技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種蝕刻裝置。所述蝕刻裝置包括輸送單元和噴淋單元，所述輸送單元用于輸送基板，所述噴淋單元用于向所述輸送單元輸送的所述基板噴淋蝕刻液，所述輸送單元包括平行間隔設(shè)置的上輸送組件和下輸送組件，所述上輸送組件和所述下輸送組件配合驅(qū)動(dòng)所述基板沿斜線運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明還提供一種采用該蝕刻裝置的蝕刻方法。本發(fā)明提供的蝕刻裝置及蝕刻方法不僅避免了所述基板上表面因不能高頻高速的接觸新的蝕刻液造成蝕刻不均勻的問題，也有利于對(duì)阻抗板的線寬線距的控制，而且有利于環(huán)境保護(hù)和降低成本。

技術(shù)研發(fā)人員：邵照澤;蔡志浩;董海青;邵勇;梁高
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市五株科技股份有限公司
文檔號(hào)碼：201610671236
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.15
技術(shù)公布日：2016.11.23