技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種組合式之大鉆石單晶化學(xué)機(jī)械研磨修整器的制造方法，先提供一大基板，該大基板具有復(fù)數(shù)個(gè)容置槽，該容置槽中設(shè)置有一海綿以及一滲入該海綿的樹脂材料；將復(fù)數(shù)個(gè)研磨單元分別設(shè)置于該容置槽中，該研磨單元分別包括一小基板以及復(fù)數(shù)個(gè)固定于該小基板上的大鉆石研磨顆粒，該大鉆石研磨顆粒具有一不小于300微米的粒徑；接著以一剛性模板抵壓該大鉆石研磨顆粒；然后硬化該樹脂材料，使該樹脂材料黏著該研磨單元而固定于該大基板上。

技術(shù)研發(fā)人員：張榮德;宋健民
受保護(hù)的技術(shù)使用者：福建自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)廈門片區(qū)展瑞精芯集成電路有限公司
文檔號碼：201710061767
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.26
技術(shù)公布日：2017.06.13