電阻加熱裝置及電阻加熱式蒸發(fā)源的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空蒸鍍裝置，具體涉及一種電阻加熱裝置及電阻加熱式蒸發(fā)源。
【背景技術(shù)】
[0002]真空蒸發(fā)鍍膜是一種常用的鍍膜工藝，廣泛地用于半導(dǎo)體器件、金屬以及其他功能性材料的薄膜制備。蒸發(fā)源是真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備最為關(guān)鍵的部件。根據(jù)加熱方式的不同，蒸發(fā)源可以分為電子束加熱蒸發(fā)源和電阻加熱式蒸發(fā)源。電阻加熱式蒸發(fā)源是利用電阻絲通電后產(chǎn)生的熱量加熱坩堝中的蒸發(fā)物料使其汽化，電阻加熱式蒸發(fā)源具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、蒸發(fā)效率高、溫度穩(wěn)定和加熱均勻等優(yōu)點(diǎn)，已大量用于工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室中。
[0003]電阻加熱式蒸發(fā)源主要包括電阻加熱裝置和坩堝，為了避免蒸發(fā)物料與坩堝混合或反應(yīng)，對(duì)不同的蒸發(fā)物料，往往需要使用不同材質(zhì)的坩堝。坩堝的形狀和結(jié)構(gòu)受坩堝材質(zhì)的限制，而坩堝的形狀和結(jié)構(gòu)決定了坩堝安裝難易程度和蒸發(fā)源安裝角度?，F(xiàn)有技術(shù)中的電阻加熱式蒸發(fā)源中的電阻加熱裝置和坩堝的裝配是一一對(duì)應(yīng)的，當(dāng)需要更換蒸發(fā)物料時(shí)，只能更換整個(gè)電阻加熱式蒸發(fā)源。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例提供了一種電阻加熱裝置，包括:
[0005]固定底臺(tái)，所述固定底臺(tái)具有相對(duì)設(shè)置的內(nèi)表面和外表面，所述固定底臺(tái)還具有貫穿所述內(nèi)表面和外表面的第一電極通孔和第二電極通孔；
[0006]位于所述內(nèi)表面一側(cè)的電阻絲；
[0007]與所述電阻絲的兩端分別電連接的第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極；
[0008]第一外電極和第二外電極，所述第一外電極與所述第一內(nèi)電極在所述第一電極通孔處可拆卸電連接，所述第二外電極與所述第二內(nèi)電極在所述第二電極通孔處可拆卸電連接。
[0009]優(yōu)選的，所述電阻絲呈螺線管狀且限定了一圓柱狀容納空間，所述圓柱狀容納空間具有垂直所述內(nèi)表面的中心線。
[0010]優(yōu)選的，所述固定底臺(tái)還具有貫穿所述內(nèi)表面和外表面的第三通孔，所述電阻加熱裝置還包括穿設(shè)在所述第三通孔中的熱電偶。
[0011]優(yōu)選的，所述電阻加熱裝置還包括坩堝容納筒，所述坩堝容納筒包括:
[0012]容納筒，所述容納筒呈一端開(kāi)口的筒狀；以及
[0013]固定底板，所述固定底板具有分別與所述第一電極通孔和第二電極通孔對(duì)應(yīng)的第一底板通孔和第二底板通孔，所述固定底板通過(guò)所述第一內(nèi)電極、第一外電極、第二內(nèi)電極和第二外電極與所述固定底臺(tái)相連接。
[0014]優(yōu)選的，所述第一內(nèi)電極和第一外電極中的其中一個(gè)穿過(guò)所述第一電極通孔和第一底板通孔與另一個(gè)可拆卸連接，所述第二內(nèi)電極和第二外電極中的其中一個(gè)穿過(guò)所述第二電極通孔和第二底板通孔與另一個(gè)可拆卸連接。
[0015]優(yōu)選的，所述第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極分別具有第一外螺紋和第二外螺紋，所述第一外電極和第二外電極分別具有第一內(nèi)螺紋和第二內(nèi)螺紋，所述第一內(nèi)電極的第一外螺紋依次穿過(guò)所述第一底板通孔和第一電極通孔后與所述第一外電極的第一內(nèi)螺紋配合連接，所述第二內(nèi)電極的第二外螺紋依次穿過(guò)所述第二底板通孔和第二電極通孔后與所述第二外電極的第二內(nèi)螺紋配合連接。
[0016]優(yōu)選的，所述第一外電極和第二外電極分別具有第一外螺紋和第二外螺紋，所述第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極分別具有第一內(nèi)螺紋和第二內(nèi)螺紋，所述第一外電極的第一外螺紋依次穿過(guò)所述第一電極通孔和第一底板通孔后與所述第一內(nèi)電極的第一內(nèi)螺紋配合連接，所述第二外電極的第二外螺紋依次穿過(guò)所述第二電極通孔和第二底板通孔后與所述第二內(nèi)電極的第二內(nèi)螺紋配合連接。
[0017]優(yōu)選的，所述第一內(nèi)電極和第一外電極中的其中一個(gè)穿過(guò)所述第一電極通孔與另一個(gè)可拆卸連接，所述第二內(nèi)電極和第二外電極中的其中一個(gè)穿過(guò)所述第二電極通孔與另一個(gè)可拆卸連接。
