工作臺(tái)13保持所述工件為止的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0031]如圖2所示，將工件30載置于臨時(shí)載置工作臺(tái)11，使工件30的中心與臨時(shí)載置工作臺(tái)11的中心位置對(duì)準(zhǔn)，對(duì)工件30的中心部進(jìn)行吸附保持。如該圖所示，既存在工件30的外周部分向+Z方向翹曲的情況，相反，也存在工件30的外周部分向-Z方向翹曲的情況。然后，移動(dòng)構(gòu)件使保持機(jī)構(gòu)20沿水平方向移動(dòng)，將搬送墊21的中心定位于被保持在臨時(shí)載置工作臺(tái)11上的工件30的中心的正上方。
[0032]接下來(lái)，如圖3所示，升降構(gòu)件26使保持機(jī)構(gòu)20向-Z方向移動(dòng)，使保持機(jī)構(gòu)20接近臨時(shí)載置工作臺(tái)11，將搬送墊21的吸附面211壓靠至工件30的中心部分。由于搬送墊21的吸附面211比按壓部件22的按壓面221向-Z方向突出，因此，如該圖所示，即使在工件30的外周部分向+Z方向翹曲的情況下，工件30的外周部分和按壓部件22也不發(fā)會(huì)生干涉，能夠可靠地將吸附面211壓靠至工件30的中心部分。
[0033]在該狀態(tài)下，搬送墊21吸附并保持工件30。由于臨時(shí)載置工作臺(tái)11的直徑和搬送墊21的直徑都比工件30的直徑小，因此，即使在工件30翹曲的情況下，臨時(shí)載置在臨時(shí)載置工作臺(tái)11上的工件30與吸附面21之間的間隙也非常小，能夠可靠地保持工件30。在搬送墊21保持工件30后，臨時(shí)載置工作臺(tái)11解除對(duì)工件30的保持。
[0034]接下來(lái)，如圖4所示，升降構(gòu)件26使保持機(jī)構(gòu)20向+Z方向移動(dòng)，以使保持機(jī)構(gòu)20離開(kāi)臨時(shí)載置工作臺(tái)11。由于搬送墊21保持著工件30，因此，工件30被與保持機(jī)構(gòu)20 —同向+Z方向運(yùn)送。
[0035]接下來(lái)，如圖5所示，移動(dòng)構(gòu)件使保持機(jī)構(gòu)20沿水平方向移動(dòng)，將搬送墊21的中心定位于卡盤工作臺(tái)13的保持面131的中心的正上方。由此，工件30的中心也被定位于保持面131的中心的正上方。
[0036]接下來(lái)，如圖6所示，升降構(gòu)件26使保持機(jī)構(gòu)20向-Z方向移動(dòng)，使保持機(jī)構(gòu)20接近卡盤工作臺(tái)13，使搬送墊21保持的工件30與保持面131接觸。在該狀態(tài)下，由于工件30發(fā)生了翹曲，因此，在工件30的外周部分與保持面131之間存在間隙。并且，在工件30向相反的方向翹曲的情況下，成為這樣的狀態(tài):工件30的外周部分與保持面131接觸，在工件30的中心部分與保持面131之間存在間隙。
[0037]接下來(lái)，如圖7所示，升降構(gòu)件26使保持機(jī)構(gòu)20進(jìn)一步向-Z方向移動(dòng)。由于工件30的中心部分與保持面131接觸，因此搬送墊21隔著工件30受到來(lái)自保持面131的反力，并且隨著施力構(gòu)件25的收縮而向+Z方向移動(dòng)。因此，能夠使保持機(jī)構(gòu)20進(jìn)一步下降，按壓部件22的按壓面221按壓工件30的外周部分，并將工件30的外周部分壓靠至保持面131。由此，工件30的翹曲得到矯正，工件30與保持面131之間的間隙消失。
[0038]并且，在工件30向相反的方向翹曲的情況下，最初，工件30的外周部分與保持面131接觸，使保持機(jī)構(gòu)20從該狀態(tài)進(jìn)一步向-Z方向移動(dòng)。然后，保持面131很快會(huì)與工件30接觸，從保持面131受到反力。如果施力構(gòu)件25對(duì)搬送墊21向-Z方向施加的力比反力強(qiáng)，則搬送墊21克服反力向-Z方向移動(dòng)，從而能夠使工件30的中心部分與保持面131接觸。由此，工件30的翹曲得到矯正，工件30與保持面131之間的間隙消失。
[0039]這樣，在吸附面211與按壓面221被定位在同一平面上、工件30的翹曲被矯正的狀態(tài)下，卡盤工作臺(tái)13吸附保持工件30。由于在工件30與保持面131之間不存在間隙，因此能夠可靠地保持工件30。在卡盤工作臺(tái)13保持工件30后，搬送墊21解除對(duì)工件30的保持。
[0040]最后，如圖8所示，升降構(gòu)件26使保持機(jī)構(gòu)20向+Z方向移動(dòng)而離開(kāi)卡盤工作臺(tái)13。由于工件30被吸附在卡盤工作臺(tái)13上，因此，即使搬送墊21或按壓部件22的按壓被解除，工件30也不會(huì)再次發(fā)生翹曲，能夠保持工件30被保持在卡盤工作臺(tái)13上的狀態(tài)。
[0041]這樣，由于搬送墊21將工件30的中心部分壓靠至保持面131，并且按壓部件22將工件30的外周部分壓靠至保持面131，因此能夠矯正工件30的翹曲，卡盤工作臺(tái)13能夠可靠地保持工件30。
