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一種熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備的制作方法

文檔序號:12920265閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備,其特征在于,包括:

第一機(jī)殼;

內(nèi)置于所述第一機(jī)殼的第二機(jī)殼,所述第二機(jī)殼與所述第一機(jī)殼的頂部相連接,所述第二機(jī)殼與所述第一機(jī)殼之間形成冷卻空間;

設(shè)置于所述第一機(jī)殼及第二機(jī)殼頂部的第三機(jī)殼,所述第一機(jī)殼、第二機(jī)殼及第三機(jī)殼形成一密封的反應(yīng)腔室,所述第三機(jī)殼具有至少一反應(yīng)氣體入口,所述至少一反應(yīng)氣體入口連通所述反應(yīng)腔室;

設(shè)置于所述反應(yīng)腔室的水冷基臺,所述水冷基臺包括:第一工作平臺及第二工作平臺,所述第一工作平臺及第二工作平臺的頂部相連接,所述第一工作平臺及第二工作平臺間具有一夾角A;

設(shè)置于所述反應(yīng)腔室的發(fā)熱裝置,所述發(fā)熱裝置位于所述水冷基臺的上方,所述發(fā)熱裝置包括:兩組接線柱、發(fā)熱絲組及連接機(jī)構(gòu),所述兩組接線柱設(shè)置于所述反應(yīng)腔室,并分別位于所述水冷基臺的兩側(cè),所述兩組接線柱分別連接直流電源的正極及負(fù)極,所述發(fā)熱絲組的兩端分別連接所述兩組接線柱,所述連接機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述反應(yīng)腔室,并位于所述兩組接線柱間,所述連接機(jī)構(gòu)分隔所述發(fā)熱絲組成第一部分及第二部分,所述第一部分及第二部分分別平行所述第一工作平臺及第二工作平臺;以及

位于所述第一機(jī)殼一側(cè)的冷水機(jī),所述冷水機(jī)的進(jìn)口分別連接所述冷卻空間及水冷基臺,所述冷水機(jī)的出口分別連接所述冷卻空間及水冷基臺。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備,其特征在于,所述至少一反應(yīng)氣體入口的數(shù)量為兩個(gè),所述兩個(gè)反應(yīng)氣體入口分別與所述第一部分及第二部分垂直。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備,其特征在于,所述夾角A介于100度至160度之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備,其特征在于,所述連 接機(jī)構(gòu)包括:支撐桿及折彎桿,所述支撐桿設(shè)置于所述反應(yīng)腔室,并位于所述兩組接線柱間,所述折彎桿設(shè)置于所述支撐桿,并分割所述發(fā)熱絲組。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備,其特征在于,還包括排氣孔,所述排氣孔連通所述反應(yīng)腔室及外界。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備,其特征在于,還包括維持泵,所述維持泵連接所述排氣孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備,其特征在于,所述維持泵為真空機(jī)械泵。

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