本技術(shù)涉及在基材表面形成薄膜的，特別是涉及成膜設備。

背景技術(shù)：

1、真空鍍膜設備，是一種在真空環(huán)境中利用物理或化學方法對基底進行鍍膜的設備。相關(guān)技術(shù)中，真空鍍膜設備的基底支撐機構(gòu)和鍍膜材料提供機構(gòu)共同安裝在工藝腔內(nèi)部，且鍍膜材料提供機構(gòu)與基底支撐機構(gòu)之間的間距較小。真空鍍膜設備進行設備維護和清理較為困難，需要拆除部分結(jié)構(gòu)部件，維護時間耗費較長，影響設備使用效率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、基于此，有必要針對真空鍍膜設備維護保養(yǎng)困難的問題，提供一種成膜設備。

2、一種成膜設備，包括成膜單元；所述成膜單元包括：

3、安裝座；

4、成膜室，包括主殼體、第一門體和第二門體，所述主殼體固定設于所述安裝座上，所述主殼體包括底壁、連接于所述底壁的相對兩側(cè)邊的兩側(cè)壁及連接于兩所述側(cè)壁的遠離所述底壁一端的頂壁，所述底壁、兩所述側(cè)壁和所述頂壁共同限定出一端具有第一開口、相對另一端具有第二開口的空腔，所述第一門體連接于所述主殼體并封閉所述第一開口，所述第二門體連接于所述主殼體并封閉所述第二開口，所述第一門體、所述第二門體和所述主殼體能夠圍成氣密的成膜腔室，所述第一開口和所述第二開口的相對設置方向為第一方向；

5、基底支撐機構(gòu)，設于所述成膜腔室內(nèi)，用以支撐基材進行成膜；

6、其中，所述第一門體與所述主殼體可拆卸連接，且所述第一門體可滑動地設于所述安裝座上，所述第一門體能夠滑動至與所述主殼體不接觸，以打開所述第一開口；和/或，所述第二門體與所述主殼體可拆卸連接，且所述第二門體可滑動地設于所述安裝座上，所述第二門體能夠滑動至與所述主殼體不接觸，以打開所述第二開口。

7、在一些實施例中，所述成膜單元還包括移動組件；

8、所述移動組件包括第一滑軌和第一滑塊，所述第一滑軌設于所述安裝座上并沿所述第一方向延伸，所述第一滑塊與所述第一滑軌滑動連接，所述第一門體連接于所述第一滑塊，所述第一滑塊將所述第一門體支撐于所述第一滑軌，并使所述第一門體能夠沿所述第一滑軌滑動；

9、和/或，所述移動組件包括第二滑軌和第二滑塊，所述第二滑軌設于所述安裝座上并沿所述第一方向延伸，所述第二滑塊與所述第二滑軌滑動連接，所述第二門體連接于所述第二滑塊，所述第二滑塊將所述第二門體支撐于所述第二滑軌，并使所述第二門體能夠沿所述第二滑軌滑動。

10、在一些實施例中，所述移動組件還包括第一移動驅(qū)動件，所述第一移動驅(qū)動件與所述第一門體或所述第一滑塊傳動連接，所述第一移動驅(qū)動件用于驅(qū)動所述第一門體沿所述第一滑軌滑動；

11、和/或，所述移動組件還包括第二移動驅(qū)動件，所述第二移動驅(qū)動件與所述第二門體或所述第二滑塊傳動連接，所述第二移動驅(qū)動件用于驅(qū)動所述第二門體沿所述第二滑軌滑動。

12、在一些實施例中，所述基底支撐機構(gòu)設置于所述第一門體上，所述第一門體能夠帶動所述基底支撐機構(gòu)由所述第一開口裝入或者移出所述成膜腔室；

13、所述成膜單元還包括氣體提供裝置，所述氣體提供裝置設置于所述成膜室，所述氣體提供裝置被配置為向所述成膜腔室內(nèi)供應成膜材料。

14、在一些實施例中，所述基底支撐機構(gòu)包括支撐筒，所述支撐筒被配置為能夠繞自身中心軸線旋轉(zhuǎn)；

15、其中，兩所述側(cè)壁的相對設置方向為第二方向，所述底壁和所述頂壁的相對設置方向為第三方向；所述支撐筒裝入所述成膜腔室內(nèi)的情況下，所述支撐筒的中心軸線平行于所述第一方向，所述支撐筒沿所述第二方向相對的兩側(cè)分別面向兩所述側(cè)壁，所述支撐筒沿所述第三方向相對的兩側(cè)分別面向所述底壁和所述頂壁；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向彼此垂直。