[0042]另外，由于進(jìn)退部能夠使搬送墊21相對(duì)于按壓面221進(jìn)退，因此，不需要用于使按壓部件22進(jìn)退的機(jī)構(gòu)。由于進(jìn)退部能夠如該例所示的貫穿孔231和軸24那樣以非常簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，因此，沒(méi)有正常地動(dòng)作的可能性非常小，因此，不需要用于識(shí)別進(jìn)退部是否正常動(dòng)作的傳感器。這樣，不使搬送構(gòu)件12的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化就能夠?qū)⒐ぜ?0可靠地保持在卡盤工作臺(tái)13上，因此，能夠使加工裝置10小型化，降低制造成本，并提高可靠性。
[0043]并且，施力構(gòu)件25只要以比搬送墊21從工件30受到的反力強(qiáng)的力對(duì)搬送墊21向-Z方向施力即可。即使沒(méi)有施力構(gòu)件25，搬送墊21也會(huì)由于重力而被向-Z方向施力，因此，在搬送墊21或軸24比較重的情況下，也可以沒(méi)有施力構(gòu)件25。
[0044]關(guān)于按壓部件22，按壓面221也可以不是圓環(huán)狀，例如也可以如專利文獻(xiàn)I所記載的那樣將多個(gè)按壓墊配置成環(huán)狀。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種加工裝置，所述加工裝置具備: 臨時(shí)載置工作臺(tái)，其臨時(shí)載置圓板狀的工件； 卡盤工作臺(tái)，其保持該工件； 搬送構(gòu)件，其將臨時(shí)載置于該臨時(shí)載置工作臺(tái)的該工件搬送至該卡盤工作臺(tái)；以及 加工構(gòu)件，其對(duì)保持于該卡盤工作臺(tái)的該工件進(jìn)行加工，其中， 該搬送構(gòu)件具備: 保持機(jī)構(gòu)，該保持機(jī)構(gòu)具備:搬送墊，其具有對(duì)該工件的中心部分進(jìn)行吸附保持的吸附面；按壓部件，其具有內(nèi)徑比該搬送墊的外徑大的環(huán)狀的按壓面；以及進(jìn)退部，其能夠使該搬送墊至少在該吸附面從該按壓面突出的位置與該吸附面處于和該按壓面相同的平面上的位置之間沿著垂直于該吸附面的方向進(jìn)退； 升降構(gòu)件，其使該保持機(jī)構(gòu)相對(duì)于該臨時(shí)載置工作臺(tái)或該卡盤工作臺(tái)接近和離開(kāi)；以及 移動(dòng)構(gòu)件，其使該保持機(jī)構(gòu)從該臨時(shí)載置工作臺(tái)的上方向該卡盤工作臺(tái)的上方移動(dòng)，該升降構(gòu)件使保持有該工件的該保持機(jī)構(gòu)向接近該卡盤工作臺(tái)的方向移動(dòng)，并將該工件壓靠至該卡盤工作臺(tái)，由此，使該進(jìn)退部動(dòng)作，將該吸附面定位在與該按壓面相同的平面上，由該卡盤工作臺(tái)保持該工件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中， 在所述保持機(jī)構(gòu)中具備施力構(gòu)件，該施力構(gòu)件對(duì)所述搬送墊朝向所述臨時(shí)載置工作臺(tái)或所述卡盤工作臺(tái)施力。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種加工裝置，其中，不使裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜化就能夠矯正工件的翹曲，將工件可靠地保持在卡盤工作臺(tái)上。搬送墊(21)具有吸附并保持工件的中心部分的吸附面(211)，按壓部件(22)以比搬送墊(21)的外徑大的內(nèi)徑具有環(huán)狀的按壓面(221)，進(jìn)退部(貫穿孔(231)和軸(24)能夠使搬送墊(21)至少在吸附面(211)從按壓面(221)突出的位置、與吸附面(211)處于和按壓面(221)相同的平面上的位置之間沿著垂直于吸附面(211)的方向進(jìn)退。升降構(gòu)件(26)使保持著工件的保持機(jī)構(gòu)(20)向接近卡盤工作臺(tái)(13)的方向移動(dòng)，將工件壓靠至卡盤工作臺(tái)(13)，由此，使進(jìn)退部動(dòng)作，將吸附面(211)定位在與按壓面(221)相同的平面上，矯正工件的翹曲，由卡盤工作臺(tái)(13)保持工件。
【IPC分類】B24B41-06, B24B37-27
【公開(kāi)號(hào)】CN104647204
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410652713
【發(fā)明人】門田宏太郎
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社迪思科
【公開(kāi)日】2015年5月27日
【申請(qǐng)日】2014年11月17日