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一種刀具表面CrN?CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層及其制備方法與流程

文檔序號(hào):12099256閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種刀具表面CrN-CrAlSiN階梯狀多元復(fù)合涂層的制備方法,其特征在于:包括如下步驟:

1)對(duì)刀具的表面進(jìn)行清潔;

2)在刀具的表面濺射CrN涂層,靶材為CrN合金;

3)在濺射有CrN涂層的刀具表面濺射CrAlSiN涂層,靶材為CrAlSiN合金,濺射環(huán)境為氬氣環(huán)境。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:步驟1)中,首先對(duì)刀具基片表面進(jìn)行拋光處理,使其達(dá)到設(shè)定的粗糙度,清洗、干燥后在磁控濺射室中被氬離子清潔,直至達(dá)標(biāo)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:拋光后的刀具基片表面粗糙度為0.02-0.04μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:采用超聲清洗機(jī)對(duì)拋光后的刀具基片進(jìn)行清洗,干燥的溫度為120-200℃。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:刀具在磁控濺射室中被氬離子清潔時(shí),氬氣的壓力為1.5-2.5Pa,施加220V偏壓,清潔的時(shí)間為20-35min。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:步驟2)中,濺射CrN涂層時(shí),氬氣的壓力為2.0-3.0Pa,施加220V偏壓,濺射的時(shí)間為35-45min。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:步驟3)中,濺射CrAlSiN涂層時(shí),靶材為CrAlSiN合金,氬氣的壓力為2.0-3.0Pa,施加35-45V偏壓,濺射的時(shí)間為55-65min。

8.利用權(quán)利要求1-7任一所述制備方法制備得到的多元復(fù)合涂層,其特征在于:從刀具基片表面到外依次包括CrN涂層和CrAlSiN涂層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多元復(fù)合涂層,其特征在于:CrAlSiN涂層的厚度為1700-2300nm,DLC涂層厚度為700-1200nm。

10.一種涂覆有權(quán)利要求8或9所述多元復(fù)合涂層的刀具。

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