技術(shù)總結(jié)
一種用于陰極電弧離子鍍的磁過濾裝置，該裝置由1過濾管，2導(dǎo)磁環(huán)，3邊框（帶空氣隙），4螺線管四部分構(gòu)成，通過改變過濾管內(nèi)的磁場分布來提高大顆粒缺陷的過濾效果。與現(xiàn)有的過濾裝置相比，此過濾裝置具有很好地大顆粒過濾效果，同時還具有比較高的沉積速率。

技術(shù)研發(fā)人員：付志強;關(guān)智嵩;吳昊;岳文;彭志堅
受保護的技術(shù)使用者：中國地質(zhì)大學(xué)(北京)
文檔號碼：201510804603
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.20
技術(shù)公布日：2017.05.31