技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種四元單層超硬薄膜材料及其制備方法，屬于金屬材料表面改性和機械加工技術(shù)領(lǐng)域。一種Zr?Al?O?N四元單層超硬薄膜材料和利用電弧離子鍍技術(shù)在工模具材料表面制備該薄膜的方法。該材料的成分設(shè)計依據(jù)化學(xué)鍵合及電子能帶結(jié)構(gòu)理論，遵循共價性耦合能帶理論來完成；該制備方法利用電弧離子鍍設(shè)備并通過分離靶弧流調(diào)控及氮、氧分壓調(diào)控來進行，可沉積合成原材料簡單、成本低、卻硬度高于40GPa的耐磨損、抗腐蝕和抗氧化性能良好的高性價比Zr?Al?O?N四元單層薄膜。該方法沉積速度快、生產(chǎn)效率高、操作簡單、利于批量生產(chǎn)，特別適于機械加工技術(shù)領(lǐng)域。

技術(shù)研發(fā)人員：韓克昌;林國強
受保護的技術(shù)使用者：大連理工大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.17
技術(shù)公布日：2017.07.04