1.一種制備硫化鋅的cvd設(shè)備，包括沉積室(1)，其特征在于：還包括熔硫池(2)、霧化裝置(3)、輸送裝置(4)，所述霧化裝置(3)與沉積室(1)連接，所述霧化裝置(3)包括噴射部件(301)，所述噴射部件(301)設(shè)有相互隔絕的第一內(nèi)腔(3011)、第二內(nèi)腔(3012)以及破碎部(3013)，所述第一內(nèi)腔(3011)、第二內(nèi)腔(3012)均與破碎部(3013)連通，所述熔硫池(2)通過(guò)輸送裝置(4)、第三管道(12)與第一內(nèi)腔(3011)連通，所述第二內(nèi)腔(3012)與第一管道(6)連通，所述破碎部(3013)與沉積室(1)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備硫化鋅的cvd設(shè)備，其特征在于：所述第二內(nèi)腔(3012)位于第一內(nèi)腔(3011)的外側(cè)且環(huán)繞第一內(nèi)腔(3011)，所述第二內(nèi)腔(3012)與第一內(nèi)腔(3011)同心設(shè)置，所述第一內(nèi)腔(3011)靠近破碎部(3013)的一側(cè)設(shè)有過(guò)渡部，所述第一內(nèi)腔(3011)的過(guò)渡部的直徑從遠(yuǎn)離破碎部(3013)的一側(cè)至靠近破碎部(3013)的一側(cè)逐漸減小，所述破碎部(3013)的直徑大于第一內(nèi)腔(3011)的過(guò)渡部的最小直徑，所述噴射部件(301)設(shè)有喇叭狀的出料口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備硫化鋅的cvd設(shè)備，其特征在于：所述霧化裝置(3)還包括與噴射部件(301)連接的控制部件(303)，所述控制部件(303)包括第一連接部(3031)、第一密封部(3032)，所述第一密封部(3032)位于第一內(nèi)腔(3011)中，所述第一內(nèi)腔(3011)設(shè)有第一止動(dòng)部(3014)，所述第一密封部(3032)、第一止動(dòng)部(3014)均為錐形，所述第一密封部(3032)的最大直徑大于第一止動(dòng)部(3014)的最小直徑，所述第一止動(dòng)部(3014)位于第一內(nèi)腔(3011)與破碎部(3013)的連接處。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種制備硫化鋅的cvd設(shè)備，其特征在于：所述第一連接部(3031)的內(nèi)部設(shè)有第三內(nèi)腔，所述第一密封部(3032)設(shè)有氣孔且氣孔與第三內(nèi)腔連通，所述第三內(nèi)腔中通有壓縮氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備硫化鋅的cvd設(shè)備，其特征在于：所述第一內(nèi)腔(3011)設(shè)有第一鍍層，優(yōu)選的，第一鍍層為鍍金鍍層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備硫化鋅的cvd設(shè)備，其特征在于：所述霧化裝置(3)還包括與沉積室(1)連接的回收部件(302)，所述回收部件(302)與噴射部件(301)連接，所述噴射部件(301)通過(guò)回收部件(302)與沉積室(1)連通，所述回收部件(302)通過(guò)第二管道(10)與熔硫池(2)連通，所述第二管道(10)連接有第二開(kāi)關(guān)部件(11)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備硫化鋅的cvd設(shè)備，其特征在于：還包括真空裝置(5)，所述真空裝置(5)通過(guò)第四管道(16)與熔硫池(2)連通，所述熔硫池(2)通過(guò)第五管道(18)與第一內(nèi)腔(3011)連通，所述第五管道(18)連接有第五開(kāi)關(guān)部件(19)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備硫化鋅的cvd設(shè)備，其特征在于：所述第一管道(6)連接有第一檢測(cè)部件(8)、第一調(diào)節(jié)部件(9)、第一開(kāi)關(guān)部件(7)，所述第三管道連接有第二檢測(cè)部件(14)、第二調(diào)節(jié)部件(13)、第三開(kāi)關(guān)部件(15)，所述沉積室(1)連接有第六管道(20)，所述第六管道(20)連接有第三檢測(cè)部件(22)、第三調(diào)節(jié)部件(23)、第六開(kāi)關(guān)部件(21)，所述沉積室(1)連接有第四檢測(cè)部件(24)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備硫化鋅的cvd設(shè)備，其特征在于：所述熔硫池(2)中盛裝的原料為硫單質(zhì)，所述熔硫池(2)連接有加熱裝置。
10.一種硫化鋅制備方法，用于通過(guò)權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的制備硫化鋅的cvd設(shè)備制備硫化鋅，其特征在于：