技術(shù)特征：

1.一種高溫壓電傳感器中石墨烯電極的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

(1)將預(yù)處理過的高溫壓電晶片放入等離子體化學(xué)氣相沉積腔室中，關(guān)閉腔室，啟動(dòng)真空泵；至腔室中的氣壓降至10^-5Torr以下，通入保護(hù)氣和碳?xì)浠衔餁怏w調(diào)節(jié)腔室中的壓強(qiáng)；

(2)啟動(dòng)真空反應(yīng)爐加熱升溫，打開等離子體源，恒溫沉積，得到石墨烯電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高溫壓電傳感器中石墨烯電極的制備方法，其特征在于：步驟(1)中，所述高溫壓電晶片的預(yù)處理方法為：將高溫壓電晶片研磨、拋光，超聲清洗，N₂氣體吹干，即得；優(yōu)選地，超聲清洗步驟為：分別用去離子水、丙酮和乙醇超聲清洗10—15min。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高溫壓電傳感器中石墨烯電極的制備方法，其特征在于：步驟(1)中，所述高溫壓電晶片包括Ba₂TiSi₂O₇(BTS)、La₃Ga₅SiO₁₄(LGS)、La₃Ga_5.5Ta_0.5O₁₄(LGT)、Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄(CTGS)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高溫壓電傳感器中石墨烯電極的制備方法，其特征在于：步驟(1)中，通入保護(hù)氣和碳?xì)浠衔餁怏w后，腔室中的壓強(qiáng)為0.05—1Torr。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高溫壓電傳感器中石墨烯電極的制備方法，其特征在于：步驟(1)中，所述保護(hù)氣為Ar氣體；所述碳?xì)浠衔餁怏w為CH₄、C₂H₆、C₃H₈、C₂H₄或C₃H₆；所述保護(hù)氣與碳?xì)浠衔餁怏w的流量比為10:1—1:1；所述保護(hù)氣流量為10—100sccm，碳?xì)浠衔餁怏w流量為10—50sccm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高溫壓電傳感器中石墨烯電極的制備方法，其特征在于：步驟(2)中，真空反應(yīng)爐加熱升溫程序?yàn)椋菏覝厣郎刂?00—700℃，恒溫15—20min；升溫速率為10-20℃/min，其中，250℃和/或550℃時(shí)分別恒溫20—30min。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高溫壓電傳感器中石墨烯電極的制備方法，其特征在于：步驟(2)中，沉積溫度為400—700℃，沉積時(shí)間為30—150min。