技術(shù)特征：

1.一種快速判斷氣相沉積產(chǎn)品質(zhì)量缺陷發(fā)生時間的方法，其特征在于，其包括如下步驟：(1)確定樣品沉積速率方程；(2)確定一般氣相沉積反應(yīng)的速率方程；(3)積分得到氣相沉積厚度方程；(4)求得未知修正比例系數(shù)a；(5)解得質(zhì)量缺陷發(fā)生時間；其中，

(1)確定樣品沉積速率方程：通過對整個生產(chǎn)周期的沉積速率進行計算，得到生產(chǎn)周期內(nèi)每小時所述沉積速率的數(shù)據(jù)后，應(yīng)根據(jù)所述沉積速率繪制出產(chǎn)品的沉積速率曲線，通過數(shù)據(jù)處理軟件對所述沉積速率曲線進行擬合，可以得到檢測樣品的所述沉積速率隨時間變化的樣品沉積速率方程，設(shè)所述樣品沉積速率方程為y＝f(t)；

(2)確定一般氣相沉積反應(yīng)的速率方程：同一企業(yè)，氣相沉積反應(yīng)設(shè)備雖然型號相同，但因所述氣相沉積反應(yīng)設(shè)備表面反射率、儀表檢測的差異，每臺所述氣相沉積反應(yīng)設(shè)備在相同的時間內(nèi)沉積速度有微小的不同，但通過實踐檢驗，所述氣相沉積反應(yīng)設(shè)備情況的影響對整個沉積過程的影響均相似，可以引入所述氣相沉積反應(yīng)設(shè)備對沉積過程影響的修正比例系數(shù)a，得出一般氣相沉積反應(yīng)速率方程y＝f(at)；

(3)積分得到氣相沉積厚度方程：對所述一般氣相沉積反應(yīng)速率方程y＝f(at)進行積分，即為氣相沉積厚度方程對積分式進行求解，可解得包含未知常量a的沉積厚度h隨變量時間t變化的氣相沉積厚度方程；

(4)求得未知修正比例系數(shù)a：測量沉積總厚度h_總，并將測得的所述沉積總厚度h_總和沉積總時間t_總代入所述氣相沉積厚度方程中求解，解得未知修正比例系數(shù)a；

(5)解得質(zhì)量缺陷發(fā)生時間：通過對氣相沉積產(chǎn)品截面進行質(zhì)量檢測，鎖定質(zhì)量缺陷點的位置，然后測量質(zhì)量缺陷點處沉積厚度h_缺陷，將質(zhì)量缺陷點處的所述沉積厚度h_缺陷及所述修正比例系數(shù)a代入所述氣相沉積厚度方程，對等式進行求解，即可解得質(zhì)量缺陷發(fā)生時間t_缺陷。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快速判斷氣相沉積產(chǎn)品質(zhì)量缺陷發(fā)生時間的方法，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理軟件為origin軟件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種快速判斷氣相沉積產(chǎn)品質(zhì)量缺陷發(fā)生時間的方法，其特征在于，在所述步驟(5)之后還包括有對求得的所述質(zhì)量缺陷發(fā)生時間t_缺陷的驗證步驟，重復(fù)所述步驟(5)，對經(jīng)歷質(zhì)量缺陷發(fā)生時間的不同樣品進行檢測計算，求得不同樣品的所述質(zhì)量缺陷發(fā)生時間t_缺陷，并對求得的所述質(zhì)量缺陷發(fā)生時間t_缺陷進行比較，當(dāng)不同樣品計算出的所述質(zhì)量缺陷發(fā)生時間t_缺陷接近時，即可確定所述步驟(5)計算得到的所述質(zhì)量缺陷發(fā)生時間t_缺陷真實準(zhǔn)確。