加工裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對(duì)圓板狀的工件進(jìn)行加工的加工裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在將晶片等圓板狀的工件磨削得較薄、或者對(duì)其進(jìn)行熱加工時(shí)，存在工件發(fā)生翹曲的情況。在對(duì)像這樣存在翹曲的工件進(jìn)行磨削或研磨的情況下，在工件保持翹曲的狀態(tài)下無法將工件可靠地保持于卡盤工作臺(tái)。因此，提出了一種通過按壓墊來按壓工件的外周區(qū)域以矯正翹曲并將工件保持在卡盤工作臺(tái)上的加工裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-107097號(hào)公報(bào)
[0004]可是，在專利文獻(xiàn)I所記載的加工裝置中，搬送機(jī)構(gòu)需要這樣的氣缸:該氣缸使按壓墊與吸附著工件進(jìn)行搬送的吸附墊分開地沿按壓方向進(jìn)退，因此結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。并且，如果裝置的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，則相應(yīng)地容易發(fā)生故障，因此，例如需要配設(shè)用于識(shí)別按壓墊是否正常進(jìn)退的傳感器等，從而使結(jié)構(gòu)變得更加復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明是鑒于這樣的問題而完成的，其目的在于，不使裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜化就能夠矯正工件的翹曲而將工件可靠地保持在卡盤工作臺(tái)上。
[0006]本發(fā)明的加工裝置具備:臨時(shí)載置工作臺(tái)，其臨時(shí)載置圓板狀的工件；卡盤工作臺(tái)，其保持該工件；搬送構(gòu)件，其將臨時(shí)載置于該臨時(shí)載置工作臺(tái)的該工件搬送至該卡盤工作臺(tái)；以及加工構(gòu)件，其對(duì)保持于該卡盤工作臺(tái)的該工件進(jìn)行加工，其中，該搬送構(gòu)件具備:保持機(jī)構(gòu)，該保持機(jī)構(gòu)具備:搬送墊，其具有對(duì)該工件的中心部分進(jìn)行吸附保持的吸附面；按壓部件，其具有內(nèi)徑比該搬送墊的外徑大的環(huán)狀的按壓面；以及進(jìn)退部，其能夠使該搬送墊至少在該吸附面從該按壓面突出的位置與該吸附面處于和該按壓面相同的平面上的位置之間沿著垂直于該吸附面的方向進(jìn)退；升降構(gòu)件，其使該保持機(jī)構(gòu)相對(duì)于該臨時(shí)載置工作臺(tái)或該卡盤工作臺(tái)接近和離開；以及移動(dòng)構(gòu)件，其使該保持機(jī)構(gòu)從該臨時(shí)載置工作臺(tái)的上方向該卡盤工作臺(tái)的上方移動(dòng)，該升降構(gòu)件使保持有該工件的該保持機(jī)構(gòu)向接近該卡盤工作臺(tái)的方向移動(dòng)，并將該工件壓靠至該卡盤工作臺(tái)，由此，使該進(jìn)退部動(dòng)作，將該吸附面定位在與該按壓面相同的平面上，由該卡盤工作臺(tái)保持該工件。
[0007]優(yōu)選的是，在所述保持機(jī)構(gòu)中具備施力構(gòu)件，該施力構(gòu)件對(duì)所述搬送墊朝向所述臨時(shí)載置工作臺(tái)或所述卡盤工作臺(tái)施力。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的加工裝置，通過將工件壓靠至卡盤工作臺(tái)，來使進(jìn)退部動(dòng)作，將吸附面定位在與按壓面相同的平面上，因此，不使按壓部件進(jìn)退就能夠矯正工件的翹曲，能夠?qū)⒐ぜ煽康乇３衷诳ūP工作臺(tái)上。由于無需使按壓部件進(jìn)退，因此也不需要用來識(shí)別按壓部件是否正常進(jìn)退的傳感器。因此，不會(huì)使加工裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，能夠降低制造成本和故障發(fā)生率。
【附圖說明】
[0009]圖1是示出加工裝置的側(cè)剖視圖和示出搬送構(gòu)件的仰視圖。
[0010]圖2是示出工件被保持于臨時(shí)載置工作臺(tái)的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0011]圖3是示出搬送構(gòu)件保持著被保持于臨時(shí)載置工作臺(tái)上的工件的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0012]圖4是示出搬送構(gòu)件將工件從臨時(shí)載置工作臺(tái)搬出的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0013]圖5是示出搬送構(gòu)件將工件搬入卡盤工作臺(tái)的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0014]圖6是示出搬送構(gòu)件將工件載置于卡盤工作臺(tái)的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0015]圖7是示出搬送構(gòu)件將工件按壓至卡盤工作臺(tái)的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0016]圖8是示出工件被保持于卡盤工作臺(tái)上的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0017]標(biāo)號(hào)說明
