技術(shù)總結(jié)
氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)，包括能量輸出裝置，金屬導(dǎo)通桿，極板和腔室。能量輸出裝置通過金屬導(dǎo)通桿與極板連接，極板設(shè)置在腔室的上端。本發(fā)明可以根據(jù)能量輸入系統(tǒng)的安裝布局使用不同形狀的金屬導(dǎo)通桿，確保整個系統(tǒng)能量的正常導(dǎo)入。金屬導(dǎo)通桿與極板在極板中心一定范圍內(nèi)進(jìn)行連接，保證能量導(dǎo)入極板的均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：王燚;劉億軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：沈陽拓荊科技有限公司
文檔號碼：201510266506
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.21
技術(shù)公布日：2017.01.04