本實(shí)用新型屬于金屬材料加工和微電子材料制造領(lǐng)域，具體涉及一種球面靶材模壓微調(diào)裝置。

背景技術(shù)：

目前濺射靶材在電子、信息、耐磨、耐蝕及裝飾等領(lǐng)域的應(yīng)用十分廣泛。以鎳鉑合金靶材為代表的金屬靶材的特點(diǎn)為材料硬度低、延展性強(qiáng)、厚度薄，形狀尺寸變化大。一般采用模壓成形的方法制備表面為球形弧度的鎳鉑合金靶材，模壓加工后靶材表面弧度不允許存在任何偏差，但是需要數(shù)次模壓的靶材一旦出現(xiàn)第一次模壓未成形，后續(xù)需多次修改模具方能成形，影響工作效率同時(shí)大大降低了模具壽命。為解決上述問題，急需開發(fā)一種裝置，對模壓未成形的球面靶材進(jìn)行弧度微調(diào)，使靶材形狀尺寸達(dá)到設(shè)定的要求，減少模壓次數(shù)和模具修改次數(shù)，提高效率節(jié)約成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是針對模壓未成形的球面靶材需要多次模壓的技術(shù)問題，提供一種球面靶材模壓微調(diào)裝置，

其特征在于，所述球面靶材模壓微調(diào)裝置，由上壓塊、下壓塊、固定工裝和橫梁組成，其特征在于，上壓塊背面裝有螺紋桿，螺紋桿通過橫梁上的螺孔與橫梁相連，上壓塊和下壓塊均為弧面。

所述上壓塊與下壓塊的弧度相同。

用于微調(diào)球模壓過量的球面靶材時(shí)，所述的上壓塊正面是凹形弧面，下壓塊正面是凸形弧面。

用于微調(diào)模壓不足的球面靶材時(shí)，所述的上壓塊正面是凸形弧面，下壓塊正面是凹形弧面。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

1、減少了模具修改次數(shù)，模具被車除的量少，模具幾乎可無限期使用，成本大為降低；

2、避免了靶材多次重復(fù)模壓，直接采用本裝置一次性調(diào)整至最終尺寸，生產(chǎn)效率大幅提高，操作簡單；

3、上壓塊通過螺桿的旋轉(zhuǎn)向固定工裝上的靶材施加壓力，可以設(shè)置任意壓下量，能夠微調(diào)球面半徑偏差小于2mm的球面靶材。

附圖說明

圖1為微調(diào)球模壓過量的球面靶材的模壓微調(diào)裝置剖面示意圖；

圖2為微調(diào)球模壓不足的球面靶材的模壓微調(diào)裝置剖面示意圖；

圖3為球面靶材模壓微調(diào)裝置微調(diào)模壓不足的球面靶材的原理示意圖；

圖4為球面靶材模壓微調(diào)裝置微調(diào)模壓過量的球面靶材的原理示意圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型提供了一種球面靶材模壓微調(diào)裝置，下面通過附圖和具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。

圖1所示為本實(shí)用新型用于微調(diào)球模壓過量的球面靶材模壓微調(diào)裝置，由橫梁1、上壓塊2、下壓塊3和固定工裝4組成，上壓塊2背面裝有螺紋桿，螺紋桿通過橫梁上的螺孔與橫梁1相連，其中，上壓塊2的正面是凸形弧面，下壓塊3正面是凹形弧面。

圖2所示為本實(shí)用新型用于微調(diào)球模壓不足的球面靶材模壓微調(diào)裝置，由橫梁1、上壓塊2、下壓塊3和固定工裝4組成，上壓塊)背面裝有螺紋桿，螺紋桿通過橫梁上的螺孔與橫梁1相連，其中，上壓塊2的正面是凹形弧面，下壓塊3正面是凸形弧面。

實(shí)施例1

微調(diào)RMX12型8寸鎳釩靶，該靶標(biāo)準(zhǔn)直徑為290～300mm，球面半徑為2250～2280mm，模壓未成形的靶材未采取弧面微調(diào)時(shí)，靶面弧度大于標(biāo)尺，弧面半徑比標(biāo)準(zhǔn)半徑小0.1～0.2mm。使用常規(guī)工藝調(diào)整，需要對模具表面進(jìn)行車削，并在420℃對靶材保溫15-20min，后進(jìn)行熱壓調(diào)整，增加模具球面半徑，以上步驟重復(fù)7-8次直至弧面尺寸滿足要求，加工流程耗時(shí)約5小時(shí)；使用本實(shí)用新型的球面靶材模壓微調(diào)裝置(圖1)微調(diào)靶材5弧面，耗時(shí)30分鐘就能獲得達(dá)到使用要求的靶材球面，圖3為該實(shí)施例的原理示意圖。

實(shí)施例2

微調(diào)RMX10型鎳鉑靶，該靶標(biāo)準(zhǔn)直徑為250～260mm，球面半徑為1650～1700mm。模壓未成形的靶材未采取弧面微調(diào)時(shí)，靶面弧度大于標(biāo)尺，弧面半徑比標(biāo)準(zhǔn)半徑小0.8～1.0mm。使用原工藝需要對模具表面進(jìn)行車削，增大模具球面半徑，然后重新壓制和熱處理，耗時(shí)約4小時(shí)；使用本新型的球面靶材模壓微調(diào)裝置(圖1)微調(diào)靶材弧面，約20分鐘就能獲得達(dá)到使用要求的靶材球面。

實(shí)施例3

微調(diào)RMA12型8寸鎳鉑靶，該靶標(biāo)準(zhǔn)直徑為290～300mm，球面半徑為2270～2300mm，模壓未成形的靶材未采取弧面微調(diào)時(shí)，靶面弧度小于標(biāo)尺，弧面半徑比標(biāo)準(zhǔn)半徑大0.8～1.0mm。使用原工藝需要對模具表面進(jìn)行車削，降低模具球面半徑，然后重新壓制和熱處理，耗時(shí)約7小時(shí)；使用本新型球面靶材模壓微調(diào)裝置(圖2)微調(diào)靶材5弧面，約40分鐘就能獲得達(dá)到使用要求的靶材球面，圖4為該實(shí)施例的原理示意圖。