背景技術(shù)：
：為滿足氣相沉積膜設(shè)備在沉積時的反應(yīng)要求，在沉積過程中需要向腔室內(nèi)導(dǎo)入高能量加速反應(yīng)，將電能轉(zhuǎn)化后導(dǎo)入腔室，提高腔室內(nèi)部能量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
：針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)，包括能量輸出裝置，金屬導(dǎo)通桿，極板和腔室。能量輸出裝置通過金屬導(dǎo)通桿與極板連接，極板設(shè)置在腔室的上端。

優(yōu)選的，所述的金屬導(dǎo)通桿可以為板狀折彎的、條狀折彎的、板狀的或柱狀的等形狀。

優(yōu)選的，所述的極板和腔室可以為圓形或方形等形狀。

本發(fā)明可以根據(jù)能量輸入系統(tǒng)的安裝布局使用不同形狀的金屬導(dǎo)通桿，確保整個系統(tǒng)能量的正常導(dǎo)入。金屬導(dǎo)通桿與極板在極板中心一定范圍內(nèi)進(jìn)行連接，保證能量導(dǎo)入極板的均勻性。

附圖說明：

圖1是本發(fā)明實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是實(shí)施例1中金屬導(dǎo)通桿的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本發(fā)明實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是實(shí)施例3中金屬導(dǎo)通桿的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本發(fā)明實(shí)施例4的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是實(shí)施例4中金屬導(dǎo)通桿的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是是本發(fā)明實(shí)施例5的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖9是實(shí)施例5中金屬導(dǎo)通桿的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式：

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

金屬導(dǎo)通桿根據(jù)能量輸入系統(tǒng)的安裝布局，可以制作成板狀、條狀、柱狀及各形狀反復(fù)折若干個彎的結(jié)構(gòu)。金屬導(dǎo)通桿與極板在極板中心及距離極板中心一定范圍內(nèi)的進(jìn)行連接，將能量導(dǎo)通至極板然后輸入到腔室內(nèi)部。

實(shí)施例1

如圖1和圖2所示：氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)，包括能量輸出裝置1，金屬導(dǎo)通桿2，極板3和腔室4。能量輸出裝置1通過金屬導(dǎo)通桿2與極板3連接，極板設(shè)3置在腔室4的上端。所述的金屬導(dǎo)通桿2為板狀折彎形狀的。所述的極板3和腔室4為圓形的。

實(shí)施例2

如圖3所示：其結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1類似，只是極板和腔室為方形的。

實(shí)施例3

如圖4和圖5所示：其結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1類似，只是金屬導(dǎo)通桿為條狀折彎形狀的。

實(shí)施例4

如圖6和圖7所示：其結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1類似，只是金屬導(dǎo)通桿為板狀結(jié)構(gòu)。

實(shí)施例5

如圖8和圖9所示：其結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1類似，只是金屬導(dǎo)通桿為柱狀結(jié)構(gòu)。