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一種微納米馬達及其制備方法與流程

文檔序號:12415644閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種微納米馬達的制備方法,其特征在于,包括如下具體步驟:

A、準備襯底:將基片切割成所需尺寸,清洗備用;

B、制備單層二氧化硅小球:向培養(yǎng)皿中注水,將二氧化硅小球溶液逐滴滴入水表面;待水面上形成薄膜后,用水替換懸浮的二氧化硅小球溶液;待替換完成后,將基片放入水底,抽干培養(yǎng)皿中的水,得到帶有單層二氧化硅小球的基片,并晾干備用;

C、制備納米棒:采用傾斜角沉積技術(shù),使用電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備,在氣壓小于1×10-6托的真空沉積室中,在單層二氧化硅小球基片上沉積二氧化鈦或鎳,且材料蒸汽入射方向與樣品臺法線夾角大于70°,形成長度約為3.5μm、直徑約為500nm的二氧化鈦或鎳納米棒;

D、沉積金屬膜層:采用傾斜角沉積技術(shù),使用電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備,在氣壓小于1×10-6托的真空沉積室中,在二氧化鈦或鎳納米棒一側(cè)蒸鍍金屬鉑,且材料蒸汽入射方向與樣品臺法線夾角為0°,形成厚度約為150nm的鉑膜層,最終制得微納米馬達。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微納米馬達的制備方法,其特征在于,步驟A中,所述的基片采用玻璃片或硅片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種微納米馬達的制備方法,其特征在于,步驟A中,所述的清洗基片包括如下步驟:先超聲清洗5 min,然后用去離子水、雙氧水、氫氧化銨按體積比5:1:1配置的溶液進行清洗,再用去離子水清洗5-10次,最后用氮氣吹干。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微納米馬達的制備方法,其特征在于,步驟B中,所述的培養(yǎng)皿在使用前先超聲清洗5分鐘,然后依次用丙酮、酒精、去離子水進行超聲清洗,再用去離子水沖洗,最后用氮氣吹干。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種微納米馬達的制備方法,其特征在于,步驟B中,所述的二氧化硅小球溶液的制備包括如下步驟:先將直徑為150-2000nm的二氧化硅小球超聲清洗5 min,置于離心管中,加去離子水稀釋成溶液,利用渦旋振蕩器將溶液搖勻;然后向離心管中加入不小于溶液水量的高純水,繼續(xù)離心清洗,并通過不斷地添加和移除高純水,反復(fù)離心3次;最后加入酒精,制成質(zhì)量百分比濃度為0.08%-2.24%的二氧化硅小球溶液。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種微納米馬達的制備方法,其特征在于,步驟B中,使用注射器將二氧化硅小球溶液逐滴滴入水表面,注射速率為0.009-0.011 mL/min,且使彎成90°的注射器針頭靠近培養(yǎng)皿邊緣。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種微納米馬達的制備方法,其特征在于,步驟B中,所述的替換包括如下步驟:將特氟龍環(huán)置于薄膜之上,利用注射泵進行注水,使水位升高,再用蠕動泵同時進行注水和排水操作,將薄膜以下懸浮在溶液中的二氧化硅小球溶液用超純水替換。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微納米馬達的制備方法,其特征在于,步驟C中,沉積速度為0.5 nm/s。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微納米馬達的制備方法,其特征在于,步驟D中,沉積速度為0.5 nm/s。

10.一種利用權(quán)利要求1-8任一項所述方法制備的微納米馬達。

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