技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種一體式硅片精細(xì)拋光機(jī)。當(dāng)前，企業(yè)在對(duì)硅片進(jìn)行拋光加工時(shí)需要經(jīng)過粗拋與精拋兩道工序，兩道工序分別在兩臺(tái)設(shè)備進(jìn)行，這不僅降低了加工效率，同時(shí)，不同設(shè)備的裝配誤差不同，這會(huì)導(dǎo)致硅片的加工誤差大，影響硅片的尺寸，存在不足。本實(shí)用新型涉及一種一體式硅片精細(xì)拋光機(jī)，其中：一級(jí)帶輪通過二級(jí)傳動(dòng)帶與二級(jí)帶輪連接，二級(jí)帶輪與精拋砂輪同軸連接，一級(jí)帶輪與粗拋砂輪同軸連接，第一電機(jī)與主動(dòng)齒輪同軸連接，主動(dòng)齒輪與從動(dòng)齒輪通過嚙合連接，從動(dòng)齒輪與第一曲柄固定連接，第一曲柄與槽輪連接。本裝置采用一體式結(jié)構(gòu)，在一臺(tái)設(shè)備中完成兩道工序，不僅提高了加工效率，同時(shí)降低加工誤差，提高硅片的尺寸精度。

技術(shù)研發(fā)人員：支秉旭
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江西大杰新能源技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201620669400
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.30
技術(shù)公布日：2017.01.25