏡繞其所在的光軸旋轉(zhuǎn)，經(jīng)過(guò)所述聚焦鏡出射的所述紅外脈沖激光繞所述光軸旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選的，所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的光閘、擴(kuò)束鏡、反射鏡后進(jìn)入所述聚焦鏡。

優(yōu)選的，在對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的指定位置進(jìn)行鉆孔的同時(shí)，還包括：

通過(guò)設(shè)置在樣品固定平臺(tái)一側(cè)的吹氣系統(tǒng)吹出氣體；

通過(guò)設(shè)置在所述樣品固定平臺(tái)另一側(cè)的與所述吹氣系統(tǒng)相配合集塵系統(tǒng)，收集所述吹氣系統(tǒng)吹出的經(jīng)過(guò)所述樣品固定臺(tái)的氣體。

優(yōu)選的，在對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓進(jìn)行掃描之前，還包括：

在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片的表面涂覆保護(hù)層，并在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片的內(nèi)部填充特氟隆材料。

本發(fā)明實(shí)施例提供的燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置和方法，通過(guò)高功率的紅外激光器發(fā)射紅外脈沖激光，并借助于紅外探測(cè)系統(tǒng)對(duì)葉片表面區(qū)域進(jìn)行掃描并反饋到控制系統(tǒng)，由控制系統(tǒng)根據(jù)掃描結(jié)果控制振鏡的位置，從而調(diào)整焦點(diǎn)的位置，以使得所加工的葉片表面都在高功率的紅外激光焦點(diǎn)上，使得葉片表面孔型尺寸和孔位置精確控制，以達(dá)到鉆孔孔壁面較為光滑，鉆孔后葉片強(qiáng)度保持較高，孔型尺寸和位置保持較高水準(zhǔn)的加工效果。

附圖說(shuō)明

通過(guò)參考附圖會(huì)更加清楚的理解本發(fā)明的特征和優(yōu)點(diǎn)，附圖是示意性的而不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明進(jìn)行任何限制，在附圖中：

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供了一種燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供了一種燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔方法的流程示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。

需要說(shuō)明的是，傳統(tǒng)的燃?xì)廨啓C(jī)葉片鉆孔采用機(jī)械刀頭和電火花加工，會(huì)對(duì)加工材料的基底造成損傷或者對(duì)葉片表面的陶瓷材料造成破壞，導(dǎo)致廢片或者縮短葉片的使用壽命，在鉆孔后還需進(jìn)行清洗拋光等處理工序。本發(fā)明實(shí)施例采用激光鉆孔可以避免這些問(wèn)題的出現(xiàn)，而且激光具有非接觸、不污染環(huán)境、易控制等特性。首先，燃?xì)廨啓C(jī)葉片是含鎳基的耐高溫的金屬材料，強(qiáng)度和硬度較高，傳統(tǒng)的機(jī)械加工和電火花加工并不適宜加工。其次，激光作為一種新穎的加工方法，對(duì)材料的適用性比較強(qiáng)，適合不同曲面的葉片表面加工；而高功率的脈沖激光所產(chǎn)生瞬時(shí)峰值功率極強(qiáng)，能瞬間將葉片表面基體材料去除，而對(duì)基底材料傷害較小。所以本發(fā)明實(shí)施例采用紅外激光器作為激光源進(jìn)行葉片鉆孔，借助于外部光學(xué)系統(tǒng)，在獨(dú)特的聚焦裝置下，來(lái)實(shí)現(xiàn)一種新穎的激光對(duì)葉片表面鉆孔的手段。

如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置，該裝置包括：控制系統(tǒng)、紅外探測(cè)系統(tǒng)8和鉆孔系統(tǒng)；所述鉆孔系統(tǒng)包括：用于發(fā)射紅外脈沖激光的紅外激光器1以及依次設(shè)置的聚焦鏡5、振鏡6和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7；所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的聚焦鏡5、振鏡6和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7后聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面；

所述紅外探測(cè)系統(tǒng)8用于在所述控制系統(tǒng)的控制下，對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓進(jìn)行掃描；

