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真空蒸鍍方法與流程

文檔序號:11900405閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種真空蒸鍍方法,包括以下步驟:

提供蒸發(fā)源及待鍍基底,該蒸發(fā)源包括蒸發(fā)材料及碳納米管膜結(jié)構(gòu),該碳納米管膜結(jié)構(gòu)為一載體,該蒸發(fā)材料設置在該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面,通過該碳納米管膜結(jié)構(gòu)承載;

將該蒸發(fā)源與待鍍基底相對且間隔設置在真空室中并抽真空;以及

通過一電磁波信號輸入裝置向該碳納米管膜結(jié)構(gòu)中輸入電磁波信號,使該蒸發(fā)材料氣化,在該待鍍基底的待鍍表面形成蒸鍍層。

2.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該蒸發(fā)源的制備方法包括以下步驟:

提供碳納米管膜結(jié)構(gòu);以及

在該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面通過溶液法、沉積法、蒸鍍、電鍍或化學鍍的方法擔載該蒸發(fā)材料。

3.如權(quán)利要求2所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該蒸發(fā)材料通過溶液法擔載在該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面,具體包括以下步驟:

將該蒸發(fā)材料溶于或均勻分散于一溶劑中,形成一溶液或分散液;

將該溶液或分散液均勻附著于該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面;以及

將附著在該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面的溶液或分散液中的溶劑蒸干,從而將該蒸發(fā)材料均勻的附著在該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面。

4.如權(quán)利要求3所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該蒸發(fā)材料包括多種材料,該多種材料在溶劑中按預定比例預先混合均勻,形成該溶液或分散液。

5.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該電磁波信號的平均功率密度在100mW/mm2~20W/mm2范圍內(nèi)。

6.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該碳納米管膜結(jié)構(gòu)在支撐結(jié)構(gòu)之間懸空設置,該蒸發(fā)材料設置在懸空的碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面。

7.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該碳納米管膜結(jié)構(gòu)的單位面積熱容小于2×10-4焦耳每平方厘米開爾文,比表面積大于200平方米每克。

8.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該碳納米管膜結(jié)構(gòu)包括一個或相互層疊的多個碳納米管膜,該碳納米管膜包括多個通過范德華力首尾相連的碳納米管。

9.如權(quán)利要求8所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該碳納米管膜中的碳納米管基本平行于該碳納米管膜表面,并沿同一方向延伸。

10.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該蒸發(fā)源的厚度小于或等于100微米。

11.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該待鍍基底與該蒸發(fā)源的碳納米管膜結(jié)構(gòu)等間隔設置,間距為1微米~10毫米。

12.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該電磁波信號輸入裝置設置在該真空室中,并與該碳納米管膜結(jié)構(gòu)相對且間隔設置。

13.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,該電磁波信號輸入裝置設置在該真空室外,與該碳納米管膜結(jié)構(gòu)相對設置,該電磁波信號能夠穿過該真空室的墻壁,到達該碳納米管膜結(jié)構(gòu)。

14.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍方法,其特征在于,進一步提供一柵網(wǎng),并將該柵網(wǎng)設置在該蒸發(fā)源與待鍍基底之間。

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