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一種刀具表面CrN?CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層及其制備方法與流程

文檔序號:12099256閱讀:205來源:國知局

本發(fā)明屬于化工材料技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種刀具表面CrN-CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層及其制備方法。



背景技術(shù):

切削刀具大部分采用涂層工藝來提高它們的使用性能。涂層作為化學(xué)屏障和熱屏障,減少了刀具與工件間的擴(kuò)散和化學(xué)反應(yīng),從而減少了刀具的磨損。涂層刀具具有表面硬度高、耐磨性好、化學(xué)性能穩(wěn)定、耐熱耐氧化、摩擦系數(shù)小和熱導(dǎo)率低等特性。涂層采用的材料須具有硬度高、耐磨性好、化學(xué)性能穩(wěn)定、不與工件材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)、耐熱耐氧化以及與基體附著牢固等要求。CrAlSiN涂層具有硬度高的特點(diǎn),但是其容易從刀具基片表面剝落,造成刀具的使用壽命降低。雖然已經(jīng)有專利指出采用CrAlSi復(fù)合靶材由射頻陰極控制,用Ar與N2的混合氣體進(jìn)行濺射,濺射出來Cr、Al、Si離子與混合氣體中的N離子發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),形成CrAlN基體相和Si3N4界面相的混合體,但是涂層內(nèi)部形成Si3N4界面相包裹CrAlN納米等軸晶粒的復(fù)雜結(jié)構(gòu),導(dǎo)致CrAlSiN的組織成分不均勻,涂層的性能難以保證。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題,本發(fā)明的一個目的是提供一種刀具表面CrN-CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層的制備方法,該方法可以將CrAlSiN涂層牢牢地結(jié)合在刀具基片表面,有效防止CrAlSiN涂層從刀具基片表面剝落。

本發(fā)明的另一個目的是提供一種刀具表面CrN-CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層,該復(fù)合涂層由上述制備方法制備而來,從內(nèi)到外依次為CrN涂層和CrAlSiN涂層,CrN涂層作為CrAlSiN涂層與基體之間的過渡層,主要目的是增加CrAlSiN涂層與基體間的結(jié)合強(qiáng)度。得到的CrAlSiN涂層厚度和組織成分均勻,晶體顆粒小。

為了解決以上技術(shù)問題,本發(fā)明的技術(shù)方案為:

一種刀具表面CrN-CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層的制備方法,包括如下步驟:

1)對刀具的表面進(jìn)行清潔;

2)在刀具的表面濺射CrN涂層,靶材為CrN合金;

3)在濺射有CrN涂層的刀具表面濺射CrAlSiN涂層,靶材為CrAlSiN合金,濺射環(huán)境為氬氣環(huán)境。

采用組織成分均勻的CrAlSiN合金靶材,用氬氣進(jìn)行濺射,最終在CrN涂層表面形成組織成分均勻的CrAlSiN涂層,可以提高CrAlSiN涂層與DLC涂層之間結(jié)合強(qiáng)度的均勻性,進(jìn)而整體提高了CrAlSiN涂層與CrN涂層之間的結(jié)合力,成功解決了主耐磨層-CrAlSiN涂層的整體抗磨能力不均衡、易脫落的問題。同時,制備得到的CrAlSiN涂層質(zhì)地均勻、表面光滑,減小了摩擦系數(shù),減小了在使用過程中的磨損,延長了刀具的使用壽命。

優(yōu)選的,步驟1)中,首先對刀具基片表面進(jìn)行拋光處理,使其達(dá)到設(shè)定的粗糙度,清洗、干燥后在磁控濺射室中被氬離子清潔,直至達(dá)標(biāo)。

進(jìn)一步優(yōu)選的,拋光后的刀具基片表面粗糙度為0.02-0.04μm,進(jìn)一步的粗糙度為0.03μm。有利于提高基體和涂層的結(jié)合強(qiáng)度。