所述控制系統(tǒng)用于根據(jù)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓，控制所述振鏡6的偏轉(zhuǎn)角以及控制所述振鏡6和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7在豎直方向上移動(dòng)，以調(diào)整聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的焦點(diǎn)的位置，對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的指定位置進(jìn)行鉆孔。

需要說(shuō)明的是，燃?xì)廨啓C(jī)葉片是對(duì)紅外吸收率較高的含鎳基的耐高溫的高硬質(zhì)的金屬材料，耐高溫鎳基金屬類(lèi)材料強(qiáng)烈吸收波長(zhǎng)1064nm的紅外脈沖激光，所以本發(fā)明實(shí)施例可以采用吸收率較高的波長(zhǎng)為1064nm的紅外脈沖激光器，從而幾乎所有的激光能量都能將燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面所吸收。同時(shí)，激光焦點(diǎn)能夠相對(duì)于所加工燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面孔型高速上下移動(dòng)且光束能高速旋轉(zhuǎn)，激光焦點(diǎn)會(huì)形成所需要的鉆孔切割線，將會(huì)使得激光焦點(diǎn)沿著固定的切割道向下進(jìn)階，直至最終完成燃?xì)廨啓C(jī)葉片的打孔。激光光軸再移動(dòng)至下一葉片孔型方向，如此反復(fù)完成葉片表面孔型的加工。

具體的，待加工的燃?xì)廨啓C(jī)葉片固定的樣品固定平臺(tái)上，并借助于紅外探測(cè)系統(tǒng)8對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面區(qū)域進(jìn)行掃描并將掃描結(jié)果反饋到控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)控制紅外激光器1發(fā)射紅外脈沖激光，并根據(jù)掃描得到的燃?xì)廨啓C(jī)表面的輪廓形狀，通過(guò)控制振鏡6電機(jī)驅(qū)動(dòng)振鏡6發(fā)生偏轉(zhuǎn)，振鏡6包括X軸振鏡6和Y軸振鏡6，通過(guò)改變X軸振鏡6和Y軸振鏡6的偏轉(zhuǎn)角，均可以改變經(jīng)過(guò)遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7后聚焦在燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的焦點(diǎn)的位置，通過(guò)控制振鏡6和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7在Z軸方向上下移動(dòng)，從而可以使焦點(diǎn)上下移動(dòng)，以保證所加工的葉片表面都在高功率的紅外激光焦點(diǎn)上，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高能量的紅外脈沖激光對(duì)葉片的精確鉆孔。其中，紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)聚焦鏡5聚焦后，形成圓形光斑，在經(jīng)過(guò)振鏡6和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7后，使光路在葉片上聚焦成更小的光斑，從而使能量更高、密度更高的激光聚焦到所需加工區(qū)域。

本發(fā)明實(shí)施例提供的燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置，通過(guò)高功率的紅外激光器發(fā)射紅外脈沖激光，并借助于紅外探測(cè)系統(tǒng)對(duì)葉片表面區(qū)域進(jìn)行掃描并反饋到控制系統(tǒng)，由控制系統(tǒng)根據(jù)掃描結(jié)果控制振鏡的位置，從而調(diào)整焦點(diǎn)的位置，以使得所加工的葉片表面都在高功率的紅外激光焦點(diǎn)上，使得葉片表面孔型尺寸和孔位置精確控制，以達(dá)到鉆孔孔壁面較為光滑，鉆孔后葉片強(qiáng)度保持較高，孔型尺寸和位置保持較高水準(zhǔn)的加工效果。

在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，所述聚焦鏡5繞其所在的光軸旋轉(zhuǎn)，經(jīng)過(guò)所述聚焦鏡5出射的所述紅外脈沖激光繞所述光軸旋轉(zhuǎn)，從而使光束高速旋轉(zhuǎn)，形成所需要的鉆孔切割線。進(jìn)一步的，所述鉆孔系統(tǒng)還包括：與所述紅外激光器1的輸出端銜接的光閘2、與所述光閘2的輸出端銜接的擴(kuò)束鏡3、與所述擴(kuò)束鏡3的輸出端銜接的反射鏡4；所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的所述光閘2、擴(kuò)束鏡3、反射鏡4后進(jìn)入所述聚焦鏡5。

