技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種金屬膜的成膜方法。在使用氯化物原料在具有復(fù)雜形狀部分和平坦形狀部分的被處理基板上形成金屬膜的情況下，能夠在任何部分都形成膜。在該金屬膜的成膜方法中，隔著被保持在減壓氣氛下的腔室內(nèi)的吹掃，在按順序向腔室內(nèi)供給作為原料氣體的金屬氯化物氣體以及對金屬氯化物進行還原的還原氣體而在配置于所述腔室內(nèi)的具有復(fù)雜形狀部分和平坦形狀部分的被處理基板形成金屬膜時，交替地實施相對地減少金屬氯化物原料的供給量而形成第一金屬膜的工序和相對地增多金屬氯化物原料的供給量而形成第二金屬膜的工序。

技術(shù)研發(fā)人員：鈴木健二;堀田隼史;前川浩治;饗場康
受保護的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會社
文檔號碼：201610364429
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.27
技術(shù)公布日：2016.12.07