技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了屬于金屬材料加工和微電子材料制造領(lǐng)域的一種球面靶材的模壓微調(diào)裝置。該裝置由上壓塊、下壓塊、固定工裝和橫梁組成，上壓塊背面裝有螺紋桿，螺紋桿通過橫梁上的螺孔與橫梁相連，所述上壓塊與下壓塊均為弧面且弧度相同。使用該模壓微調(diào)裝置減少了模具修改次數(shù)和模具被車除量，生產(chǎn)成本大為降低；避免了靶材多次重復(fù)模壓，操作簡單，生產(chǎn)效率大幅提高。

技術(shù)研發(fā)人員：胡偉;于學(xué)國;曾浩;徐國進(jìn);劉志杰;陳明;張洋洋;王越
受保護(hù)的技術(shù)使用者：有研億金新材料有限公司
文檔號碼：201621169448
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.02
技術(shù)公布日：2017.07.04