技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種晶片托盤及MOCVD系統(tǒng)。一種晶片托盤，用于MOCVD系統(tǒng)中，MOCVD系統(tǒng)包括支撐軸和加熱元件，其特征在于，晶片托盤包括托盤本體、設(shè)置于托盤本體下表面中心的凸臺(tái)和連接于凸臺(tái)下表面的旋轉(zhuǎn)連接件；支撐軸的上端面設(shè)置有凹坑，旋轉(zhuǎn)連接件插入凹坑并與凹坑相配合；托盤本體置于加熱元件上方，且凸臺(tái)被其鄰近加熱元件所環(huán)繞。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了在采用托盤本體中心支撐結(jié)構(gòu)時(shí)，托盤本體中心溫度能夠和托盤周邊區(qū)域保持基本一致，溫度均勻性有較大改善，使晶片托盤仍能高速旋轉(zhuǎn)及便于機(jī)械手等自動(dòng)傳盤。

技術(shù)研發(fā)人員：金小亮;陳愛華;呂青;王國斌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中晟光電設(shè)備（上海）股份有限公司
文檔號(hào)碼：201510836832
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.26
技術(shù)公布日：2017.06.06