1.一種成膜設(shè)備，其特征在于，包括成膜單元；所述成膜單元包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述成膜單元還包括移動(dòng)組件；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述移動(dòng)組件還包括第一移動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，所述第一移動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與所述第一門體或所述第一滑塊傳動(dòng)連接，所述第一移動(dòng)驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)所述第一門體沿所述第一滑軌滑動(dòng)；
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述基底支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述第一門體上，所述第一門體能夠帶動(dòng)所述基底支撐機(jī)構(gòu)由所述第一開口裝入或者移出所述成膜腔室；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述基底支撐機(jī)構(gòu)包括支撐筒，所述支撐筒被配置為能夠繞自身中心軸線旋轉(zhuǎn)；
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述成膜室還包括連接于所述第一門體上的兩支撐臂及連接于兩所述支撐臂的支撐梁，兩所述支撐臂沿所述第二方向間隔設(shè)置，所述第一門體、兩所述支撐臂和所述支撐梁共同限定出安裝空間；所述支撐筒位于所述安裝空間內(nèi)，所述支撐筒的軸向一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述第一門體，所述支撐筒的軸向另一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述支撐梁。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述支撐梁沿所述第三方向支撐于兩所述支撐臂的第一側(cè)；其中，所述支撐臂的第一側(cè)為裝入所述成膜腔室內(nèi)的情況下面向所述頂壁的一側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述支撐梁的第二側(cè)中部沿所述第三方向凸出設(shè)置有連接部，所述連接部連接所述支撐筒的所述軸向另一端；其中，所述支撐梁的第二側(cè)為裝入所述成膜腔室內(nèi)的情況下面向所述底壁的一側(cè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述氣體提供裝置包括噴淋件，所述噴淋件設(shè)于所述成膜腔室內(nèi)，所述噴淋件被配置為能夠朝向所述支撐筒的外周壁供應(yīng)氣體。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述支撐筒的外周壁沿所述第一方向的投影輪廓為圓形；所述噴淋件包括噴淋板，所述噴淋板具有第一表面，所述第一表面沿所述第一方向的投影輪廓為圓弧，且所述第一表面的圓弧半徑大于所述支撐筒的外周壁的圓形半徑；
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述第一表面沿所述支撐筒的徑向在所述支撐筒的外周壁上的投影面積與所述支撐筒的外周壁表面積的比值為1/5至2/3。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述支撐筒裝入所述成膜腔室內(nèi)的情況下，沿所述第二方向上，所述支撐臂位于所述側(cè)壁與所述噴淋板之間，所述噴淋板位于所述支撐臂與所述支撐筒之間；
13.根據(jù)權(quán)利要求5所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述基底支撐機(jī)構(gòu)還包括至少兩支撐導(dǎo)輥，所述支撐導(dǎo)輥的軸向平行于所述第一方向，且所述支撐導(dǎo)輥的軸向一端連接于所述第一門體，所述支撐導(dǎo)輥的軸向另一端連接于所述支撐梁。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的成膜設(shè)備，其特征在于，至少兩所述支撐導(dǎo)輥均沿所述第三方向設(shè)于所述支撐筒的第一側(cè)，且至少兩所述支撐導(dǎo)輥沿所述第二方向間隔設(shè)置；其中，所述支撐筒的第一側(cè)為裝入所述成膜腔室內(nèi)的情況下面向所述頂壁的一側(cè)。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的成膜設(shè)備，其特征在于，至少兩所述支撐導(dǎo)輥沿所述第三方向間隔布置。
16.根據(jù)權(quán)利要求5所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述基底支撐機(jī)構(gòu)還包括支撐驅(qū)動(dòng)件，所述支撐驅(qū)動(dòng)件設(shè)于所述第一門體上并與所述支撐筒傳動(dòng)連接，所述支撐驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)所述支撐筒轉(zhuǎn)動(dòng)。
17.根據(jù)權(quán)利要求5所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述頂壁沿所述第一方向的投影輪廓形狀為弧形。
18.根據(jù)權(quán)利要求5至17任一項(xiàng)所述的成膜設(shè)備，其特征在于，所述成膜設(shè)備還包括：