技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種加熱裝置，用于蒸發(fā)有機(jī)膜料，加熱裝置包括第一坩堝，第一坩堝用于盛放有機(jī)膜料；第二坩堝，第二坩堝用于承載第一坩堝；電子束加熱器，電子束加熱器用于向第二坩堝發(fā)射均勻的電子束并對(duì)第二坩堝進(jìn)行加熱，第二坩堝用于向第一坩堝導(dǎo)熱。通過(guò)本發(fā)明提供的技術(shù)方案，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中溫度控制精度低、有機(jī)膜料受熱不均勻的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：于甄;解金庫(kù);孔德興
受保護(hù)的技術(shù)使用者：張家港康得新光電材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.13
技術(shù)公布日：2017.07.21