[0018]優(yōu)選的，所述第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極分別具有第一外螺紋和第二外螺紋，所述第一外電極和第二外電極分別具有第一內(nèi)螺紋和第二內(nèi)螺紋，所述第一內(nèi)電極的第一外螺紋穿過(guò)所述第一電極通孔后與所述第一外電極的第一內(nèi)螺紋配合連接，所述第二內(nèi)電極的第二外螺紋穿過(guò)所述第二電極通孔后與所述第二外電極的第二內(nèi)螺紋配合連接。
[0019]優(yōu)選的，所述第一外電極和第二外電極分別具有第一外螺紋和第二外螺紋，所述第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極分別具有第一內(nèi)螺紋和第二內(nèi)螺紋，所述第一外電極的第一外螺紋穿過(guò)所述第一電極通孔后與所述第一內(nèi)電極的第一內(nèi)螺紋配合連接，所述第二外電極的第二外螺紋穿過(guò)所述第二電極通孔后與所述第二內(nèi)電極的第二內(nèi)螺紋配合連接。
[0020]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例還提供了一種電阻加熱式蒸發(fā)源，包括上述的電阻加熱裝置；以及坩堝。
[0021]本發(fā)明的電阻加熱裝置能夠固定不同形狀的坩堝并加熱，當(dāng)需要更換蒸發(fā)物料時(shí)，只需要更換坩堝即可，且更換方便，從而節(jié)約了成本，擴(kuò)展了電阻加熱式蒸發(fā)源在鍍膜工藝中的應(yīng)用范圍。
【附圖說(shuō)明】
[0022]以下參照附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例作進(jìn)一步說(shuō)明，其中:
[0023]圖1是本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例的電阻加熱裝置的正視圖。
[0024]圖2是圖1所示的電阻加熱裝置的分解圖。
[0025]圖3是圖2所示的電阻加熱裝置的剖視圖。
[0026]圖4是圖1所示的電阻加熱裝置與一個(gè)坩堝裝配后的正視圖。
[0027]圖5是圖4所示的坩堝的剖視圖。
[0028]圖6是圖1所示的電阻加熱裝置與另一個(gè)坩堝裝配后的正視圖。
[0029]圖7是本發(fā)明較佳實(shí)施例的電阻加熱式蒸發(fā)源的正視圖。
[0030]圖8是本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例的電阻加熱裝置的剖視圖。
[0031]圖9是本發(fā)明第三個(gè)實(shí)施例的電阻加熱裝置的正視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖通過(guò)具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0033]參見(jiàn)圖1?3所示，電阻加熱裝置10包括電阻絲4、內(nèi)電極51、內(nèi)電極52、固定底臺(tái)7、熱電偶9和外電極81、82。
[0034]如圖2所示，固定底臺(tái)7的材質(zhì)可以是氧化鋁、陶瓷等絕緣絕熱材質(zhì)，其呈圓形板狀，具有相對(duì)設(shè)置的內(nèi)表面74和外表面75。如圖3所示，固定底臺(tái)7上具有貫穿內(nèi)表面74和外表面75的通孔71、通孔72和通孔73，通孔73位于或大致位于固定底臺(tái)7的中心。
[0035]如圖1所示，電阻絲4位于固定底臺(tái)7的內(nèi)表面74的一側(cè)，其材質(zhì)可以是鎢或鉭，在通電的情況下，用于將電能轉(zhuǎn)換為熱能。電阻絲4呈螺線管狀，從而限定了一圓柱狀容納空間。該圓柱狀容納空間的中心線L垂直內(nèi)表面74。電阻絲4在不受外力壓縮的自然狀態(tài)下，其任意兩點(diǎn)都不短路。
[0036]如圖3所不，內(nèi)電極51、52完全相同,且都為金屬電極。內(nèi)電極51、52的一個(gè)端部具有外螺紋511、521。外電極81、82也完全相同，且都為金屬電極。外電極81、82分別具有與內(nèi)電極51、52的外螺紋511、521配合連接的內(nèi)螺紋811、821。如圖1和圖3所示，內(nèi)電極51、52的外螺紋511、521分別穿過(guò)通孔71、72與外電極81、82的內(nèi)螺紋811、821配合連接，從而內(nèi)電極51和外電極81固定在固定底臺(tái)7上，使得內(nèi)電極51和外電極81可拆卸電氣連接。同樣，內(nèi)電極52和外電極82固定在固定底臺(tái)7上，使得內(nèi)電極52和外電極82可拆卸電氣連接。
[0037]熱電偶9采用現(xiàn)有技術(shù)中的熱電偶，熱電偶9穿設(shè)在通孔73中，用于測(cè)量電阻絲4或其附近的溫度。
[0038]圖4是圖1所示的電阻加熱裝置10與一個(gè)坩堝11裝配后的正視圖。圖5是坩堝11的剖視圖。如圖5所示，坩堝11包括坩堝筒111和坩堝底板112，坩堝11可以是由易成型的材料一體成型制造。坩堝筒111呈一端開(kāi)口的筒狀。坩堝底板112上具有分別與通孔71和通孔72對(duì)應(yīng)的坩堝底板通孔1121、1122，坩堝底板112上還具有與通孔73相對(duì)應(yīng)的盲孔1123。如圖4所示，電阻絲4套設(shè)在坩堝筒111上，坩堝底板112與固定底臺(tái)7的內(nèi)表面74相接觸。內(nèi)電極51的外螺紋511依次穿過(guò)坩堝底板通孔1121和通孔71后與外電極81的內(nèi)螺紋811配合連接，同樣內(nèi)電極52的外螺紋521依次穿過(guò)坩堝底板通孔1122和通孔72后與外