技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種快速判斷氣相沉積產(chǎn)品質(zhì)量缺陷發(fā)生時(shí)間的方法，其包括如下步驟：(1)確定樣品沉積速率方程；(2)確定一般氣相沉積反應(yīng)的速率方程；(3)積分得到氣相沉積厚度方程；(4)求得未知修正比例系數(shù)a；(5)解得質(zhì)量缺陷發(fā)生時(shí)間。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：通過(guò)本發(fā)明方法可以準(zhǔn)確鎖定質(zhì)量缺陷發(fā)生時(shí)間，快速確定質(zhì)量缺陷產(chǎn)品范圍，從而縮短工藝質(zhì)量缺陷原因排查的時(shí)間，快速制定措施，及時(shí)響應(yīng)，將質(zhì)量損失控制到最低；縮短工藝質(zhì)量缺陷原因排查的時(shí)間，大大降低檢測(cè)產(chǎn)品質(zhì)量缺陷的成本。

技術(shù)研發(fā)人員：任小紅;吳鋒;高云龍;曹忠;姜海明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：內(nèi)蒙古神舟硅業(yè)有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201611238656
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.28
技術(shù)公布日：2017.06.13