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技術(shù)特征:

1.一種MOCVD真空烤盤爐,包括烤盤爐殼體(1)、真空系統(tǒng)(2)、冷卻系統(tǒng)(3)、氣源系統(tǒng)(4)和上蓋(5),所述真空系統(tǒng)(2)、冷卻系統(tǒng)(3)和氣源系統(tǒng)(4)分別與烤盤爐殼體(1)內(nèi)部相連接,所述上蓋(5)固定連接在烤盤爐殼體(1)頂部,其特征在于:還包括輔助加熱器一(6)、側(cè)蓋體(7)、輔助加熱器二(8)、基盤(9)、加熱裝置(10)、隔熱座(11)、隔熱層(12)、旋轉(zhuǎn)座(13)、外錐面(14)、內(nèi)錐面(15)、連接軸(16)、防護層(17)和電機(18);

所述輔助加熱器一(6)位于烤盤爐殼體(1)內(nèi)部頂部,所述輔助加熱器一(6)固定連接在上蓋(5)底面上;

所述輔助加熱器二(8)固定連接在烤盤爐殼體(1)內(nèi)部側(cè)壁上;

所述側(cè)蓋體(7)設(shè)在烤盤爐殼體(1)側(cè)面;

所述隔熱層(12)固定連接在烤盤爐殼體(1)下側(cè)內(nèi)部頂面上,所述隔熱層(12)底面中央固定連接有電機(18);

所述電機(18)上側(cè)輸出軸與旋轉(zhuǎn)座(13)下側(cè)中央固定連接;

所述旋轉(zhuǎn)座(13)活動連接在烤盤爐殼體(1)內(nèi)部下側(cè)中央,所述旋轉(zhuǎn)座(13)頂部固定連接有連接軸(16),所述旋轉(zhuǎn)座(13)下側(cè)外部設(shè)有外錐面(14);

所述外錐面(14)與內(nèi)錐面(15)相連接;

所述內(nèi)錐面(15)設(shè)在烤盤爐殼體(1)下側(cè)內(nèi)部頂面中央;

所述基盤(9)位于烤盤爐殼體(1)內(nèi)部下側(cè),所述基盤(9)底部中央固定連接在連接軸(16)頂部;

所述加熱裝置(10)位于基盤(9)下側(cè),所述加熱裝置(10)底部固定連接在隔熱座(11)上面;

所述隔熱座(11)固定連接在烤盤爐殼體(1)內(nèi)部底面上;

所述防護層(17)設(shè)在烤盤爐殼體(1)外部表面上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MOCVD真空烤盤爐,其特征在于:所述加熱裝置(10)具體包括電熱絲一(101)、電極柱一(102)、電熱絲二(103)、電極柱二(104)和殼體(105);

所述殼體(105)內(nèi)部呈扇形設(shè)有電熱絲一(101)和電熱絲二(103);

所述電熱絲一(101)兩端分別固定連接有電極柱一(102);

所述電熱絲二(103)兩端分別固定連接有電極柱二(104);

所述電極柱一(102)和電極柱二(104)均固定連接在殼體(105)側(cè)面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MOCVD真空烤盤爐,其特征在于:所述電機(18)為直流減速電機。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MOCVD真空烤盤爐,其特征在于:所述防護層(17)由隔熱防火材料制成。

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