技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻信號(hào)引入結(jié)構(gòu)，包括雙層水冷腔體、同軸電纜接頭、屏蔽罩，屏蔽罩設(shè)置在雙層水冷腔體的上方；同軸電纜接頭設(shè)置在屏蔽罩上，在屏蔽罩與雙層水冷腔體之間設(shè)置一焊接法蘭；焊接法蘭的上方設(shè)置第一絕緣法蘭；第一絕緣法蘭上方設(shè)置一接線法蘭，接線法蘭上中心設(shè)置一中心圓孔，在其的上方開(kāi)設(shè)一凹槽，設(shè)置一進(jìn)氣管；在其兩側(cè)各設(shè)置一電刷；設(shè)置在凹槽內(nèi)；電刷的一端抵住進(jìn)氣管的外側(cè)；電刷的另一端抵住凹槽的兩側(cè)；進(jìn)氣管向下依次穿過(guò)第一絕緣法蘭、焊接法蘭和雙層水冷腔體；在進(jìn)氣管與第一絕緣法蘭、焊接法蘭和雙層水冷腔體之間設(shè)置一絕緣套；解決了射頻信號(hào)引入失效的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：楊元才;褚景豫;錢(qián)鵬亮;熊凱;朱振東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海福宜真空設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.09.06
技術(shù)公布日：2017.11.07