16、在一些實施例中，所述成膜室還包括連接于所述第一門體上的兩支撐臂及連接于兩所述支撐臂的支撐梁，兩所述支撐臂沿所述第二方向間隔設置，所述第一門體、兩所述支撐臂和所述支撐梁共同限定出安裝空間；所述支撐筒位于所述安裝空間內(nèi)，所述支撐筒的軸向一端可轉(zhuǎn)動地連接于所述第一門體，所述支撐筒的軸向另一端可轉(zhuǎn)動地連接于所述支撐梁。

17、在一些實施例中，所述支撐梁沿所述第三方向支撐于兩所述支撐臂的第一側(cè)；其中，所述支撐臂的第一側(cè)為裝入所述成膜腔室內(nèi)的情況下面向所述頂壁的一側(cè)。

18、在一些實施例中，所述支撐梁的第二側(cè)中部沿所述第三方向凸出設置有連接部，所述連接部連接所述支撐筒的所述軸向另一端；其中，所述支撐梁的第二側(cè)為裝入所述成膜腔室內(nèi)的情況下面向所述底壁的一側(cè)。

19、在一些實施例中，所述氣體提供裝置包括噴淋件，所述噴淋件設于所述成膜腔室內(nèi)，所述噴淋件被配置為能夠朝向所述支撐筒的外周壁供應氣體。

20、在一些實施例中，所述支撐筒的外周壁沿所述第一方向的投影輪廓為圓形；所述噴淋件包括噴淋板，所述噴淋板具有第一表面，所述第一表面沿所述第一方向的投影輪廓為圓弧，且所述第一表面的圓弧半徑大于所述支撐筒的外周壁的圓形半徑；

21、其中，所述支撐筒裝入所述成膜腔室內(nèi)的情況下，所述噴淋板的所述第一表面圍繞所述支撐筒的部分外周壁，并與所述支撐筒的外周壁之間具有第一間隙。

22、在一些實施例中，所述第一表面沿所述支撐筒的徑向在所述支撐筒的外周壁上的投影面積與所述支撐筒的外周壁表面積的比值為1/5至2/3。

23、在一些實施例中，所述支撐筒裝入所述成膜腔室內(nèi)的情況下，沿所述第二方向上，所述支撐臂位于所述側(cè)壁與所述噴淋板之間，所述噴淋板位于所述支撐臂與所述支撐筒之間；

24、和/或，所述第一間隙為2毫米至10毫米。

25、在一些實施例中，所述基底支撐機構(gòu)還包括至少兩支撐導輥，所述支撐導輥的軸向平行于所述第一方向，且所述支撐導輥的軸向一端連接于所述第一門體，所述支撐導輥的軸向另一端連接于所述支撐梁。

26、在一些實施例中，至少兩所述支撐導輥均沿所述第三方向設于所述支撐筒的第一側(cè)，且至少兩所述支撐導輥沿所述第二方向間隔設置；其中，所述支撐筒的第一側(cè)為裝入所述成膜腔室內(nèi)的情況下面向所述頂壁的一側(cè)。

27、在一些實施例中，至少兩所述支撐導輥沿所述第三方向間隔布置。

28、在一些實施例中，所述基底支撐機構(gòu)還包括支撐驅(qū)動件，所述支撐驅(qū)動件設于所述第一門體上并與所述支撐筒傳動連接，所述支撐驅(qū)動件用于驅(qū)動所述支撐筒轉(zhuǎn)動。

29、在一些實施例中，所述頂壁沿所述第一方向的投影輪廓形狀為弧形。

30、在一些實施例中，所述成膜設備還包括：

31、收放卷單元，包括收放卷室及設于所述收放卷室內(nèi)的放卷軸和收卷軸；以及

32、過渡單元，包括過渡室及設于所述過渡室內(nèi)的門閥結(jié)構(gòu)，所述過渡室連接于所述收放卷室與所述成膜室之間，所述過渡室內(nèi)部形成所述收放卷室到所述成膜室的導通通道，所述門閥結(jié)構(gòu)用于導通或切斷所述導通通道。

33、上述成膜設備，通過成膜室采用可拆卸移門結(jié)構(gòu)，可以操作第一門體和/或第二門體打開成膜腔室，方便將基底支撐機構(gòu)等零部件拆卸移出成膜腔室，方便對基底支撐機構(gòu)進行吊裝拆卸維護或維修，拆裝簡單方便，同時方便對成膜腔室內(nèi)部進行清理和維護，維護保養(yǎng)方便快捷，減少維護耗費時間，提高維護保養(yǎng)效率，有利于提高成膜設備使用效率。