[0018]10:加工裝置；11:臨時(shí)載置工作臺(tái)；12:搬送構(gòu)件；20:保持機(jī)構(gòu)；21:搬送墊；211:吸附面；22:按壓部件；221:按壓面；23:支承部件；231:貫穿孔；24:軸；241:軸部；242:抵接部；25:施力構(gòu)件；26:升降構(gòu)件；13:卡盤工作臺(tái)；131:保持面；14:加工構(gòu)件；30:工件。
【具體實(shí)施方式】
[0019]圖1所示的加工裝置10具備:臨時(shí)載置工作臺(tái)11，其臨時(shí)載置晶片等圓板狀的工件；搬送構(gòu)件12，其搬送在臨時(shí)載置工作臺(tái)11上臨時(shí)載置的工件；卡盤工作臺(tái)13，其保持被搬送構(gòu)件12搬送來的工件；和加工構(gòu)件14，其對(duì)保持于卡盤工作臺(tái)13的工件進(jìn)行加工。加工構(gòu)件14具有對(duì)工件實(shí)施例如磨削或研磨等加工的功能。
[0020]卡盤工作臺(tái)13具有與XY平面平行的保持面131，吸附保持在保持面131上載置的工件。如果工件存在翹曲，則在工件與保持面131之間會(huì)出現(xiàn)間隙，因此，存在無法良好地吸附工件的情況。例如，在將工件磨削得較薄或?qū)ぜM(jìn)行了熱處理加工的情況等時(shí)，存在工件發(fā)生翹曲的情況。為了可靠地保持這樣的工件，需要在吸附開始時(shí)矯正工件的翹曲以縮小工件與保持面131之間的間隙。
[0021]搬送構(gòu)件12具備:保持機(jī)構(gòu)20，其保持要搬送的工件；升降構(gòu)件26，其使保持機(jī)構(gòu)20在土Z方向移動(dòng)；和未圖示的移動(dòng)構(gòu)件，其使保持機(jī)構(gòu)20和升降構(gòu)件26在XY平面內(nèi)移動(dòng)。
[0022]保持機(jī)構(gòu)20具備:搬送墊21，其具有與XY平面平行的吸附面211 ;按壓部件22，其具有與XY平面平行的環(huán)狀的按壓面221 ;支承部件23，其支承按壓部件22 ;軸24，其貫穿在支承部件23上設(shè)置的貫穿孔231 ;和施力構(gòu)件25，其對(duì)搬送墊21向下方(-Z方向:接近臨時(shí)載置工作臺(tái)11或卡盤工作臺(tái)13的方向)施力。
[0023]搬送墊21的吸附面211形成為圓形，在該吸附面211上設(shè)置有與吸附源連接的十字狀的槽211a。通過將工件的中心部分抵靠于吸附面211，并利用吸附源進(jìn)行吸附，工件被保持于吸附面211。
[0024]支承部件23在末端附近具備與土Z方向平行的貫穿孔231，該貫穿孔231從上(+Z)側(cè)的面貫穿到下(-Z)側(cè)的面。
[0025]按壓部件22被固定在支承部件23的-Z側(cè)的面上。按壓部件22的按壓面221具有比搬送墊21的外徑大的內(nèi)徑，該按壓面221圍繞吸附面211，并且，該按壓面221在XY平面內(nèi)的中心的位置與吸附面211 —致。
[0026]軸24具有:圓柱狀的軸部241，其穿過貫穿孔231 ;和圓板狀的抵接部242，其被設(shè)置于軸部241的+Z側(cè)的端部，搬送墊21被固定在軸部241的-Z側(cè)的端部。抵接部242具有比貫穿孔231的內(nèi)徑大的外徑，防止軸24從貫穿孔231脫落。在軸部241和抵接部242中設(shè)置有用于連接搬送墊21和吸附源的吸附孔。
[0027]施力構(gòu)件25例如是被夾在搬送墊21的+Z側(cè)的面與支承部件23的-Z側(cè)的面之間的彈簧。
[0028]搬送墊21的吸附面211比按壓部件22的按壓面221向-Z方向突出。當(dāng)從-Z方向施加將吸附面211向上方壓入的力時(shí)，搬送墊21向+Z方向移動(dòng)。搬送墊21至少能夠移動(dòng)至使吸附面211與按壓面221位于同一平面上的位置。這樣，軸24與支承部件23的貫穿孔231作為能夠使搬送墊21沿著垂直于吸附面211的方向進(jìn)退的進(jìn)退部起作用。
[0029]升降構(gòu)件26對(duì)支承部件23進(jìn)行支承，使支承部件23在土Z方向移動(dòng)。由此，整個(gè)保持機(jī)構(gòu)20上下升降，當(dāng)搬送墊21位于卡盤工作臺(tái)13的上方時(shí)，搬送墊21接近或遠(yuǎn)離卡盤工作臺(tái)13，當(dāng)搬送墊21位于臨時(shí)載置工作臺(tái)11的上方時(shí)，搬送墊21接近或遠(yuǎn)離臨時(shí)載置工作臺(tái)11。未圖示的移動(dòng)構(gòu)件使保持機(jī)構(gòu)20在XY平面內(nèi)移動(dòng)，由此，保持機(jī)構(gòu)20至少能夠在卡盤工作臺(tái)13的上方與臨時(shí)載置工作臺(tái)11的上方之間移動(dòng)。
[0030]接下來，對(duì)至搬送構(gòu)件12將臨時(shí)載置在臨時(shí)載置工作臺(tái)11上的工件搬送至卡盤工作臺(tái)13并由卡盤