進(jìn)一步優(yōu)選的,采用超聲清洗機(jī)對拋光后的刀具基片進(jìn)行清洗,干燥的溫度為120-200℃。有利于清洗液的干燥揮發(fā)。

進(jìn)一步優(yōu)選的,刀具在磁控濺射室中被氬離子清潔時,氬氣的壓力為1.5-2.5Pa,施加200-220V偏壓,清潔的時間為20-35min??商岣呋w表面的潔凈度。

優(yōu)選的,步驟2)中,濺射CrN涂層時,氬氣的壓力為2.0-3.0Pa,施加200-220V偏壓,濺射的時間為35-45min。在這種條件下,CrN涂層和基體有好的結(jié)合強(qiáng)度。

優(yōu)選的,步驟3)中,濺射CrAlSiN涂層時,靶材為CrAlSiN合金,氬氣的壓力為2.0-3.0Pa,施加35-45V偏壓,濺射的時間為55-65min。

這種條件下形成的CrAlSiN涂層厚度均勻,晶體顆粒小,涂層硬度、強(qiáng)度和耐磨損性能好。

利用上述制備方法制備得到的多元復(fù)合涂層,從刀具基片表面到外依次包括CrN涂層和CrAlSiN涂層。

優(yōu)選的,CrN涂層的厚度為150-200nm,CrAlSiN涂層的厚度為1700-2300nm。

這樣的厚度可以保證涂層刀具表層既有足夠的強(qiáng)度,又有一定的摩擦磨損性能。

一種涂覆有上述多元復(fù)合涂層的刀具。

本發(fā)明的有益技術(shù)效果為:

本發(fā)明通過在硬質(zhì)合金刀具表面濺射CrN-CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層,使刀具材料與CrN過渡層形成物理化學(xué)結(jié)合層,CrN過渡層和CrAlSiN涂層形成化學(xué)結(jié)合層,如果硬質(zhì)合金刀具表面直接濺射CrAlSiN,則刀具材料與CrAlSiN涂層較難形成化學(xué)結(jié)合層,通過濺射CrN過渡層,可以有效地防止涂層刀具使用過程中的脫落問題,延長了涂層刀具的使用壽命。

本發(fā)明將CrAlSiN合金作為靶材,采用磁控離子濺射工藝,真空室氣壓低,得到的涂層厚度均勻、組織成分均勻,晶粒顆粒小,涂層的硬度、強(qiáng)度以及耐磨損性能好。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

實(shí)施例1

一種刀具表面CrN-CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層的制備方法。

該方法包括如下步驟:

1.硬質(zhì)合金刀具基片的清潔和干燥

刀具基片表面進(jìn)行拋光處理,粗糙度值為Ra=0.03μm,然后經(jīng)超聲波清洗機(jī)清洗,再放入恒溫干燥箱中干燥,溫度120℃。

2.硬質(zhì)合金刀具基片的清潔

刀具基片放入磁控濺射室中,氣壓抽至5×10-5Pa之下后,基片被加熱到合適的溫度,然后通入氬氣,在2Pa壓力下,施加200V偏壓,刀具基片被氬離子清理30分鐘。

3.濺射CrN過渡涂層

在磁控濺射室中通入氬氣,壓力為2.5Pa,施加200V偏壓,靶材采用CrN合金,濺射時間為40分鐘。

4.濺射CrAlSiN涂層

在磁控濺射室中通入氬氣,壓力為2.5Pa,施加40V偏壓,靶材采用CrAlSiN合金,濺射時間為60分鐘。

得到的CrN涂層的厚度為150nm,CrAlSiN涂層的厚度為2000nm。

在CA6140型車床上進(jìn)行刀片壽命試驗(yàn)測試:

材料為45鋼,平均硬度為HB188。刀具前角-6°,后角6°,刃斜角-6°,主偏角75°,刀尖角90°,刀片邊長12.7mm,刀片厚度4.76mm。走刀量0.41mm/r,切削深度2mm,切削速度200m/min,刀片連續(xù)切削50-200s后,測量后刀面磨損值VB,當(dāng)VB達(dá)到0.3mm時,累計切削時間作為刀片壽命。

涂層的硬度為50GPa,表面粗糙度為2.3納米,摩擦系數(shù)為0.12,采用劃痕試驗(yàn)測得涂層與基體間的結(jié)合力為78N,刀片壽命為27min。

