技術(shù)特征：

1.一種磁過濾裝置，用于防止離子鍍過程中產(chǎn)生大顆粒缺陷，其特征在于：所述裝置由四個主要部分組成，包括：1 過濾管，2 導(dǎo)磁環(huán)，3 邊框（帶空氣隙），4 螺線管，痛過改變磁場分布達到大顆粒過濾的效果。

2.按照權(quán)利要求1所述的磁過濾裝置，邊框的主要作用是磁場的增強區(qū)域。

3.按照權(quán)利要求1所述的磁過濾裝置，導(dǎo)磁環(huán)的加入則會減少空氣隙與過濾管之間間隙處的漏磁，提高大顆粒過濾效果以及沉積速率。