過濾介質(zhì)
[0079]17 折線
[0080]18 折線
[0081]19 電動機(jī)
[0082]20 回轉(zhuǎn)質(zhì)量
[0083]20’物體
[0084]21底部
[0085]22空腔
[0086]23進(jìn)氣通道
[0087]24排氣通道
[0088]25外壁、空腔
[0089]26蓋子
[0090]27蓋子
[0091]28固持框
[0092]29內(nèi)殼
[0093]30螺桿
[0094]31橫梁
[0095]32固持裝置
[0096]33固定夾
[0097]34橡膠緩沖件
[0098]35支承臂
[0099]36支承柱
[0100]37基體
[0101]38砧部
[0102]39砧部
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于在反應(yīng)器殼體(I)的處理室(8)中對基板進(jìn)行涂覆的設(shè)備，其具有進(jìn)氣機(jī)構(gòu)(11)，用于將處理氣體導(dǎo)入處理室(8)中，所述設(shè)備還具有排氣機(jī)構(gòu)(10)，用于將廢氣流從處理室(8)導(dǎo)出至布置在顆粒分離器殼體(3)中的、具有多孔式過濾介質(zhì)(19)的顆粒過濾器(4)內(nèi)，所述顆粒過濾器用于使在處理氣體的反應(yīng)過程中所形成的顆粒從廢氣流中濾除，其特征在于，過濾介質(zhì)(16)的孔徑和表面性質(zhì)這樣選擇，從而使存在于廢氣流中的顆粒粘附在過濾介質(zhì)(16)的表面上，而不侵入過濾介質(zhì)(16)中，并且顆粒在過濾介質(zhì)(16)外部生長為密集體，其中，還設(shè)有通過對密集體的機(jī)械式去除用來清潔顆粒過濾器(4)的器件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，過濾介質(zhì)(16)是紙、塑料或聚合物無紡布，和/或過濾介質(zhì)(16)被涂覆、尤其被聚四氟乙烯涂覆。3.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述孔徑在I至50μ m的范圍內(nèi)、優(yōu)選處于5至20 μ m的范圍內(nèi)。4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述器件包括質(zhì)量加速裝置(7、7’)，利用所述質(zhì)量加速裝置使顆粒過濾器(4)產(chǎn)生運(yùn)動，其中，質(zhì)量加速裝置尤其是具有回轉(zhuǎn)質(zhì)量(20)的振動裝置(7)或帶有沖擊砧部(38、39)的物體(20’)的錘式裝置(7’)。5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述器件能夠使顆粒過濾器⑷的過濾介質(zhì)(16)尤其彈性變形，或所述器件能夠尤其在過濾介質(zhì)(16)的下游側(cè)上形成壓力沖擊。6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，顆粒過濾器(4)具有一個(gè)或多個(gè)彈性支承的過濾筒，所述過濾筒沿豎向延伸，其中尤其規(guī)定，至少一個(gè)過濾筒在其底側(cè)上利用彈性的支承元件(5)與顆粒分離器殼體(3)相連，并且尤其規(guī)定，在優(yōu)選至少一個(gè)過濾筒的可自由擺動的頂側(cè)上布置有振動裝置(7)，或優(yōu)選在過濾筒(4)的內(nèi)部設(shè)置錘式裝置，所述錘式裝置具有物體(20’)，所述物體優(yōu)選沿豎向?qū)^濾筒動量加載。7.一種用于利用顆粒過濾器(4)將顆粒從氣流中濾除的設(shè)備，所述顆粒過濾器具有至少一個(gè)過濾筒(4)，所述過濾筒借助質(zhì)量加速裝置(7、7’)形成相對于顆粒分離器殼體(3)的運(yùn)動，該設(shè)備尤其用于根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，質(zhì)量加速裝置(7、7’)與過濾筒(4)剛性固定，并且尤其規(guī)定，至少一個(gè)過濾筒沿豎向延伸。8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的設(shè)備，其特征在于，基體(37)通過彈性的支承元件(5)與顆粒分離器殼體(3)相連，并且支承至少一個(gè)過濾筒(4)和錘式裝置(7’)，其中，所述錘式裝置(7’)優(yōu)選布置在過濾筒(4)的內(nèi)部。9.根據(jù)權(quán)利要求6至8中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，被設(shè)計(jì)為落錘裝置(7’)的質(zhì)量加速裝置(7、7’)具有空腔(22)，可沿豎向運(yùn)動的物體(20’)處于所述空腔中，所述物體尤其被氣動提升，以便掉落在由空腔(22)的底部(38)構(gòu)成的砧部上或撞擊在空腔(22)的蓋子(39)上，并且向顆粒過濾器(4)傳遞沖量。