對比例1

與實(shí)施例1的區(qū)別為CrAlSiN涂層的制備方法:利用CrAlSi復(fù)合靶材在真空室內(nèi)進(jìn)行沉積CrAlSiN層,復(fù)合靶材由射頻陰極控制,濺射氣氛采用Ar與N2的混合氣體,其余的參數(shù)與實(shí)施例1相同,得到2μm的CrAlSiN涂層。

制備得到的涂層的硬度為36GPa,表面粗糙度為3.9納米,摩擦系數(shù)為0.27,涂層與基體間的結(jié)合力為63N,刀片壽命為17min。

對比例2

與實(shí)施例1的區(qū)別為:沒有CrN涂層的制備,直接將CrAlSiN涂層濺射到刀片的基體上,其他參數(shù)與實(shí)施例1相同。

制備得到的涂層的硬度為42GPa,表面粗糙度為3.3納米,摩擦系數(shù)為0.25,涂層與基體間的結(jié)合力為62N,刀片壽命為13min。

實(shí)施例2

一種刀具表面CrN-CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層的制備方法。

該方法包括如下步驟:

2.硬質(zhì)合金刀具基片的清潔和干燥

刀具基片表面進(jìn)行拋光處理,粗糙度值為Ra=0.04μm,然后經(jīng)超聲波清洗機(jī)清洗,再放入恒溫干燥箱中干燥,溫度180℃。

3.硬質(zhì)合金刀具基片的清潔

刀具基片放入磁控濺射室中,氣壓抽至5×10-5Pa之下后,基片被加熱到合適的溫度,然后通入氬氣,在2.5Pa壓力下,施加220V偏壓,刀具基片被氬離子清理35分鐘。

3.濺射CrN過渡涂層

在磁控濺射室中通入氬氣,壓力為2.5Pa,施加220V偏壓,靶材采用CrN合金,濺射時間為45分鐘。

5.濺射CrAlSiN涂層

在磁控濺射室中通入氬氣,壓力為2.5Pa,施加40V偏壓,靶材采用CrAlSiN合金,濺射時間為60分鐘。

得到的CrN涂層的厚度為200nm,CrAlSiN涂層的厚度為2300nm。

涂層的硬度為49GPa,表面粗糙度為2.5納米,摩擦系數(shù)為0.14,采用劃痕試驗(yàn)測得涂層與基體間的結(jié)合力為74N,刀片壽命為22min。

實(shí)施例3

一種刀具表面CrN-CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層的制備方法。

該方法包括如下步驟:

3.硬質(zhì)合金刀具基片的清潔和干燥

刀具基片表面進(jìn)行拋光處理,粗糙度值為Ra=0.04μm,然后經(jīng)超聲波清洗機(jī)清洗,再放入恒溫干燥箱中干燥,溫度200℃。

4.硬質(zhì)合金刀具基片的清潔

刀具基片放入磁控濺射室中,氣壓抽至5×10-5Pa之下后,基片被加熱到合適的溫度,然后通入氬氣,在2Pa壓力下,施加200V偏壓,刀具基片被氬離子清理30分鐘。

3.濺射CrN過渡涂層

在磁控濺射室中通入氬氣,壓力為2.5Pa,施加200V偏壓,靶材采用CrN合金,濺射時間為45分鐘。

6.濺射CrAlSiN涂層

在磁控濺射室中通入氬氣,壓力為2.5Pa,施加40V偏壓,靶材采用CrAlSiN合金,濺射時間為55分鐘。

得到的CrN涂層的厚度為170nm,CrAlSiN涂層的厚度為1900nm。

涂層的硬度為46GPa,表面粗糙度為2.5納米,摩擦系數(shù)為0.14,采用劃痕試驗(yàn)測得涂層與基體間的結(jié)合力為75N,刀片壽命為25min。

上述雖然對本發(fā)明的具體實(shí)施方式進(jìn)行了描述,但并非對發(fā)明保護(hù)范圍的限制,所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白,在本發(fā)明的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上,本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動即可做出的各種修改或變形仍在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

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