光路傳輸中光閘2起到激光通斷的外部控制，不處于加工狀態(tài)時(shí)可對(duì)激光進(jìn)行阻攔，也起到一定的保護(hù)作用，防止操作人員受到意外傷害。擴(kuò)束鏡3的放大倍率從5～10倍可調(diào)，其作用是將激光光束的直徑擴(kuò)大到之前的5-10倍并進(jìn)行準(zhǔn)直，使出射光束的平行度更佳，有利于將光束在后續(xù)的系統(tǒng)中進(jìn)行聚焦。該反射鏡4為45°全反射鏡，反射鏡4主要起到光路偏轉(zhuǎn)的作用，反射鏡4與擴(kuò)束鏡3之間的距離沒(méi)有特定的限制，但是其位置在機(jī)械設(shè)計(jì)時(shí)鏡片的中心盡量保持水平一致或是垂直一致(圖1中光路轉(zhuǎn)角為直角，實(shí)現(xiàn)垂直改向)，以方便光路的調(diào)節(jié)，光路垂直改向后到達(dá)聚焦鏡5，由聚焦鏡5進(jìn)行聚焦，形成圓形光斑，然后通過(guò)振鏡6到達(dá)遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7，使得光路在葉片上聚焦成更小的光斑，使能量更加集中，更加利用鉆孔尺寸和位置的控制。

在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本發(fā)明實(shí)施例提供的燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置還包括：樣品固定平臺(tái)、分別設(shè)置在所述樣品固定平臺(tái)兩側(cè)的吹氣系統(tǒng)9和集塵系統(tǒng)10；所述吹氣系統(tǒng)9用于吹出氣體；所述集塵系統(tǒng)10與所述吹氣系統(tǒng)9相配合，用于收集所述吹氣系統(tǒng)9吹出的經(jīng)過(guò)所述樣品固定臺(tái)11的氣體。

需要說(shuō)明的是，吹氣系統(tǒng)9位于樣品固定臺(tái)11的一側(cè)，為了利于鉆孔，可以通過(guò)吹氣系統(tǒng)9吹氣來(lái)帶走葉片加工過(guò)程中的粉塵和殘?jiān)?，同時(shí)可以在樣品固定臺(tái)11的另一側(cè)設(shè)置集塵系統(tǒng)10，來(lái)接收吹氣系統(tǒng)9吹出的經(jīng)過(guò)所述樣品固定臺(tái)11的氣體，從而收集粉塵和殘?jiān)?/p>

其中，為了提高激光鉆孔葉片的工藝重復(fù)性和穩(wěn)定性，待鉆孔的燃?xì)廨啓C(jī)葉片的表面涂有保護(hù)膠，燃?xì)廨啓C(jī)葉片的內(nèi)部填充有特氟隆材料。具體的，在鉆孔前，將燃?xì)廨啓C(jī)葉片清洗干凈，并涂上一層保護(hù)膠，在間隔1小時(shí)后，再涂上一層保護(hù)膠，待保護(hù)膠穩(wěn)定固化后，在葉片內(nèi)填充特氟隆材料以保護(hù)內(nèi)腔，之后將葉片固定在樣品固定臺(tái)11的特定夾具上進(jìn)行后續(xù)的鉆孔工序。在鉆孔后可以采用特定量具如針規(guī)作相應(yīng)孔型測(cè)驗(yàn)，保證每個(gè)孔徑大小符合設(shè)計(jì)要求，并且可以對(duì)鉆孔后的燃?xì)廨啓C(jī)葉片做氣流檢測(cè)以驗(yàn)證氣流通過(guò)并進(jìn)行熱成像檢測(cè)以保證孔徑邊緣裂紋最小，提高燃?xì)廨啓C(jī)葉片的質(zhì)量。

另一方面，如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種采用上述的燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片進(jìn)行激光鉆孔的方法，該方法包括以下步驟：

S1：控制紅外探測(cè)系統(tǒng)8對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓進(jìn)行掃描；

