本實(shí)用新型涉及硅片拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種一體式硅片精細(xì)拋光機(jī)。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，企業(yè)在對硅片進(jìn)行拋光加工時(shí)需要經(jīng)過粗拋與精拋兩道工序，兩道工序分別在兩臺設(shè)備進(jìn)行，這不僅降低了加工效率，同時(shí)，不同設(shè)備的裝配誤差不同，這會導(dǎo)致硅片的加工誤差大，影響硅片的尺寸，存在不足。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種一體式硅片精細(xì)拋光機(jī)，為克服上述的不足，采用一體式結(jié)構(gòu)，在一臺設(shè)備中完成兩道工序，不僅提高了加工效率，同時(shí)降低加工誤差，提高硅片的尺寸精度。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案：

一種一體式硅片精細(xì)拋光機(jī)，包括機(jī)體、第一電機(jī)、主動齒輪、從動齒輪、第一曲柄、槽輪、拋光液箱、第二曲柄、彈簧罩、彈簧、固定塊、第一液管、第一噴頭、精拋砂輪、二級帶輪、二級傳動帶、一級帶輪、一級傳動帶、主動帶輪、第二電機(jī)、粗拋砂輪、第二噴頭、第二液管；其中：機(jī)體與第二電機(jī)固定連接，第二電機(jī)與主動帶輪固定連接，主動帶輪通過一級傳動帶與一級帶輪連接，一級帶輪通過二級傳動帶與二級帶輪連接，二級帶輪與精拋砂輪同軸連接，一級帶輪與粗拋砂輪同軸連接，第一電機(jī)與主動齒輪同軸連接，主動齒輪與從動齒輪通過嚙合連接，從動齒輪與第一曲柄固定連接，第一曲柄與槽輪連接，槽輪與第二曲柄固定連接，第二曲柄與彈簧罩固定連接，彈簧罩內(nèi)部設(shè)有彈簧，彈簧與固定塊連接，拋光液箱通過第一液管與第一噴頭連通，拋光液箱通過第二液管與第二噴頭連通。

一種一體式硅片精細(xì)拋光機(jī)，其中：一級帶輪與二級帶輪的半徑之比為3:1。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：本裝置采用一體式結(jié)構(gòu)，在一臺設(shè)備中完成兩道工序，不僅提高了加工效率，同時(shí)降低加工誤差，提高硅片的尺寸精度。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意簡圖。

附圖標(biāo)記：機(jī)體1、第一電機(jī)2、主動齒輪3、從動齒輪4、第一曲柄5、槽輪6、拋光液箱7、第二曲柄8、彈簧罩9、彈簧10、固定塊11、第一液管12、第一噴頭13、精拋砂輪14、二級帶輪15、二級傳動帶16、一級帶輪17、一級傳動帶18、主動帶輪19、第二電機(jī)20、粗拋砂輪21、第二噴頭22、第二液管23。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1、一種一體式硅片精細(xì)拋光機(jī)，包括機(jī)體1、第一電機(jī)2、主動齒輪3、從動齒輪4、第一曲柄5、槽輪6、拋光液箱7、第二曲柄8、彈簧罩9、彈簧10、固定塊11、第一液管12、第一噴頭13、精拋砂輪14、二級帶輪15、二級傳動帶16、一級帶輪17、一級傳動帶18、主動帶輪19、第二電機(jī)20、粗拋砂輪21、第二噴頭22、第二液管23；其中：機(jī)體1與第二電機(jī)20固定連接，第二電機(jī)20與主動帶輪19固定連接，主動帶輪19通過一級傳動帶18與一級帶輪17連接，一級帶輪17通過二級傳動帶16與二級帶輪15連接，二級帶輪15與精拋砂輪14同軸連接，一級帶輪17與粗拋砂輪21同軸連接，第一電機(jī)2與主動齒輪3同軸連接，主動齒輪3與從動齒輪4通過嚙合連接，從動齒輪4與第一曲柄5固定連接，第一曲柄5與槽輪6連接，槽輪6與第二曲柄8固定連接，第二曲柄8與彈簧罩9固定連接，彈簧罩9內(nèi)部設(shè)有彈簧10，彈簧10與固定塊11連接，拋光液箱7通過第一液管12與第一噴頭13連通，拋光液箱7通過第二液管23與第二噴頭22連通。

實(shí)施例2、一種一體式硅片精細(xì)拋光機(jī)，其中：一級帶輪17與二級帶輪15的半徑之比為3:1，可在一臺設(shè)備中完成兩道工序，不僅提高了加工效率，同時(shí)降低加工誤差，提高硅片的尺寸精度。其余同實(shí)施例1。

工作原理：

啟動第一電機(jī)2，第一電機(jī)2帶動主動齒輪3旋轉(zhuǎn)，主動齒輪3帶動從動齒輪4旋轉(zhuǎn)，從動齒輪4帶動第一曲柄5旋轉(zhuǎn)，第一曲柄5帶動槽輪6旋轉(zhuǎn)，槽輪6帶動第二曲柄8旋轉(zhuǎn)，第二曲柄8帶動彈簧罩9旋轉(zhuǎn)，彈簧罩9帶動固定塊11旋轉(zhuǎn)，彈簧10將固定塊11頂出，進(jìn)而將硅片頂向粗拋砂輪21，啟動第二電機(jī)20，第二電機(jī)20帶動主動帶輪19旋轉(zhuǎn)，主動帶輪19通過一級傳動帶18帶動一級帶輪17旋轉(zhuǎn)，一級帶輪17帶動粗拋砂輪21旋轉(zhuǎn)，同時(shí)，拋光液由拋光液箱7流出，經(jīng)過第二液管23與第二噴頭22流向粗拋砂輪21，進(jìn)而對硅片進(jìn)行粗拋加工，粗拋加工完成后，固定塊11帶動硅片轉(zhuǎn)動至精拋砂輪14處，同時(shí)，一級帶輪17通過二級傳動帶16帶動二級帶輪15旋轉(zhuǎn)，二級帶輪15帶動精拋砂輪14旋轉(zhuǎn)，拋光液由拋光液箱7流出，經(jīng)過第一液管12與第一噴頭13流向粗拋砂輪21，進(jìn)而對粗拋過后的硅片進(jìn)行精拋，達(dá)到粗拋與精拋一體式加工，不僅縮短了加工周期，提高了加工效率，同時(shí)頁提高硅片的精度，動作結(jié)束。