技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種研磨機(jī)構(gòu)及研磨設(shè)備，所述研磨機(jī)構(gòu)至少包括能夠在待處理基板的同一側(cè)邊緣處的兩個(gè)相對(duì)表面上分別進(jìn)行研磨的兩個(gè)研磨輪，兩個(gè)研磨輪的旋轉(zhuǎn)軸平行設(shè)置，兩個(gè)研磨輪的旋轉(zhuǎn)軸之間在垂直于待研磨基板的第一方向上具有第一預(yù)設(shè)間距，兩個(gè)研磨輪中的至少一個(gè)研磨輪能夠在第一方向上進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以改變第一預(yù)設(shè)間距的大小。本發(fā)明所提供的研磨機(jī)構(gòu)適用不同厚度的基板；且可實(shí)現(xiàn)對(duì)待處理基板進(jìn)行多角度研磨。

技術(shù)研發(fā)人員：張銘汛;孫凱文;常浩;馬良
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
文檔號(hào)碼：201710042440
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.20
技術(shù)公布日：2017.05.31