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一種燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置及方法與流程

文檔序號(hào):11119073閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置,其特征在于,包括:控制系統(tǒng)、紅外探測(cè)系統(tǒng)和鉆孔系統(tǒng);所述鉆孔系統(tǒng)包括:用于發(fā)射紅外脈沖激光的紅外激光器以及依次設(shè)置的聚焦鏡、振鏡和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡;所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的聚焦鏡、振鏡和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡后聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面;

所述紅外探測(cè)系統(tǒng)用于在所述控制系統(tǒng)的控制下,對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓進(jìn)行掃描;

所述控制系統(tǒng)用于根據(jù)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓,控制所述振鏡的偏轉(zhuǎn)角以及控制所述振鏡和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡在豎直方向上移動(dòng),以調(diào)整聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的焦點(diǎn)的位置,對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的指定位置進(jìn)行鉆孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述聚焦鏡繞其所在的光軸旋轉(zhuǎn),經(jīng)過(guò)所述聚焦鏡出射的所述紅外脈沖激光繞所述光軸旋轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述鉆孔系統(tǒng)還包括:與所述紅外激光器的輸出端銜接的光閘、與所述光閘的輸出端銜接的擴(kuò)束鏡、與所述擴(kuò)束鏡的輸出端銜接的反射鏡;

所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的所述光閘、擴(kuò)束鏡、反射鏡后進(jìn)入所述聚焦鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,還包括:樣品固定平臺(tái)、分別設(shè)置在所述樣品固定平臺(tái)兩側(cè)的吹氣系統(tǒng)和集塵系統(tǒng);

所述吹氣系統(tǒng)用于吹出氣體;所述集塵系統(tǒng)與所述吹氣系統(tǒng)相配合,用于收集所述吹氣系統(tǒng)吹出的經(jīng)過(guò)所述樣品固定臺(tái)的氣體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片的表面涂有保護(hù)膠,所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片的內(nèi)部填充有特氟隆材料。

6.一種采用權(quán)利要求1-5任意一項(xiàng)所述的燃?xì)廨啓C(jī)葉片的激光鉆孔裝置對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片進(jìn)行激光鉆孔的方法,其特征在于,包括:

控制紅外探測(cè)系統(tǒng)對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓進(jìn)行掃描;

控制紅外激光器發(fā)射紅外脈沖激光;其中,所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的聚焦鏡、振鏡和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡后聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面;

根據(jù)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓,控制振鏡的偏轉(zhuǎn)角以及控制所述振鏡和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡在豎直方向上移動(dòng),以調(diào)整聚焦在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的焦點(diǎn)的位置,對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的指定位置進(jìn)行鉆孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于,所述聚焦鏡繞其所在的光軸旋轉(zhuǎn),經(jīng)過(guò)所述聚焦鏡出射的所述紅外脈沖激光繞所述光軸旋轉(zhuǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于,所述紅外脈沖激光經(jīng)過(guò)依次設(shè)置的光閘、擴(kuò)束鏡、反射鏡后進(jìn)入所述聚焦鏡。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于,在對(duì)所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的指定位置進(jìn)行鉆孔的同時(shí),還包括:

通過(guò)設(shè)置在樣品固定平臺(tái)一側(cè)的吹氣系統(tǒng)吹出氣體;

通過(guò)設(shè)置在所述樣品固定平臺(tái)另一側(cè)的與所述吹氣系統(tǒng)相配合集塵系統(tǒng),收集所述吹氣系統(tǒng)吹出的經(jīng)過(guò)所述樣品固定臺(tái)的氣體。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于,在對(duì)燃?xì)廨啓C(jī)葉片表面的輪廓進(jìn)行掃描之前,還包括:

在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片的表面涂覆保護(hù)層,并在所述燃?xì)廨啓C(jī)葉片的內(nèi)部填充特氟隆材料。

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