S2：控制紅外激光器1發(fā)射紅外脈沖激光；其中，所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的聚焦鏡5、振鏡6和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7后聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面；

S3：根據(jù)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓，控制振鏡6的偏轉(zhuǎn)角以及控制所述振鏡6和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7在豎直方向上移動(dòng)，以調(diào)整聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的焦點(diǎn)的位置，對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的指定位置進(jìn)行鉆孔。

需要說(shuō)明的是，上述步驟S1-S3以控制系統(tǒng)為執(zhí)行主體，具體的，待加工的燃?xì)廨啓C(jī)葉片固定的樣品固定平臺(tái)上，并借助于紅外探測(cè)系統(tǒng)8對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面區(qū)域進(jìn)行掃描并將掃描結(jié)果反饋到控制系統(tǒng)。控制系統(tǒng)控制紅外激光器1發(fā)射紅外脈沖激光，并根據(jù)掃描得到的燃?xì)廨啓C(jī)表面的輪廓形狀，通過(guò)控制振鏡電機(jī)驅(qū)動(dòng)振鏡6發(fā)生偏轉(zhuǎn)，振鏡6包括X軸振鏡和Y軸振鏡，通過(guò)改變X軸振鏡和Y軸振鏡的偏轉(zhuǎn)角，均可以改變經(jīng)過(guò)遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7后聚焦在燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的焦點(diǎn)的位置，通過(guò)控制振鏡6和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7在Z軸方向上下移動(dòng)，從而可以使焦點(diǎn)上下移動(dòng)，以保證所加工的葉片表面都在高功率的紅外激光焦點(diǎn)上，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高能量的紅外脈沖激光對(duì)葉片的精確鉆孔。其中，紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)聚焦鏡5聚焦后，形成圓形光斑，在經(jīng)過(guò)振鏡6和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡7后，使光路在葉片上聚焦成更小的光斑，從而使能量更高、密度更高的激光聚焦到所需加工區(qū)域。

本發(fā)明實(shí)施例提供的燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔方法，通過(guò)高功率的紅外激光器發(fā)射紅外脈沖激光，并借助于紅外探測(cè)系統(tǒng)對(duì)葉片表面區(qū)域進(jìn)行掃描并反饋到控制系統(tǒng)，由控制系統(tǒng)根據(jù)掃描結(jié)果控制振鏡的位置，從而調(diào)整焦點(diǎn)的位置，以使得所加工的葉片表面都在高功率的紅外激光焦點(diǎn)上，使得葉片表面孔型尺寸和孔位置精確控制，以達(dá)到鉆孔孔壁面較為光滑，鉆孔后葉片強(qiáng)度保持較高，孔型尺寸和位置保持較高水準(zhǔn)的加工效果。

在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，所述聚焦鏡5繞其所在的光軸旋轉(zhuǎn)，經(jīng)過(guò)所述聚焦鏡5出射的所述紅外脈沖激光繞所述光軸旋轉(zhuǎn)。

在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的光閘2、擴(kuò)束鏡3、反射鏡4后進(jìn)入所述聚焦鏡5。

其中較優(yōu)的，為了去除加工過(guò)程中的粉塵和殘?jiān)?，在?duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的指定位置進(jìn)行鉆孔的同時(shí)，還包括：

通過(guò)設(shè)置在樣品固定平臺(tái)一側(cè)的吹氣系統(tǒng)9吹出氣體；

通過(guò)設(shè)置在所述樣品固定平臺(tái)另一側(cè)的與所述吹氣系統(tǒng)9相配合集塵系統(tǒng)10，收集所述吹氣系統(tǒng)9吹出的經(jīng)過(guò)所述樣品固定臺(tái)11的氣體。

其中較優(yōu)的，為了對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片進(jìn)行保護(hù)，在對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓進(jìn)行掃描之前，還包括：

在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片的表面涂覆保護(hù)層，并在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片的內(nèi)部填充特氟隆材料。

雖然結(jié)合附圖描述了本發(fā)明的實(shí)施方式，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下做出各種修改和變型，這樣的修改和變型均落入由所附權(quán)利要求所限定的范圍之內(nèi)。