10.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的設(shè)備，其特征在于，振動裝置(7)包括電動機(jī)(19)，所述電動機(jī)使相對于旋轉(zhuǎn)軸線偏心布置的回轉(zhuǎn)質(zhì)量(20)旋轉(zhuǎn)，和/或振動裝置(7)包括超聲波發(fā)生器，和/或單獨(dú)一個(gè)振動裝置(7)使一個(gè)或多個(gè)尤其相互平行布置的過濾筒(4)產(chǎn)生擺動，其中，振動裝置(7)尤其使多個(gè)過濾筒(4)的頂側(cè)固定地相互連接，和/或過濾筒(4)由中空圓筒構(gòu)成，所述中空圓筒的壁部由過濾介質(zhì)(16)構(gòu)成。11.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所示的設(shè)備，其特征在于，過濾介質(zhì)(16)是褶皺的，其具有沿過濾筒⑷的軸線方向延伸的折線(17、18)。12.根據(jù)權(quán)利要求4至11中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，過濾筒(4)的底部由至少一個(gè)硅波紋件(5)構(gòu)成，通過所述硅波紋件使被過濾的氣流從過濾筒(4)中排出，并且實(shí)現(xiàn)過濾筒(4)相對于顆粒分離器殼體(3)的豎向運(yùn)動，和/或多個(gè)、尤其三個(gè)相互平行布置的過濾筒(4)分別利用硅波紋件這樣與顆粒分離器殼體(3)相連，從而使這些過濾筒能夠繞硅波紋件(5)實(shí)施往復(fù)式擺動，和/或顆粒過濾器(4)固定在顆粒分離器殼體(3)的底部上，其中，所述底部構(gòu)成用于密集體的收集面。13.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述器件能夠在過濾介質(zhì)(16)的下游側(cè)上形成大于上游的氣體壓力的氣體壓力，和/或形成逆著廢氣流穿過過濾介質(zhì)(16)的氣體流，和/或所述器件包括機(jī)械式激發(fā)機(jī)構(gòu)，以便使過濾材料產(chǎn)生彈性變形。14.一個(gè)或多個(gè)布置在顆粒分離器殼體(3)中的顆粒過濾器(4)的應(yīng)用，所述顆粒過濾器用于將在處理氣體的反應(yīng)過程中所形成的顆粒從廢氣中濾除，廢氣來自用于對基板進(jìn)行涂覆的設(shè)備的排氣機(jī)構(gòu)(10)，所述設(shè)備具有具備處理室(8)的反應(yīng)器殼體，能借助進(jìn)氣機(jī)構(gòu)將處理氣體導(dǎo)入所述處理室中，其特征在于，尤其通過質(zhì)量加速裝置(7、7’)或通過額外的氣體輸入這樣使顆粒過濾器(4)和/或過濾介質(zhì)(16)產(chǎn)生運(yùn)動、尤其相對于顆粒分離器殼體(3)的擺動，使得在顆粒過濾器(4)的過濾介質(zhì)(16)的表面上由廢氣流中所包含的顆粒形成的密集體從過濾介質(zhì)上掉落，從而使密集體聚集在顆粒分離器殼體(3)的底部(21)的區(qū)域中，其中，密集體的尺寸處于毫米范圍、尤其密集體的平均直徑處于0.5至5_的范圍內(nèi)。15.一種設(shè)備或應(yīng)用，其特征在于上述權(quán)利要求中的一項(xiàng)或多項(xiàng)技術(shù)特征。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于在反應(yīng)器殼體(1)的處理室(8)中對基板進(jìn)行涂覆的設(shè)備，其具有進(jìn)氣機(jī)構(gòu)(11)，用于將處理氣體導(dǎo)入處理室(8)中，具有排氣機(jī)構(gòu)(10)，用于將廢氣流從處理室(8)導(dǎo)出至布置在顆粒分離器殼體(3)中的、具有多孔式過濾介質(zhì)(19)的顆粒過濾器內(nèi)，所述顆粒過濾器用于使在處理氣體的反應(yīng)過程中所形成的顆粒從廢氣流中濾除。為了改善CVD或PVD設(shè)備中的顆粒過濾器的過濾效率并提供適于此使用目的的顆粒過濾器，本發(fā)明規(guī)定，過濾介質(zhì)(16)的孔徑和表面性質(zhì)這樣選擇，從而使存在于廢氣流中的顆粒粘附在過濾介質(zhì)(16)的表面上，而不侵入過濾介質(zhì)(16)中，并且顆粒在過濾介質(zhì)(16)外部生長為密集體，其中，此外還規(guī)定用于通過對密集體的機(jī)械式去除來清潔顆粒過濾器(4)的器件。
【IPC分類】C23C16/44, F01N3/023, B01D46/00, B01D29/00
【公開號】CN104955982
【申請?zhí)枴緾N201480005683
【發(fā)明人】W.戈雷斯, P.萊嫩, H.馬爾曼
【申請人】艾克斯特朗歐洲公司
【公開日】2015年9月30日
【申請日】2014年1月16日
【公告號】DE102014100092A1, US20150322566, WO2014114549A1